一种拉晶炉拉晶管支架的制作方法

文档序号:8150974阅读:316来源:国知局
专利名称:一种拉晶炉拉晶管支架的制作方法
技术领域
一种拉晶炉拉晶管支架技术领域[0001]本实用新型涉及半导体生产技术领域,涉及拉晶炉,特别是一种拉晶炉拉晶管支^K O背景技术[0002]拉晶炉是将原料在高温情况下分子重新排列成为晶棒的设备,原料放置在玻璃制成的拉晶管中进行混合,在现有技术中,固定拉晶管的支架是一个卡子,卡子安装在摇摆轴上,卡子固定着拉晶管的中间部位,这样的装置具有容易使拉晶管变形损坏的缺点、影响其正常生产。发明内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种不易使拉晶管变形、破碎、容易固定拉晶管的拉晶炉拉晶管支架。[0004]本实用新型所采取的技术方案是这样的,一种拉晶炉拉晶管支架,包括支架本体, 支架本体安装在摇摆轴上,其特征是所述的支架本体是底面是圆弧形结构的一段槽板,槽板的长度大于或等于拉晶管的长度,槽板的两端具有堵头,槽板上面具有圆弧形的固定件, 固定件铰接在槽板上。[0005]本实用新型的有益效果是这样结构的拉晶炉拉晶管支架具有不易使拉晶管变形、破碎、容易固定拉晶管的优点。


[0006]图1为本实用新型拉晶炉拉晶管支架的结构示意图。[0007]其中1、支架本体2、槽板3、堵头4、固定件。
具体实施方式
[0008]
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。[0009]如图1所示,一种拉晶炉拉晶管支架,包括支架本体1,支架本体1安装在摇摆轴上,其特征是所述的支架本体1是底面是圆弧形结构的一段槽板2,槽板2的长度大于或等于拉晶管的长度,槽板2的两端具有堵头3,槽板2上面具有圆弧形的固定件4,固定件4 铰接在槽板上。[0010]使用时,拉晶管放置在槽板上,用固定件固定,具有本实用新型的效果。
权利要求1. 一种拉晶炉拉晶管支架,包括支架本体,支架本体安装在摇摆轴上,其特征是所述的支架本体是底面是圆弧形结构的一段槽板,槽板的长度大于或等于拉晶管的长度,槽板的两端具有堵头,槽板上面具有圆弧形的固定件,固定件铰接在槽板上。
专利摘要本实用新型涉及半导体生产技术领域,特别是一种拉晶炉拉晶管支架,它包括支架本体,支架本体安装在摇摆轴上,所述的支架本体是底面是圆弧形结构的一段槽板,槽板的长度大于或等于拉晶管的长度,槽板的两端具有堵头,槽板上面具有圆弧形的固定件,固定件铰接在槽板上,这样结构的拉晶炉拉晶管支架具有不易使拉晶管变形、破碎、容易固定拉晶管的优点。
文档编号C30B15/00GK202246993SQ20112036614
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月18日 优先权日2011年9月18日
发明者陈建卫, 陈建民, 陈磊 申请人:河南鸿昌电子有限公司
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