一种改良子晶夹的制作方法

文档序号:8113801阅读:213来源:国知局
一种改良子晶夹的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种在单晶炉上使用的改良子晶夹,本改良子晶夹包括一个主子晶夹,所述主子晶夹所夹持的主子晶呈细圆柱状;以所述主子晶夹为轴心,在其外围装配一个呈环形的副子晶夹,副子晶夹所夹持的副子晶呈环柱形;所述副子晶夹由控制器调节,可与主子晶夹同轴转动,且能相对于主子晶夹上下移动。该子晶夹可以快速生成单晶硅棒,提拉过程稳定且产生的废料较少,并为生产更大尺寸的单晶硅棒做好充足的准备。
【专利说明】一种改良子晶夹

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种单晶炉的配件,特别的,是一种单晶炉上的子晶夹。

【背景技术】
[0002]目前,工业上多用拉晶法生产单晶硅。利用单晶炉提供特定的环境,将一块子晶用子晶夹固定在液态硅上方,液态硅以子晶为基底在子晶上结晶,控制子晶提拉的速度,即可拉出固定粗细的单晶硅棒。在实际生产过程中,需经过引晶、放大、放肩、转肩等过程,目前单晶炉装置的子晶夹仅有一个,子晶夹位于液态硅的上方主位置,在引晶、放大、放肩等过程中,先生成一锥形端部,之后才会形成圆柱状单晶硅棒,锥形端部体积较大且不易被加工生产,因此这种一个子晶夹的单晶炉会产生较多的废料,影响生产效率;除此之外,单一子晶夹对单晶硅棒的拉力有限,且提拉过程不稳定,从而影响了提拉的单晶硅棒的生产,同时限制了单晶硅棒的尺寸。
实用新型内容
[0003]针对上述问题,本实用新型的目的是提供一种改良子晶夹,该子晶夹可以快速生成单晶硅棒,提拉过程稳定且产生的废料较少,并为生产更大尺寸的单晶硅棒做好充足的准备。
[0004]为解决上述问题,本实用新型所采用的技术方案是:本改良子晶夹包括一个主子晶夹,所述主子晶夹所夹持的主子晶呈细圆柱状;以所述主子晶夹为轴心,在其外围装配一个呈环形的副子晶夹,副子晶夹所夹持的副子晶呈环柱形;所述副子晶夹由控制器调节,可与主子晶夹同轴转动,且能相对于主子晶夹上下移动。
[0005]本实用新型的有益效果是:将主子晶和副子晶分别夹持在主子晶夹和副子晶夹上;下移主子晶夹,使液态硅可接触主子晶并在其上结晶;缓慢上移主子晶夹,可提拉出单晶娃;在主子晶夹开始提拉单晶娃时,下移副子晶夹,使液态娃接触各副子晶并在其上结晶;缓慢上移副子晶夹,与主子晶夹保持相对静止,提拉出单晶硅;在主子晶夹、副子晶夹的共同提拉下,可使单晶硅棒迅速到达指定直径;这种结构的子晶夹,使单晶硅棒形成波浪形顶端,相较于单子晶夹的圆锥形顶端,有效减少了单晶硅顶端的废料;相较于较粗的单子晶,本结构所采用的子晶原料少,且在旋转提拉的过程中,对液态硅的影响小;相较于较细小的单个子晶夹,本改良子晶夹与单晶硅棒顶端的接触面积增大,有效增大子晶与单晶硅棒之间的相互作用力,使提拉过程更安全稳定;同时,相互作用力的增大,也为提拉更大直径的单晶硅棒做好了充足的准备。
[0006]作为优选,在主子晶夹的外表面沿轴线装配有螺线型叶片,所述螺线型叶片边缘与副子晶夹内壁无摩擦接触;在旋转拉晶的过程中,叶片产生向上的气流,吸引液态硅向上,从而促进在引晶过程中液态硅快速的在主子晶上结晶。
[0007]作为优选,各所述子晶夹夹持的子晶表面粗糙,以便于快速的结晶。
[0008]作为优选,在副子晶夹与主子晶夹相对静止的提拉过程中,副子晶的下表面比主子晶的下表面低5-8cm,与便于对单晶硅棒拉力的合理分配。

【专利附图】

【附图说明】
[0009]图1为本改良子晶夹的实施例一中,仅主子晶接触液态娃的不意图。
[0010]图2为实施例一的副子晶和主子晶共同接触液态硅的示意图。
[0011]图3为实施例一的副子晶夹和主子晶夹相对静止拉晶的示意图。
[0012]图4为实施例一的子晶夹的截面图。
[0013]图5本改良子晶夹的实施例二的结构示意图。

【具体实施方式】
:
[0014]实施例一:
[0015]在图1至图4所述的实施例一中,本改良子晶夹包括一个主子晶夹I ;以所述主子晶夹I为轴心,在其外围装配一环形的副子晶2,并有环柱形的副子晶21与其相匹配;所述副子晶夹2由一个控制器调节位置,使得副子晶夹2可与主子晶夹I同轴转动,且能相对于主子晶夹I上下移动。将主子晶11和副子晶21分别夹持在主子晶夹I和副子晶夹2上;各所述子晶夹夹持的子晶表面粗糙,可加速单晶硅的结晶速度。如图1所示,下移主子晶夹1,使单晶炉炉体4内的液态硅可快速接触主子晶11并在其上结晶;缓慢上移主子晶夹1,可从炉体4内提拉出单晶硅3 ;如图2所示,在主子晶夹I开始提拉单晶硅3时,下移副子晶夹2,使液态硅接触副子晶21并在其上结晶;如图3所示,缓慢上移副子晶夹2,与主子晶夹I保持相对静止,提拉出单晶硅3 ;在副子晶夹2与主子晶夹I相对静止的提拉过程中,副子晶21的下表面比主子晶11的下表面低5-8cm,与便于对单晶硅棒拉力的合理分配。
[0016]在主子晶夹1、副子晶夹2的共同提拉下,可使单晶硅棒迅速到达指定直径;这种结构的子晶夹,使单晶硅棒形成波浪形顶端,相较于单子晶夹的圆锥形顶端,有效减少了单晶硅顶端的废料;相较于较粗的单子晶,本结构所采用的子晶原料少,在旋转提拉的过程中,对液态硅的影响小;相较于较细小的单个子晶夹,本改良子晶夹有主子晶夹和副子晶夹共同提拉单晶硅棒,与单晶硅棒顶端的接触面积增大,有效增大子晶与单晶硅棒之间的相互作用力,使提拉过程更安全稳定;同时,相互作用力的增大,也为提拉更大直径的单晶硅棒做好了充足的准备。
[0017]实施例二:
[0018]在图5所示的实施例二中,与实施例一不同的是:在主子晶夹I的外表面沿轴线装配有螺线型叶片12,所述螺线型叶片12边缘与副子晶夹2内壁有微小间隙,间隙大小不足1mm,可实现螺线型叶片无摩擦转动;这种结构的主子晶夹,在旋转拉晶的过程中,叶片产生向上的气流,主子晶夹下端为低压状态,在气压的作用下,主子晶附近的液态硅向上运动,从而促进在引晶过程中液态硅快速的在主子晶上结晶。
[0019]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种改良子晶夹,该改良子晶夹包括:一个主子晶夹(1),所述主子晶夹(I)所夹持的主子晶(11)呈细圆柱状;其特征在于:以所述主子晶夹(I)为轴心,在其外围装配一个呈环形的副子晶夹(2),副子晶夹(2)所夹持的副子晶(21)呈环柱形;所述副子晶夹(2)可与主子晶夹(I)同轴转动,且能相对于主子晶夹上下移动。
2.根据权利要求1所述的改良子晶夹,其特征在于:在所述主子晶夹(I)的外表面沿轴线装配有螺线型叶片(12);所述螺线型叶片(12)边缘与副子晶夹(2)内壁无摩擦接触。
3.根据权利要求1所述的改良子晶夹,其特征在于:各所述子晶夹夹持的子晶表面粗糖。
4.根据权利要求1所述的改良子晶夹,其特征在于:在所述副子晶夹(2)与主子晶夹(I)相对静止的提拉过程中,副子晶(21)的下表面比主子晶(11)的下表面低5-8cm。
【文档编号】C30B29/06GK204039544SQ201420509079
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年9月5日 优先权日:2014年9月5日
【发明者】马志明 申请人:苏州洛特兰新材料科技有限公司
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