得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5;
[0036]步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。
[0037]本实施例中所转移石墨烯方阻为366土 57欧方，转移完整且方阻分布范围窄。
[0038]实施例三
[0039]本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2所示，具体如下:
[0040]步骤SOl，将甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸降冰片酯、丙烯酸异辛酯共聚物溶液涂布于PET表面，加热固化干燥后形成厚度约12微米的透明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构I的卷材如图3;
[0041]步骤S02，将步骤SOl中得到的复合结构I卷材安放到转移装备上，通过压合装置
(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.1MPa，温度为60°C得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4;
[0042]步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，施加压力为0.2MPa，电流为7A，时间为3min，使石墨烯(03)与生长基底铜箔(04)预分离；
[0043]步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与石墨烯
(03)彻底分离，施加压力为0.3MPa，电流为6A，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5;
[0044]步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。
[0045]本实施例中所转移石墨烯方阻为426土 77欧方，转移完整且方阻分布范围窄。
[0046]实施例四
[0047]本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2所示，具体如下:
[0048]步骤SOl，将甲基丙烯酸降冰片酯与丙烯酸乙酯共聚物溶液涂布于PET表面，加热固化干燥后形成厚度约17微米的透明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构I的卷材如图3;
[0049]步骤S02，将步骤SOl中得到的复合结构I卷材安放到转移装备上，通过压合装置
(002)加压加热方式与目标基底预压合，压力为0.4MPa，温度为55°C得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4;
[0050]步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，施加压力为0.6MPa，电流为3A，时间为2min，使石墨烯(03)与生长基底铜箔(04)预分离；
[0051]步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与石墨烯
(03)彻底分离，施加压力为0.5MPa，电流为4A，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5;
[0052]步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。
[0053]本实施例中所转移石墨烯方阻为351±61欧方，转移完整且方阻分布范围窄。
[0054]实施例五
[0055]本发明所涉及一种使用石墨烯“卷对卷”转移装备进行转移的方法步骤如图2所示，具体如下:
[0056]步骤SOl，将聚甲基丙烯酸甲酯溶液涂布于PET表面，加热干燥后形成厚度约I微米的透明支撑涂层(02)并收卷，得到具有铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构I的卷材如图3;
[0057]步骤S02，将步骤SOl中得到的复合结构I卷材安放到转移装备上，通过压合装置
(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，压力为0.5MPa，温度为105°C得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2如图4;
[0058]步骤S03，步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，施加压力为0.3MPa，电流为7A，时间为2min，使石墨烯(03)与生长基底铜箔(04)预分离；
[0059]步骤S04，通过转移装备的加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与石墨烯
(03)彻底分离，施加压力为0.3MPa，电流为3A，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3如图5;
[0060]步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。
[0061 ]本实施例中所转移石墨烯方阻为377 土 58欧方，转移完整且方阻分布范围窄。
【主权项】
1.一种石墨烯“卷对卷”转移装备，其特征在于，该装备由上料装置(001)、压合装置(002)、加电鼓泡预剥离装置(003)、加电剥离装置(004)、水冲洗装置(005)、吹干装置(006)和收卷装置(007)组成；上述装置依次顺序排布，并通过导向辊调整方向；所述压合装置(002)包括一对主动施压辊，在施加压力同时可以加热；所述加电鼓泡预剥离装置(003)包括数对主动施压辊，加压同时可以加电；所述加电剥离装置(004)包括一对主动施压辊，加压同时可以加电。2.—种使用如权利要求1所述的一种石墨烯“卷对卷”转移装备的转移方法，其特征在于，步骤如下: 步骤SOl，在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层(02)，并烘干收卷，得到铜箔/石墨烯/透明支撑涂层的复合结构I;其中的透明支撑涂层(02)为甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯单体中的一种或几种的共聚物;透明支撑涂层(02)厚度为0.5?20um; 步骤S02，将步骤SOl中得到的复合结构I卷材安放到转移装备中上料装置(001)上，通过压合装置(002)加压加热方式与目标基底(01)预压合，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯/铜箔的复合结构2;其中压合的压力范围为0.1MPa至IMpa，压合加热温度为50至150°C； 步骤S03，对步骤S02中得到的复合结构2通过加电鼓泡预剥离装置(003)，使石墨烯(03)与生长基底铜箔(04)预分离;其中加压加电鼓泡预剥离过程的压力范围为0.1MPa至IMpa，施加电流范围为I?10A;加压加电鼓泡预剥离过程的时间为I?1min; 步骤S04，在转移装备上通过加电剥离装置(004)，使生长基底铜箔(04)与石墨烯(03)彻底分离，得到目标基底/透明支撑涂层/石墨烯的复合结构3 ；其中加压加电剥离的压力范围为0.1MPa至IMpa，施加电流范围为I?10A; 步骤S05，对步骤S04中得到的复合结构3用去离子水水冲洗装置(005)冲洗，用吹干装置(006)吹干，最后用收卷装置(007)收卷。
【专利摘要】本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法，该装备由上料装置、压合装置、加电鼓泡预剥离装置、加电剥离装置、水冲洗装置、吹干装置和收卷装置组成；上述装置依次顺序排布，并通过导向辊调整方向连接。所涉及的转移方法为：在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层，烘干收卷后安放到转移装备上，通过压合装置加压加热方式与目标基底压合，继而通过加电鼓泡预剥离装置使石墨烯与生长基底铜箔预分离，再经过加电剥离装置使生长基底铜箔与石墨烯彻底分离，最后用去离子水冲洗、吹干并收卷完成转移。本发明中的转移装备结构紧凑，与转移方法配合使用可实现石墨烯薄膜的“卷对卷”式快速、高效及高质量转移。
【IPC分类】C01B31/04
【公开号】CN105600774
【申请号】CN201511003026
【发明人】姜浩, 马金鑫, 高翾, 徐鑫, 李朝龙, 李占成, 史浩飞
【申请人】中国科学院重庆绿色智能技术研究院
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月28日