基于内置液囊和固定波长的高分辨温度传感器的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种高分辨率，纳米尺度的温度传感器，尤其涉及一种基于内置液囊 和单一波长激光探测的高灵敏度温度传感器。
【背景技术】
[0002] 温度传感器是实际应用中最广泛的传感器之一，从我们生活中的寒暑表，体温计 到大型仪器以及集成电路上的温控设备，温度传感器无处不在。传统温度传感器，例如热电 阻、铂电阻，双金属开关等虽然有着各自的优点，但在微型和高精度产品中却不再适用。半 导体温度传感器灵敏度或分辨率高、体积小、功耗低、抗干扰能力强等优点使得其在半导体 集成电路中应用非常广泛。
[0003] 基于表面等离子激元的波导却能突破衍射极限的限制，实现纳米尺度的光信息处 理和传输。表面等离子激元是当电磁波入射到金属与介质分界面时，电磁波和金属表面的 自由电子親合形成的一种在金属表面传播的表面电磁波。
[0004] 目前，根据表面等离子激元的性质，提出了基于表面等离子体结构的器件，例如滤 波器、环形器、逻辑门、光开关等。这些器件在结构上都比较简单，非常便于光路集成。
[0005] 现有技术中的温度传感器灵敏度为70pm/°C或-0.65nm/°C，虽然温度传感器体积 很小，但是灵敏度或分辨率并不高。
【发明内容】
[0006] 本发明的目的是克服现有温度传感器分辨率的不足，提供一种便于集成的MM结 构的高分辨率温度传感器。
[0007] 本发明的目的通过下述技术方案予以实现。
[0008] 本发明基于内置液囊和固定波长的高分辨率温度传感器，它由一个内置液囊、金 属块、一个竖直波导、一个水平波导、两个金属膜和一个水平传播的信号光组成;所述信号 光采用固定波长;所述液囊和所述竖直波导连接，所述金属块设置竖直波导内，且可以移 动;所述竖直波导和水平波导连接;所述信号光采用固定波长。
[0009] 所述液囊内物质为高热膨胀系数的物质；
[0010] 所述高膨胀系数的物质为酒精或者水银。
[0011] 所述液囊截面的形状为矩形、圆形、多边形、椭圆形或者不规则形状。
[0012] 所述金属为金或银。
[0013] 所述金属为银。
[0014] 所述水平波导和竖直波导为MIM结构的波导。
[0015] 所述水平波导内的介质为空气。
[0016] 所述信号光为单一波长激光，其波长为792nm的激光。
[0017] 所述可移动银块固定位置为116nm。
[0018]本发明与现有技术相比的有益效果是：
[0019] 1.具有结构紧凑，体积小，非常便于集成。
[0020] 2.分辨率高，温度平均分辨率平均达到0.0083°C，最高分辨率为0.005°C。
【附图说明】
[0021] 图1是本发明高分辨率温度传感器第一种实施例二维结构示意图。
[0022] 图中：金属膜1内置液囊2金属块3竖直波导4水平波导5金属膜6水平传播的 信号光200
[0023]图2是图1所示的三维结构示意图。
[0024] 图3是本发明高分辨率温度传感器第二种实施例二维结构示意图。
[0025] 图中：金属膜1内置液囊2金属块3竖直波导4水平波导5金属膜6水平传播的 信号光200
[0026]图4是图3所示的三维结构示意图。
[0027] 图5是不同波长信号光的透射频谱图。
[0028] 图6是不同波长透射率的间隔的平均值。
[0029 ]图7是透射率对应温度的导数曲线图。
【具体实施方式】
[0030] 下面结合附图与实施例对本发明作进一步的描述。
[0031] 如图1和2(图2中省略了结构上面的封装介质)所示，本发明基于内置液囊和固定 波长的高分辨率温度传感器，它由金属膜1、一个内置液囊2、金属块3、一个竖直波导4、一个 水平波导5、金属膜1、6(没有被刻蚀的金属膜)和一个水平传播的信号光200(波导表面形成 表面等离子激元)组成;信号光采用固定波长;液囊2和竖直波导4连接，液囊2(温度敏感腔） 截面为圆形腔，半径为R，其截面积采用502655nm 2,厚度为Ιμπι，该液囊2内的物质为比热容 较低的，且为高热膨胀系数的物质，高膨胀系数物质为酒精或水银，最好采用酒精;金属采 用金或银，最佳为银，金属膜厚度（以下用hi表示)采用100nm以上取值范围，以100nm厚度为 最佳;液囊2的厚度大于银膜的厚度h 1;金属块3设置竖直波导4内，且可以移动，移动金属块 3长度m采用80nm-150nm取值范围，以125nm长度为最佳，可移动金属块3距离水平波导5的距 离s采用0nm-200nm距离范围，且由金属块3的位置确定，该金属块3为金或银，最佳为银;竖 直波导4和水平波导5连接;竖直波导4和水平波导5为MM结构的波导，即MM波导为金属-绝 缘体-金属结构；绝缘体采用不导电透明物质；所述不导电透明物质为空气、二氧化硅、或 硅;竖直波导4和水平波导5连接;竖直波导4宽度b采用30nm-60nm取值范围，以35nm宽度为 最佳，竖直波导4长度Μ采用200nm以上，以300nm长度为最佳;竖直波导4的左边缘到金属膜6 左边缘的距离a采用350nm-450nm取值范围，以400nm为最佳。竖直波导4位于水平波导5的上 端;水平波导5宽度d采用30nm-100nm取值范围，以50nm宽度为最佳，水平波导5内的介质为 空气;水平波导5的下边缘距离金属膜6的边缘的距离c采用大于150nm的取值范围。
[0032] 本发明通过温度的变化来改变酒精的体积，使其膨胀推动可移动金属块3向水平 波导5移动来改变竖直波导4内空气段的长度，可移动金属块3向下移动使得其到水平波导5 距离发生变化，信号光的透过率也就随之发生变化；由于可移动金属块3往下移动受温度的 控制，所以温度的变化影响信号光的透射率的变化，根据透射率的变化即可探测温度信息 的变化;透射率的特征可以与温度一一对应，即从透射率的特征即可知道温度的变化。当温 度又降回初始温度时，在外界大气压的作用下，金属块3又会回到初始压力平衡的位置，方 便下一次探测。
[0033]本发明液囊2内的酒精体积膨胀系数为aethanQl = 1.1 X 1(T3/°C，在室温(20°C )时密 度为P = 0.789g/cm3。银的线膨胀系数为aAg= 19.5 X 1(T6/°C。相比于酒精的膨胀系数，在相 同温度变化下，银的膨胀可以忽略不计。在本发明中，即不再考虑温度变化对银的体积的影 响。根据液囊的体积和可移动金属块的截面积可以计算出金属块的位置变化与温度的关 系，由此定义一个比例系数σ表示单位温度的变化对应的金属块移动距离
[0035] 此式也可以作为衡量该结构的温度敏感性。根据此式可以得出圆形吸收腔的截面 积及可移动金属块的宽度对金属块的位置变化影响比较大，综合考虑选择S = 502655mm2，b = 35nm。则〇 = 1.57nm/°C，此结果为金属块的移动量与温度的关系。
[0036] 如图3和4 (图4中省略了结构上面的封装介质)所示