探针卡的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明是关于一种探针卡，且特别是有关于一种悬臂式探针卡。
【背景技术】
[0002]探针卡的主要目的是通过其探针直接与待测物(如芯片)上的焊垫或是凸块直接接触，配合周边测试机台与软件控制而达到自动化量测目的，并进一步地筛选出不良品，通常是通过测试机台发送测试信号，经探针卡到待测物，再由待测物回送测试结果信号，经探针卡到测试仪器进行分析。
[0003]探针卡上具有精密的接触机构，以测试芯片上的电路，并执行电性测试的作业，以确保芯片的电气特性与效能是依照设计规格制造出来。在测试时，探针卡上往往需要安装一些电子电路，以确保送进芯片的信号是正确的。然而，受限于探针卡上印刷电路板的空间，这些电子电路往往不能被充分安装，或者增加探针卡电路布局的困难度，而导致设计成本的增加，更甚至电路布局的限制，导致电子电路的元件无法充分放置，使测试结果无法符合要求。
【发明内容】
[0004]本发明的一发明目的在于提供一种探针卡，其能提供足够的空间，使电子电路能够充分安装，而不用受限于印刷电路板上有限的空间。
[0005]根据本发明的一实施方式，一种探针卡包含印刷电路板、至少一电源/信号导体片、至少一接地导体片、至少一绝缘体、至少一电子电路、至少一电源/信号探针与至少一接地探针。电源/信号导体片电性连接电源或信号。接地导体片电性连接接地电位。绝缘体位于电源/信号导体片与接地导体片之间。电子电路的两端分别电性连接电源/信号导体片与接地导体片。电源/信号探针电性连接电源/信号导体片，且电源/信号探针直接或间接连接印刷电路板，用以点触至少一待测物的至少一电源/信号接点。电源/信号导体片位于印刷电路板与电源/信号探针之间。接地探针电性连接接地导体片，且接地探针直接或间接连接印刷电路板，用以点触待测物的至少一接地接点，接地导体片位于印刷电路板与接地探针之间。
[0006]本发明上述实施方式与已知现有技术相较，由于电源/信号导体片与接地导体片提供足够的空间，因此电子电路能够充分安装，而不用受限于印刷电路板上有限的空间。
【附图说明】
[0007]图1绘示依照本发明一实施方式的探针卡的正视图。
[0008]图2绘示图1的探针卡的局部M的正视图。
[0009]图3绘示图1的局部M的侧视图。
[0010]图4绘示图2的电源/信号探针以及接地探针点触待测物的局部示意图。
[0011]图5绘示图2的电源/信号探针以及接地探针点触待测物的局部示意图。
[0012]图6绘示依照本发明另一实施方式的探针卡的正视图。
[0013]图7绘示依照本发明再一实施方式的探针卡的正视图。
[0014]图8绘示图7的探针卡的侧视图。
[0015]附图标号
[0016]100:探针卡
[0017]110:印刷电路板
[0018]113:输入区
[0019]115:走线区
[0020]117:探针区
[0021]117a:金属焊点
[0022]120、120a、120b、120c:电源 / 信号导体片
[0023]130、130a、130b、130c:接地导体片
[0024]140、140a、140b、140c:绝缘体
[0025]150、150a、150b、150c:电子电路
[0026]160、160a、160b、160c:电源 / 信号探针
[0027]170、170a、170b、170c:接地探针
[0028]I6OrU7Or:针尖
[0029]160s、170s:针尾
[0030]160t、170t:倾斜延伸部
[0031]160u、170u:弯折部
[0032]200、200a、200b:待测物
[0033]201、201a、201b:电源 / 信号接点
[0034]202、202a、202b:接地接点
[0035]300:连接件
[0036]M:局部
[0037]Wl:第一宽度
[0038]W2:第二宽度
[0039]W3:第三宽度
【具体实施方式】
[0040]以下将以附图揭露本发明的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些已知惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示之。
[0041]除非另有定义，本文所使用的所有词汇(包括技术和科学术语)具有其通常的意涵，其意涵是能够被熟悉此领域者所理解。更进一步的说，上述的词汇在普遍常用的字典中的定义，在本说明书的内容中应被解读为与本发明相关领域一致的意涵。除非有特别明确定义，这些词汇将不被解释为理想化的或过于正式的意涵。
[0042]图1绘示依照本发明一实施方式的探针卡100的正视图。图2绘示图1的探针卡100的局部M的正视图。图3绘示图1的局部M的侧视图。如图1?图3所示，探针卡100包含印刷电路板110、至少一电源/信号导体片120、至少一接地导体片130、至少一绝缘体140、至少一电子电路150、至少一电源/信号探针160与至少一接地探针170。电源/信号导体片120电性连接电源或信号。接地导体片130电性连接接地电位。绝缘体140位于电源/信号导体片120与接地导体片130之间，进一步来说，电源/信号导体片120、绝缘体140及接地导体片130是堆叠结构。电子电路150两端分别电性连接电源/信号导体片120与接地导体片130。电源/信号探针160电性连接电源/信号导体片120，且电源/信号探针160直接或间接连接印刷电路板110，用以点触至少一待测物(Device Under Test ；DUT,图1?图3未示)的至少一电源/信号接点。电源/信号导体片120位于印刷电路板110与电源/信号探针160之间。接地探针170电性连接接地导体片130，且接地探针170直接或间接连接印刷电路板110，用以点触待测物的至少一接地接点，接地导体片130位于印刷电路板110与接地探针170之间。如此一来，电源/信号导体片120与接地导体片130将能够提供足够的空间，以安装适当的电子电路150。
[0043]在本实施方式中，探针卡100所具有的电源/信号导体片120、接地导体片130、绝缘体140、电子电路150、电源/信号探针160与接地探针170为三组。为避免附图复杂，在部份附图(例如图1、图3)中，仅标示一组作为代表，而在部份需要区分各组的附图(例如图2)中，则加上尾码a、b、c以兹辨别。
[0044]在实务的应用中，电源/信号导体片120可电性连接电源或信号，一般来说信号是指测试信号，在电性连接电源时，电源/信号导体片120可以进一步称之为电源导体片，而电子电路150可为电容、稳压电路或滤波电路，电源/信号探针160为电源探针，电性连接电源导体片，用以点触待测物的至少一电源接点。在电性连接信号时，电源/信号导体片120可以进一步称之为信号导体片，而电子电路150可为静电放电(ESD)防护电路或阻抗匹配电路，电源/信号探针160为信号探针，电性连接信号导体片，用以点触待测物的至少一信号接点。进一步来说，接地电位必须依照实际的状况定义，即接地电位是否电性独立，若接地电位没有电性独立，则表示电源或信号都是使用共同的接地电位来当作参考基准。若接地电位是电性独立的区分为电源及信号使用，则当电源/信号导体片120作为电源导体片时，接地导体片130需要电性连接电源使用的接地电位，当电源/信号导体片120作为信号导体片时，接地导体片130需要电性连接信号使用的接地电位。电源/信号导体片120以电源导体片为例，电子电路150以电容为例，可以滤除电源中的噪声。具体地说，当电源与测试信号通过探针卡100而进入待测物时，由于电源为直流的，而测试信号为交