输送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及输送装置。
【背景技术】
[0002]作为搬运被搬运物的搬运装置，已知有输送装置。另外，半导体制造装置、液晶制造装置所使用的晶片以及玻璃基板等被搬运物有时被收容于作为标准化的容器之一的F0UP(Front-0pening Unified Pod)等进行搬运。这样的搬运被搬运物的搬运装置中，为了抑制搬运中的被搬运物的破损等，需要减少搬运中的振动、晃荡等而以稳定的状态进行搬运。
[0003]例如在专利文献1(日本特公平6-2527号公报)中公开有进行了用于像这样以稳定的状态搬运被搬运物的研究的输送装置。专利文献I中公开了一种输送装置，沿搬运方向排列有多台利用通过驱动装置旋转的驱动带轮来使带单向移动的单元输送机。而且，在该输送装置，在单元输送机间设置辅助输送机，通过暂时支承被搬运物，来将其交接给相邻接的搬运装置。
[0004]专利文献1:日本特公平6-2527号公报。
[0005]近年来，引进了一种输送装置，输送部在大致矩形状的主体部上回旋，而用于改变被搬运物的行进方向的回旋输送机配置于搬运路径上。在这样的输送装置中，需要将被搬运物稳定地交接给与回旋输送机邻接的部分。然而，即使仅将上述以往的辅助输送机配置于回旋输送机与邻接于回旋输送机的部分之间，因为回旋输送机的回旋部分的回旋区域的关系，也无法使辅助输送机接近回旋输送机配置。因此，难以将被搬运物稳定地交接给与回旋输送机邻接的部分。
【发明内容】
[0006]因此，本发明的目的在于提供能够将被搬运物稳定地交接给与回旋输送机邻接的部分的输送装置。
[0007]本发明的一个方面所涉及的输送装置具备:第一输送部，其具有以对被搬运物的底面进行支承的方式搬运被搬运物的第一支承搬运部；回旋部，其支承第一输送部，并使第一输送部回旋而使被搬运物的行进方向变化；以及第二输送部，其与第一输送部邻接地设置，并且具有以对被搬运物的底面中与搬运方向交叉的宽度方向上的两端部进行支承的方式搬运被搬运物的一对第二支承搬运部。第二输送部的一对第二支承搬运部、与向第二输送部的一对第二支承搬运部传递驱动力的驱动传递部设于在俯视情况下的第一输送部的回旋区域的外侧。另外，以第二输送部的被搬运物的搬运区域与第一输送部的回旋区域在俯视情况下相互重叠的方式配置有第一输送部以及第二输送部。
[0008]根据该输送装置，第二输送部的一对第二支承搬运部、与向第二输送部的一对第二支承搬运部传递驱动力的驱动传递部设于俯视情况下的第一输送部的回旋区域的外侧，因此第二输送部不阻碍第一输送部的回旋。另外，第二输送部的第二支承搬运部并未设为能够对被搬运物的搬运区域的整个面进行支承，而是设为仅能对搬运区域的宽度方向的两侧部分进行支承。因此，能够以避免在俯视情况下第一输送部的回旋区域与第二支承搬运部重叠并且使第一输送部的回旋区域与第二输送部的被搬运物的搬运区域重叠的方式配置第一输送部与第二输送部。由此，在从第一输送部向邻接的部分送出被搬运物时，能够使第二输送部的第二支承搬运部与第一输送部的第一支承搬运部接近。其结果，能够经由不是回旋输送机的第二输送部向作为回旋输送机的第一输送部所邻接的部分送出被搬运物，因此能够稳定地交接被搬运物。
[0009]另外，在一个实施方式中，也可以构成为:第一输送部具备以对被搬运物的底面中与搬运方向交叉的宽度方向上的两端部进行支承的方式搬运被搬运物的一对第一支承搬运部。
[0010]另外，在一个实施方式中，也可以构成为:第一输送部设为相对于设于第一输送部的下方的主体部回旋，第二输送部设于与主体部邻接地设置的基部的上方，并且设为在俯视情况下与主体部重叠。
[0011]根据该输送装置，能够将基部以及第二输送部设为与输送装置或者第一输送部相独立的部件，因此能够容易地进行作为输送装置的布局变更、维护。
[0012]另外，在一个实施方式中，也可以构成为:第二支承搬运部具有与被搬运物的搬运面大致平行的被搬运物支承面。
[0013]根据该输送装置，能够确保第二支承搬运部与被搬运物的接触面积，因此能够稳定地搬运被搬运物。
[0014]根据本发明，能够向与回旋输送机邻接的部分稳定地交接被搬运物。
【附图说明】
[0015]图1是具备一个实施方式所涉及的输送装置的搬运系统的结构图。
[0016]图2是示出图1所包括的第一输送部的俯视图。
[0017]图3是图2所示的第一输送部的沿II1-1II线的剖视图。
[0018]图4是示出图1所包括的第二输送部的俯视图。
[0019]图5是图4所示的第二输送部的沿V-V线的剖视图。
【具体实施方式】
[0020]下面参照附图对一个实施方式进行说明。在附图的说明中，对相同要素标注相同附图标记，省略重复的说明。附图的尺寸比率未必一致。
[0021]图1是使用一个实施方式所涉及的输送装置50的搬运系统I的结构图。搬运系统I是将从阶间搬运装置10搬运过来的F0UP(Front-0pening Unified Pod)(被搬运物)5搬运至作为对桥式行驶车91的交接部位的移载位置Pl?P4中任一个的系统。如图1所示，在本实施方式的搬运系统I中，在4个位置设置有移载位置Pl?P4T0UP5例如是收容半导体制造装置、液晶制造装置所使用的晶片以及玻璃基板等的容器，是标准化的容器之一。
[0022]阶间搬运装置10通过未图示的移载装置在相互不同的阶间进行搬运。桥式行驶车91在移载位置Pl?P4与例如未图示的装载口之间搬运F0UP5。桥式行驶车91能够是在移载位置Pl?P4与装载口之间以悬挂F0UP5的状态对F0UP5进行把持并搬运的0HT(0verheadHoist Transport)。桥式行驶车91沿设置于无尘室的天花板等高于地面的位置的行驶轨道93行驶。
[0023]下面对使用一个实施方式所涉及的输送装置50的搬运系统I进行说明。如图1所示，搬运系统I具备阶间搬运装置10、搬运输送机20、旋转输送机30以及输送装置50。
[0024]搬运输送机20具有以支承F0UP5的底部的宽度方向的两端部的方式对F0UP5进行搬运的一对输送部21A0UP5以由该输送部21支承底面的方式被搬运。本实施方式的搬运输送机20例如通过未图示的控制装置被分别实施独立的搬运控制。搬运输送机20配置于阶间搬运装置10与旋转输送机30之间、以及旋转输送机30与输送装置50之间。
[0025]旋转输送机30是改变F0UP5的搬运方向的朝向的部分，如图1所示，具有:一对输送部39，其以支承F0UP5的底部的宽度方向的两端部的方式对F0UP5进行搬运;旋转机构33，其支承一对输送部39并设置为能够旋转；以及主体部31，其支承旋转机构33。例如，旋转输送机30将从图1所示的上方搬运过来的F0UP5朝向配置于图1所示的右方的搬运输送机20送出。
[0026]输送装置50是在搬运输送机20与移载位置Pl?P4之间搬运F0UP5的装置。如图1所示，输送装置50主要具备第一输送部51、回旋部61以及第二输送部71。下面参照图2?图4，对阐述输送装置50进行详细说明。
[0027]图2是示出第一输送部51的俯视图。图3是图2所示的第一输送部51的沿II1-1II线的剖视图。图4是示出第二输送部71的俯视图，对于第一输送部51示出了在与第二输送部71之间交接F0UP5时的状态。图5是图4所示的第二输送部71的沿V-V线的剖视图，对于第一输送部51示出了在与第二输送部71之间交接F0UP5时的状态。
[0028]如图2以及图3所示，第一输送部51具有以对F0UP5的底部的宽度方向的两端部进行支承的方式对F0UP5进行搬运的一对第一带(第一支承搬运部)53。一对第一带53为环状的环状带，第一带53分别卷绕于2个辊55、55。各个第一带53通过至少一个辊55、55由未图示的驱动部驱动而单向旋转，从而对所支承的F0UP5进行搬运。
[0029]回旋部61支承第一输送部51，并且使第一输送部51回旋来使F0UP5的行进方向变化。回旋部61通过未图示的驱动部旋转，而使所支承的第一输送部51回旋。回旋部61支承于主体部63的上表面。换言之，支承于回旋部61的第一输送部51设为能够相对于主体部63回旋。
[0030]如图5所示，第二输送部71设置于与第一输送部51的主体部63邻接地设置的基部85的上方。另外，如图4所示，第二输送部71设置为在俯视情况下与主体部63重叠。如图4以及图5所示，第二输送部71具有一对第二带(第二支承搬运部)73、驱动辊75、从动辊77以及搬运辊(第二支承搬运部)79，其中，所述一对第二带73以对F0UP5的底面中与搬运方向交叉的宽度方向上的两端部进行支承的方式对F0UP5进行搬运。
[0031]如图4以及图5所示，一对第二带73为环状的环状带，第二带73分别卷绕于2个辊(驱动辊75以及从动辊77)。驱动辊75经由驱动轴(驱动传递部)83而被驱动部81驱动。第二带73具有与F0UP5的搬运面大致平行的支承面(被搬运物支承面)73A。搬运辊79是不传递驱动力的自由辊，形成F0UP5的搬运面的一部分。
[0032]在本实施方式中，如图4所示，第二输送部71的一对第二带73与向第二带73传递驱动力的驱动轴83设置于俯视情况下的第一输送部51的回旋区域Al(图4所示的斜阴影线部)的外侧，换言之，设置于不与回旋区域Al重叠的位置。
[0033]另外，在本实施方式中，以如图4所示地第二输送部71的F0UP5的搬运区域A2(图4所示的着色部)与第一输送部51的回旋区域Al(图4所示的斜阴影线部)在俯视情况下相互重叠的方式配置有第一输送部51以及第二输送部71。
[0034]接下来，对将F0UP5从阶间搬运装置1搬运至移载位置P2的情况下的搬运系统I的动作进行说明。该情况下的输送装置50的F0UP5沿以下路径行进。即，如图1所示，F0UP5按照第一输送部51