7]同样，在上述第二实施方式中，在构成层叠体90时，也可以将第一导电膏41及第二导电膏51的一部分烧结。并且，在上述第三实施方式中，在构成中间构成体90a以及层叠体90时，也可以将第一导电膏41及第二导电膏51的一部分烧结。
[0088]另外，在上述各实施方式中，可以利用Ag-Sn系等金属粒子构成第二层间连接部件50。即，作为第二层间连接部件50，也可以不是主要用于发挥热电转换的效果的部件，而是形成用于实现导通的部件。在该情况下，可以通过适当地改变形成第一通孔11及第二通孔12的位置，并且适当地改变表面图案21以及背面图案31的形状，由此将第一层间连接部件40经由第二层间连接部件50而分别并列连接。
[0089]此外，热电转换通过连接两种不同的金属而产生，所以在上述各实施方式中，可以在绝缘基材10仅形成第一通孔11，并且在第一通孔11仅配置第一层间连接部件40。即，能够将本发明应用于在绝缘基材10仅配置有一种层间连接部件的热电转换装置。
[0090]附图标记的说明
[0091 ] I:热电转换装置；10:绝缘基材；1a:表面；1b:背面;20:表面保护部件;21:表面图案；30:背面保护部件;31:背面图案;40、50:第一、第二层间连接部件(热电转换元件)；40a、50a:第一端部;40b、50b:第二端部;40c、50c:中间部。
【主权项】
1.一种热电转换装置的制造方法，该热电转换装置具备: 绝缘基材(10)，其配置有多个热电转换元件(40、50); 表面保护部件(20)，其配置于所述绝缘基材的表面(10a)，并形成有与规定的所述热电转换元件电连接的表面图案(21);以及 背面保护部件(30)，其配置在所述绝缘基材的与表面相反侧的背面(10b)，并形成有与规定的所述热电转换元件电连接的背面图案(31)， 所述热电转换元件具有与所述表面图案连接的第一端部(40a、50a)、与所述背面图案连接的第二端部(40b、50b)、以及将所述第一端部与第二端部连结起来的中间部(40c、50c)，在与所述绝缘基材的平面方向平行的方向的截面积中，所述第一端部、所述第二端部的截面积比所述中间部的截面积大， 所述热电转换装置的制造方法的特征在于，具有如下工序: 准备所述绝缘基材的工序，该绝缘基材形成有沿厚度方向贯通的多个通孔(11、12)，并在所述通孔配置有所述中间部或者构成所述中间部的导电膏(41、51); 准备所述表面保护部件的工序，该表面保护部件形成有所述表面图案； 准备所述背面保护部件的工序，该背面保护部件形成有所述背面图案； 在所述绝缘基材的表面配置所述表面保护部件且在所述绝缘基材的背面配置所述背面保护部件从而构成层叠体(90)的工序；以及使所述层叠体一体化的工序， 在构成所述层叠体的工序中，构成如下的所述层叠体，即:在所述表面图案与所述中间部或者构成所述中间部的所述导电膏之间，配置有所述第一端部或者构成所述第一端部的所述导电膏，并且在所述背面图案与所述中间部或者构成所述中间部的所述导电膏之间，配置有所述第二端部或者构成所述第二端部的所述导电膏， 在使所述层叠体一体化的工序中，一边加热所述层叠体一边从层叠方向加压，由此形成具有所述第一端部、所述第二端部以及所述中间部的所述热电转换元件。2.根据权利要求1所述的热电转换装置的制造方法，其特征在于， 在准备所述绝缘基材的工序中，准备在所述通孔填充有所述导电膏的绝缘基材， 在准备所述表面保护部件的工序中，准备在所述表面图案上配置有所述导电膏的表面保护部件， 在准备所述背面保护部件的工序中，准备在所述背面图案上配置有所述导电膏的背面保护部件， 在构成所述层叠体的工序中，以使配置于所述表面图案上的所述导电膏与填充于所述通孔的所述导电膏接触的方式，在所述绝缘基材的表面配置所述表面保护部件，并且以使配置于所述背面图案上的所述导电膏与填充于所述通孔的所述导电膏接触的方式，在所述绝缘基材的背面配置所述背面保护部件， 在使所述层叠体一体化的工序中，将在填充于所述通孔的所述导电膏与所述表面图案之间配置的所述导电膏、在填充于所述通孔的所述导电膏与所述背面图案之间配置的所述导电膏、以及填充于所述通孔的所述导电膏烧结，从而由在填充于所述通孔的所述导电膏与所述表面图案之间配置的所述导电膏形成所述第一端部，由在填充于所述通孔的所述导电膏与所述背面图案之间配置的所述导电膏形成所述第二端部，由填充于所述通孔的所述导电膏形成所述中间部，由此构成具有所述第一端部、所述第二端部以及所述中间部的所述热电转换元件。3.根据权利要求1所述的热电转换装置的制造方法，其特征在于， 在准备所述绝缘基材的工序中，具有如下工序，即:向所述通孔填充所述导电膏的工序;在所述绝缘基材的表面侧、且在填充于所述通孔的所述导电膏上进一步配置所述导电膏的工序；以及在所述绝缘基材的背面侧、且在填充于所述通孔的所述导电膏上进一步配置所述导电膏的工序， 在构成所述层叠体的工序中，以使在填充于所述通孔的所述导电膏上进一步配置的所述导电膏与所述表面图案接触的方式，在所述绝缘基材的表面配置所述表面保护部件，并且以使在填充于所述通孔的所述导电膏上进一步配置的所述导电膏与所述背面图案接触的方式，在所述绝缘基材的背面配置所述背面保护部件， 在使所述层叠体一体化的工序中，将在填充于所述通孔的所述导电膏与所述表面图案之间配置的所述导电膏、在填充于所述通孔的所述导电膏与所述背面图案之间配置的所述导电膏、以及填充于所述通孔的所述导电膏烧结，从而由在填充于所述通孔的所述导电膏与所述表面图案之间配置的所述导电膏形成所述第一端部，由在填充于所述通孔的所述导电膏与所述背面图案之间配置的所述导电膏形成所述第二端部，由填充于所述通孔的所述导电膏形成所述中间部，由此构成具有所述第一端部、所述第二端部以及所述中间部的所述热电转换元件。4.根据权利要求2或3所述的热电转换装置的制造方法，其特征在于， 作为所述导电膏，使用在多个金属原子维持规定的结晶构造的合金的粉末中添加有机溶剂并膏化的导电膏， 在使所述层叠体一体化的工序中，作为所述热电转换元件，形成将所述多个金属原子以维持该金属原子的结晶构造的状态进行烧结的烧结合金。5.一种热电转换装置的制造方法，该热电转换装置具备: 绝缘基材(10)，其配置有多个热电转换元件(40、50); 表面保护部件(20)，其配置于所述绝缘基材的表面(10a)，并形成有与规定的所述热电转换元件电连接的表面图案(21);以及 背面保护部件(30)，其配置在所述绝缘基材的与表面相反侧的背面(10b)，并形成有与规定的所述热电转换元件电连接的背面图案(31)， 所述热电转换元件具有与所述表面图案连接的第一端部(40a、50a)、与所述背面图案连接的第二端部(40b、50b)、以及将所述第一端部与第二端部连结起来的中间部(40c、50c)，在与所述绝缘基材的平面方向平行的方向的截面积中，所述第一端部、所述第二端部的截面积比所述中间部的截面积大， 所述热电转换装置的制造方法的特征在于，具有如下工序: 准备所述绝缘基材的工序，该绝缘基材形成有沿厚度方向贯通的多个通孔(11、12)，并在所述通孔配置有所述中间部或者构成所述中间部的导电膏(41、51); 准备所述表面保护部件的工序，该表面保护部件形成有所述表面图案； 在所述绝缘基材的表面侧配置所述表面保护部件从而构成中间构成体(90a)的工序； 使所述中间构成体一体化的工序； 准备所述背面保护部件的工序，该背面保护部件形成有所述背面图案； 在所述绝缘基材的背面侧配置所述背面保护部件从而构成层叠体(90)的工序；以及 使所述层叠体一体化的工序， 在构成所述中间构成体的工序中，构成如下的所述中间构成体，即:在所述表面图案与所述中间部或者构成所述中间部的所述导电膏之间，配置有所述第一端部或者构成所述第一端部的所述导电膏， 在使所述中间构成体一体化的工序中，一边加热所述中间构成体一边从层叠方向加压，由此形成具有所述第一端部以及所述中间部的所述热电转换元件的一部分， 在构成所述层叠体的工序中，构成如下的所述层叠体，即:在所述中间部与所述背面图案之间，配置有所述第二端部或者构成所述第二端部的所述导电膏， 在使所述层叠体一体化的工序中，一边加热所述层叠体一边从层叠方向加压，由此形成具有所述第一端部、所述第二端部以及所述中间部的所述热电转换元件。
【专利摘要】准备配置有中间部(40c、50c)或者构成上述中间部(40c、50c)的导电膏(41、51)的绝缘基材(10)、形成有表面图案(21)的表面保护部件(20)、以及形成有背面图案(31)的背面保护部件(30)。然后，构成如下的层叠体(90)：在表面图案(21)与中间部(40c、50c)或者构成中间部(40c、50c)的导电膏(41、51)之间，配置第一端部(40a、50a)或者构成第一端部(40a、50a)的导电膏(41、51)，在背面图案(31)与中间部(40c、50c)或者构成中间部(40c、50c)的导电膏(41、51)之间，配置有第二端部(40b、50b)或者构成第二端部(40b、50b)的导电膏(41、51)。然后，使该层叠体(90)一体化从而形成热电转换元件(40、50)。
【IPC分类】H01L35/34, H01L35/16, H01L35/32
【公开号】CN105659398
【申请号】
【发明人】乡古伦央, 坂井田敦资, 谷口敏尚, 白石芳彦, 冈本圭司
【申请人】株式会社电装
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2014年10月1日