微影制程中水洗工艺用清洗装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及微影制程中水洗工艺用清洗装置。
【背景技术】
[0002]微影制程是半导体制程和微机电制程中举足轻重的步骤之一，凡是与结构、图案相关的，如:各薄膜图案、杂质区域均有微影步骤所决定。微影的原理是在晶片上覆盖一层感光材料，来自光源的平行光经过光罩，打在感光材料上，光罩上的图案将使入射光反射，使透过光罩的光束也具有与光罩上相同的图案，进一步使晶片上的感光材料进行选择性感光，于是晶片上的图案完整的传输到感光材料上，此步骤即为曝光，曝光之后再经过显影，就如同洗照片一般，光罩上的图案成功的转移到感光材料上。
[0003]微影制程包括五大步骤:前处理，压膜，曝光，显影、刻蚀、去膜制程(DES制程)，自动光学检测制程(Α0Ι制程)。前处理的主要任务是将进入微影的板子进行清洁并粗化板面，为压膜做准备;DES制程的主要任务是先将没有被紫外光线照射到的干膜洗掉，再将露出的铜刻蚀掉，最后将被紫外光线照射到的干膜洗掉，从而制作出需要制作的线路，以上两个制程的具体步骤中都有连续的6-8道水洗工艺，每道水洗工艺的清洗装置如图1所示，包括新液补充管道1、槽体2和溢流管道3，新液补充管道I的位置不低于溢流管道3，现有技术中，槽体2中的水保持动态平衡且不断更新，新鲜的水匀速从新液补充管道I流入槽体2，水位超过标准水位，溢流管道3则以相同速度排出废水，一、二、三道水洗工艺采用的清洗装置通过同一输送管道送水，新鲜的水经过各自的新液补充管道流入槽体，经过各自的溢流管道排出废水，四、五道水洗工艺的清洗装置和六、七、八道水洗工艺的清洗装置的结构如一、二、三道水洗工艺的清洗装置。各道水洗工艺的清洗装置排出的废水只能收集后进行污水处理，这样的结构设计存在如下问题:I.作业过程中用水量大;2.污水处理成本高;3.水资源不能进行循环利用，造成浪费。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型提供了一种微影制程中水洗工艺用清洗装置，用以解决作业过程中洗液用量大，污水处理成本高，水资源浪费的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是:一种微影制程中水洗工艺用清洗装置，包括依次连接的输送装置、第一清洗装置、第二清洗装置和回收装置，洗液经所述输送装置输送至所述第一清洗装置中，使用结束后，从所述第一清洗装置输出，流入所述第二清洗装置中再次利用，最后流至所述回收装置回收处理，所述第一清洗装置包括第一槽体，所述第一槽体上设有第一进液口和第一出液口，所述第二清洗装置包括第二槽体，所述第二槽体上设有第二进液口和第二出液口，所述第一出液口的高度不低于所述第二进液口和第二出液口的高度，则所述第一槽体中洗液的液面不低于所述第二槽体中洗液的液面，保证所述清洗装置内的洗液能输送到所述第二清洗装置中且不发生倒流现象。
[0006]作为优选，所述第一清洗装置还包括第一新液补充管道和第一溢流管道，第一新液补充管道设在所述第一进液口处，所述第一溢流管道设在所述第一出液口处;所述第二清洗装置还包括第二新液补充管道和第二溢流管道，所述第二新液补充管道设在所述第二进液口处，所述第二溢流管道设在所述第二出液口处。
[0007]作为优选，所述微影制程中水洗工艺用清洗装置还包括连接管道，所述连接管道一端与所述第一溢流管道固定连接，另一端与所述第二新液补充管道固定连接。
[0008]作为优选，所述连接管道的高度低于所述第一进液口、第一出液口、第二进液口和第二出液口的高度。
[0009]作为优选，所述第一进液口的高度不低于所述第一出液口的高度，有利于洗液的输送。
[0010]作为优选，所述第二进液口的高度不高于所述第二出液口的高度，有利于所述第二槽体中的洗液充分混合。
[0011]作为优选，所述第二清洗装置的容积小于所述第一清洗装置的容积，加快下游的所述清洗装置内洗液更新的速度。
[0012]作为优选，所述连接管道是聚氯乙烯硬质管道，具有优异的耐腐蚀性能，且不易弯曲变形，保持洗液流动通畅。
[0013]与现有技术相比，本实用新型具有以下优点:本实用新型所述的微影制程中水洗工艺用清洗装置，将后道清洗工艺的清洗装置中排出的废液输送至前道清洗工艺的清洗装置中再利用，实现了洗液的循环利用，减少了洗液的用量以及污水的排出量，降低了生产成本。
【附图说明】
[0014]图1是现有技术中微影制程中水洗工艺采用的水洗装置结构示意图；
[0015]图2是本实用新型一具体实施例的微影制程中水洗工艺用清洗装置结构示意图。
[0016]图中所示:1_新液补充管道、2-槽体、3-溢流管道、10-输送装置、20-第一清洗装置、21-第一新液补充管道、22-第一槽体、23-第一溢流管道、30-第二清洗装置、31-第二新液补充管道、32-第二槽体、33-第二溢流管道、40-回收装置、50-聚氯乙烯硬质管道、221-第一进液口、222-第一出液口、321-第二进液口、322-第二出液口。
【具体实施方式】
[0017]为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0018]请参考图2，本实用新型提供一种微影制程中水洗工艺用清洗装置，应用于微影前处理及DES制程的水洗工艺，所述微影制程中水洗工艺用清洗装置包括输送装置10、第一清洗装置20、第二清洗装置30、回收装置40和聚氯乙烯硬质管道50，所述