激光器废气回收装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种激光器废气回收装置，包括多个并排设置的气体存储罐，其中，所述气体存储罐通过气体管道与用于接收激光器废气的缓冲罐相连，所述气体管道上靠近缓冲罐处连接有真空泵，所述气体管道上靠近气体存储罐处连接有压缩机，所述气体存储罐上设置有第一压力变送器，所述缓冲罐上设置有第二压力变送器，所述第一压力变送器、第二压力变送器和PLC控制器的输入端相连，所述PLC控制器的输出端和真空泵及压缩机相连。本实用新型通过设置缓冲罐和真空泵，利用压力比较器控制充气压力，从而能够对芯片、显示器制造中产生的氪、氙、氖三种稀有气体进行回收和纯化处理，且结构简单，易于实施。
【专利说明】
激光器废气回收装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种废气回收装置，尤其涉及一种激光器废气回收装置。
【背景技术】
[0002]氪、氙、氖这三种稀有气体在空气中的含量微少，三种气体组成总共不到大气中的
0.1002%，由于稀有气体具有的一些独特特性使氪、氙、氖广泛地应用在各种工业用途中。氪气、氙气、氖气由于在空气中的含量极少，提取困难，只有在大型、特大型空分设备上才能提取。目前世界上的氙气产量只有900多万升、氪气8200万升、氖气37500万升。这些产量被4家国际大型工业气体公司:法液空、美国普莱克斯、德国林德和乌克兰公司所控制。
[0003]氪、氣、氖三种稀有气体，作为微电子工业及空间项目的战略材料，在国内的市场增量需求迅续，作为不可再生资源，“回收处理循环再利用”的产业化已成必然。目前，国内尚无“回收处理循环再利用”的报道及实例。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种激光器废气回收装置，能够对芯片、显示器制造中产生的氪、氙、氖三种稀有气体进行回收和纯化处理，结构简单，易于实施。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种激光器废气回收装置，包括多个并排设置的气体存储罐，其中，所述气体存储罐通过气体管道与用于接收激光器废气的缓冲罐相连，所述气体管道上靠近缓冲罐处连接有真空栗，所述气体管道上靠近气体存储罐处连接有压缩机，所述气体存储罐上设置有第一压力变送器，所述缓冲罐上设置有第二压力变送器，所述第一压力变送器、第二压力变送器和PLC控制器的输入端相连，所述PLC控制器的输出端和真空栗及压缩机相连。
[0006]上述的激光器废气回收装置，其中，所述气体存储罐和缓冲罐为不锈钢钢瓶，所述气体存储罐和缓冲罐的真空度小于10pa。
[0007]本实用新型对比现有技术有如下的有益效果:本实用新型提供的激光器废气回收装置，通过设置缓冲罐和真空栗，利用压力比较器控制充气压力，从而能够对芯片、显示器制造中产生的氪、氙、氖三种稀有气体进行回收和纯化处理，且结构简单，易于实施。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型激光器废气回收装置结构示意图；
[0009]图2为本实用新型激光器废气回收流程示意图。
[0010]图中:
[0011]I PLC控制器 2气体存储罐 3缓冲罐
[0012]4真空栗 5压缩机
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。
[0014]图1为本实用新型激光器废气回收装置结构示意图。
[0015]请参见图1，本实用新型提供的激光器废气回收装置，包括多个并排设置的气体存储罐2，其中，所述气体存储罐2通过气体管道与用于接收激光器废气的缓冲罐3相连，所述气体管道上靠近缓冲罐3处连接有真空栗4，所述气体管道上靠近气体存储罐2处连接有压缩机5，所述气体存储罐2上设置有第一压力变送器，所述缓冲罐3上设置有第二压力变送器，所述第一压力变送器、第二压力变送器和PLC控制器I的输入端相连，所述PLC控制器I的输出端和真空栗4及压缩机5相连。
[0016]本实用新型提供的激光器废气回收装置，其中，所述气体存储罐2和缓冲罐3为不锈钢钢瓶，所述气体存储罐2和缓冲罐3的真空度小于10pa。
[0017]本实用新型提供的激光器废气回收装置，请参见图2，PTI为压力变送显示器，S为调节阀，PS为压力调节阀。具体工艺及控制过程如下:
[0018]I)使用时，启动真空栗4和压缩机5对回收装置进行真空处理，除去装置内的空气等有害组份，真空度为<10pa。
[0019]2)利用激光器与回收装置的压差，以500L/h?800L/h的流量，将废气贮存于缓冲罐3内。
[0020]3)缓冲罐3与激光器压力达到平衡后，启动压缩机5，将激光器内的余气送入缓冲罐3，激光器内真空度达到洁净真空度，小于5 X 10—3pa。
[0021 ] 4)启动真空栗4，将缓冲罐3内废气加压贮存于气体存储罐2内。
[0022]5)贮罐内压力低于压缩机吸气压力要求时，启动压缩机5，将缓冲罐3内残余气体抽出作为压缩机吸气源，继续废气加压贮存。
[0023 ] 6)贮罐内真空度< I Opa时，真空栗4、压缩机5停运。
[0024]7)打开贮罐与压缩机出口充装管间的阀门泄压，压缩机出口充装管内压力降至
0.1Mpa时，激光器内废气回收贮存工作完成。
[0025]8)装置封闭待用。
[0026]在激光器废气收集过程中，还可对废气进行纯化处理，具体纯化过程如下:
[0027]I)用碱洗的方法除去大部分HCL，然后水洗使其呈中性；
[0028]2)用精馏的方法脱去Xe;
[0029]3)通过变压吸附方法除去其中微量的Η20、02、Η2等杂质，将其提纯到5N5以上纯度的氖气，分析所回收氖气的各个杂质含量，当其达到空分装置来的用于生产激光混合气的氖气杂质标准时，即为合格的氖气原料。
[0030]虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的为准。
【主权项】
1.一种激光器废气回收装置，包括多个并排设置的气体存储罐(2)，其特征在于，所述气体存储罐(2)通过气体管道与用于接收激光器废气的缓冲罐(3)相连，所述气体管道上靠近缓冲罐(3)处连接有真空栗(4)，所述气体管道上靠近气体存储罐(2)处连接有压缩机(5)，所述气体存储罐(2)上设置有第一压力变送器，所述缓冲罐(3)上设置有第二压力变送器，所述第一压力变送器、第二压力变送器和PLC控制器(I)的输入端相连，所述PLC控制器(I)的输出端和真空栗(4)及压缩机(5)相连。2.如权利要求1所述的激光器废气回收装置，其特征在于，所述气体存储罐(2)和缓冲罐(3)为不锈钢钢瓶，所述气体存储罐(2)和缓冲罐(3)的真空度小于10pa。
【文档编号】B01D53/68GK205461732SQ201521135431
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2015年12月31日
【发明人】梁成科, 梁永强, 吕其明
【申请人】上海和立工业气体有限公司