技术编号:10401547
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面,形成导电膜。在真空镀膜过程中,进口室与出口室由于经常与大气接触,在反复抽真空放大气的过程中,在抽气管道端部容易出现结冰的现象,影响到抽真空的效率,甚至堵塞了抽气管道。—般的,在真空镀膜的进口室与出口室布满类似镀膜主室的加热丝,在真空镀膜过程中,启动加热丝的加热功能,使加热丝自身产生热量,并将热量传递给与加热丝接触的进口室与出口室,使进口室与出口室的温度升高,在抽真空放大气过程所排出...
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