一种真空镀膜机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜技术领域，更具体地说，涉及一种具有加热机构的真空镀膜机，该加热机构能够有效提高抽真空的效率。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，形成导电膜。在真空镀膜过程中，进口室与出口室由于经常与大气接触，在反复抽真空放大气的过程中，在抽气管道端部容易出现结冰的现象，影响到抽真空的效率，甚至堵塞了抽气管道。
[0003]—般的，在真空镀膜的进口室与出口室布满类似镀膜主室的加热丝，在真空镀膜过程中，启动加热丝的加热功能，使加热丝自身产生热量，并将热量传递给与加热丝接触的进口室与出口室，使进口室与出口室的温度升高，在抽真空放大气过程所排出的气体不会使进口室与出口室因温度低而结冰，提高了抽真空的效率。
[0004]但是，在进口室与出口室设置加热丝，加热丝的功率较高，会造成能源的浪费；且加热丝加热电压较高，有安全隐患。
【发明内容】
[0005]本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有加热丝功率较高、浪费能源，有安全隐患的问题，提供一种真空镀膜机，通过在抽真空装置的抽气管道端部设置一个电磁加热机构，使抽真空装置的抽气管道端部在其进口室与出口室的温度升高，使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室，从而提高了抽真空效率。
[0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具;所述抽真空装置通过真空管道与真空镀膜室连通，所述蒸发加热装置设置在真空镀膜室的底部，所述样品夹具设置在真空镀膜室的顶部;该真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构，所述电磁加热机构设置在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上，该电磁加热机构包括管体、空气循环装置以及至少一个电磁线圈；所述管体的管径大于所述真空管道的管径，管体套设在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上，管体内壁与真空管道外壁之间形成空腔;所述空气循环装置设置在空腔的一端;所述电磁线圈包覆在管体的外侧壁上，并与电源气路电气连接。
[0007]本实用新型所述的真空镀膜机中，所述空气循环装置包括电机和与电机电性连接的风机，所述风机的出风口与所述空腔的一端连接。
[0008]本实用新型所述的真空镀膜机中，所述电磁加热机构还包括用于围蔽电磁线圈的保护罩，所述保护罩将所述管体包覆在内。
[0009]本实用新型所述的真空镀膜机中，所述保护罩上设置有散热通道，所述散热通道为通孔。
[0010]本实用新型所述的真空镀膜机中，所述抽真空装置包括机械栗、增压栗和油扩散栗，所述机械栗与油扩散栗相连，所述机械栗、增压栗和油扩散栗分别与四向密封阀相连，四向密封阀通过真空管道与真空镀膜室的内部相连通。
[0011]实施本实用新型的真空镀膜机，具有以下有益效果:
[0012](I)通过在真空镀膜机的抽真空装置的真空管道上设置有电磁加热装置，通过电磁加热将热量传递给与之接触的真空管道端部，使抽真空装置的真空管道端部在其进口室与出口室的温度升高，使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室，从而提尚了抽真空效率；
[0013](2)此外，相对于现有技术中的电加热而言，本实用新型的电磁加热机构具有热量损耗小、易于控制、加热速度快并且有利于节约能源的作用；
[0014](3)通过在电磁加热机构上设置空气循环装置，通过风机将热能均匀的分散在空腔内，稳定了加热的温度，保证了抽真空装置的安全性；
[0015](4)通过保护罩设置的散热通道，保证了电磁线圈工作的稳定性。
【附图说明】
[0016]下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中:
[0017]图1是本实用新型较佳实施例的真空镀膜机的结构示意图；
[0018]图2是本实用新型较佳实施例的电磁加热机构的结构示意图；
[0019]图3是本实用新型较佳实施例的抽真空装置的结构示意图；
[0020]其中，1、真空镀膜室;2、抽真空装置;21、机械栗;22、增压栗;23、油扩散栗;24、四向密封阀；3、蒸发加热装置;4、样品夹具;5、电磁加热机构;51、管体;52、空气循环装置;53、电磁线圈；54、保护罩。
【具体实施方式】
[0021]下面，结合附图以及【具体实施方式】，对本实用新型做进一步描述:
[0022]如图1-3所示，一种真空镀膜机，包括真空镀膜室1、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置2、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置3、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具4;所述抽真空装置2通过真空管道与真空镀膜室I连通，所述蒸发加热装置3设置在真空镀膜室I的底部，所述样品夹具4设置在真空镀膜室I的顶部;该真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构5，所述电磁加热机构5设置在抽真空装置2与真空镀膜室I之间的真空管道上。
[0023]所述电磁加热机构5包括管体51、空气循环装置52以及至少一个电磁线圈53、用于围蔽电磁线圈的保护罩54;所述管体51的管径大于所述真空管道的管径，管体51套设在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上，管体内壁与真空管道外壁之间形成空腔;所述空气循环装置52设置在空腔的一端;所述电磁线圈53包覆在管体的外侧壁上，并与电源气路电气连接;所述保护罩54将所述管体包覆在内，保护罩54上设置有散热通道，所述散热通道为通孔。通过保护罩设置的散热通道，保证了电磁线圈工作的稳定性。
[0024]其中，所述空气循环装置52包括电机和与电机电性连接的风机，所述风机的出风口与所述空腔的一端连接。通过在电磁加热机构上设置空气循环装置，通过风机将热能均匀的分散在空腔内，稳定了加热的温度，保证了抽真空装置的安全性。
[0025]所述抽真空装置2包括机械栗21、增压栗22和油扩散栗23，所述机械栗21与油扩散栗23相连，所述机械栗、增压栗和油扩散栗分别与四向密封阀24相连，四向密封阀通过真空管道与真空镀膜室的内部相连通。
[0026]本实用新型通过在真空镀膜机的抽真空装置的真空管道上设置有电磁加热装置，通过电磁加热将热量传递给与之接触的真空管道端部，使抽真空装置的真空管道端部在其进口室与出口室的温度升高，使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室，从而提高了抽真空效率。同时，相对于现有技术中的电加热而言，本实用新型的电磁加热机构具有热量损耗小、易于控制、加热速度快并且有利于节约能源的作用。
[0027]对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜机，其特征在于，包括真空镀膜室、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具;所述抽真空装置通过真空管道与真空镀膜室连通，所述蒸发加热装置设置在真空镀膜室的底部，所述样品夹具设置在真空镀膜室的顶部;所述真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构，所述电磁加热机构设置在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上，该电磁加热机构包括管体、空气循环装置以及至少一个电磁线圈;所述管体的管径大于所述真空管道的管径，管体套设在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上，管体内壁与真空管道外壁之间形成空腔;所述空气循环装置设置在空腔的一端;所述电磁线圈包覆在管体的外侧壁上，并与电源气路电气连。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述空气循环装置包括电机和与电机电性连接的风机，所述风机的出风口与所述空腔的一端连接。3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述电磁加热机构还包括用于围蔽电磁线圈的保护罩，所述保护罩将所述管体包覆在内。4.根据权利要求3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述保护罩上设置有散热通道，所述散热通道为通孔。5.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述抽真空装置包括机械栗、增压栗和油扩散栗，所述机械栗与油扩散栗相连，所述机械栗、增压栗和油扩散栗分别与四向密封阀相连，四向密封阀通过真空管道与真空镀膜室的内部相连通。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、用于对真空镀膜室进行抽真空的抽真空装置、用于将薄膜材料加热蒸发的蒸发加热装置、用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具；所述抽真空装置通过真空管道与真空镀膜室连通，所述蒸发加热装置设置在真空镀膜室的底部，所述样品夹具设置在真空镀膜室的顶部；该真空镀膜机还包括用于提高抽真空效率的电磁加热机构，所述电磁加热机构设置在抽真空装置与真空镀膜室之间的真空管道上。通过在抽真空装置的真空管道上设置一个电磁加热机构，使抽真空装置的进口室与出口室的温度升高，使抽真空放大气过程中所排出的水气不会冷冻抽真空装置抽气管道端部的进口室与出口室，从而提高了抽真空效率。
【IPC分类】C23C14/24
【公开号】CN205313657
【申请号】CN201620075227
【发明人】邱海峰
【申请人】邱海峰
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2016年1月27日