一种镀膜机的抽真空装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜机抽真空装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜金属薄膜是在高真空条件下，以电阻、高频或是电子加热使金属熔融气化，在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜，其中被镀金属材料用的最多的是铝，在塑料薄膜或是纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄或者镀铝纸，在镀铝薄膜生产过程中对于真空条件是有严格限制的，真空度过高或者过低都会影响镀膜的性能，目前，工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制并不是很稳定，导致生产过程中产品的性能不够稳定，因此，解决生产过程中镀膜机的真空度是否适中是尤为重要的问题。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种结构简单，控制方便、有利于提尚广品性能的一种真空镀膜技术领域。
[0004]—种镀膜机的抽真空装置，包括一个溅射室，所述溅射室、与溅射室相连通的抽真空机构以及调整机构，所述调整机构包括一个水平设置在所述溅射室内的能够转动的旋转平台、位于旋转平台上的基板，所述旋转平台通过一个连接转轴与一个控制电机相连接，所述溅射室设置进气管道，排气管道与抽真空管道，所述抽真空机构包括依次连接设置的冷凝器与过滤器，冷凝器通过抽真空管道与所述溅射室相连通，所述过滤器通过一个调节阀与一个抽真空栗相连接，所述排气管道与所述抽真空栗相连通，抽真空栗与溅射室之间的排气管道上设置有电磁阀。
[0005]所述镀膜机的抽真空装置还包括设置在所述溅射室顶部的热风装置，所述热风装置包括一个固定在所述溅射室一侧的热风机，热风机通过一个热风管道连通所述溅射室。
[0006]所述溅射室在相反排气管道的一端还设置有低真空规，所述冷凝器与溅射室之间的抽真空管道上连接设置一个高真空阀。
[0007]所述进气管道的末端设置有进气调节阀，所述排气管道的末端设置有排气调节阀。
[0008]本实用新型的有益效果在于:通过在所述溅射室内设置调整机构，在镀膜时可以根据需求转动所述旋转平台，调整所述所述基板的角度，从而保证所述基材在镀膜的均匀性，配合设置在所述溅射室上方的热风机构，并配合所述旋转平台的设置，使得所述溅射室内形成中心扩散风流向，保证镀膜产品的干燥程度均一；设置所述抽真空机构，并利用所述抽真空栗，配合所述低真空规与高真空阀的设置，保证镀膜时方便调整溅射室内的真空度，从而获得高质量的镀膜产品；设置过滤器和电磁阀，通过所述抽真空栗对溅射室内空气进行抽取，经过过滤器进行过滤，电磁阀控制所述排气量，方便的控制所述溅射室内的真空度。
【附图说明】
[0009]附图1为本实用新型所述的镀膜机的抽真空装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]参阅附图1所示为本实用新型所述的一种镀膜机的抽真空装置，包括一个溅射室2，与溅射室2相连通的抽真空机构3以及调整机构4，所述调整机构4包括一个水平设置在所述溅射室2内的能够转动的旋转平台5、位于旋转平台5上的基板6，所述旋转平台5通过一个连接转轴7与一个控制电机8相连接，所述溅射室2设置进气管道9，排气管道25与抽真空管道10，所述抽真空机构3包括依次连接设置的冷凝器11与过滤器12，冷凝器11通过抽真空管道10与所述溅射室2相连通，所述过滤器12通过一个调节阀13与一个抽真空栗14相连接，所述排气管道25与所述抽真空栗14相连通，抽真空栗14与溅射室2之间的排气管道25上设置有电磁阀15。
[0011]所述镀膜机的抽真空装置I还包括设置在所述溅射室2顶部的热风装置16，所述热风装置16包括一个固定在所述溅射室2 —侧的热风机17，热风机17通过一个热风管道18连通所述溅射室2。
[0012]所述溅射室2在相反排气管道25的一端还设置有低真空规19，所述冷凝器11与溅射室2之间的抽真空管道10上连接设置一个高真空阀20。
[0013]所述进气管道9的末端设置有进气调节阀21，所述排气管道25的末端设置有排气调节阀22。
[0014]由以上对本实用新型的描述可知:通过在所述溅射室2内设置调整机构4，在镀膜时可以根据需求转动所述旋转平台5，调整所述所述基板6的角度，从而保证所述基材在镀膜的均匀性，配合设置在所述溅射室2上方的热风机构23，并配合所述旋转平台5的设置，使得所述溅射室2内形成中心扩散风流向，保证镀膜产品的干燥程度均一；设置所述抽真空机构3，并利用所述抽真空栗14，配合所述低真空规19与高真空阀20的设置，保证镀膜时方便调整溅射室2内的真空度24，从而获得高质量的镀膜产品；设置过滤器12和电磁阀15，通过所述抽真空栗14对溅射室2内空气进行抽取，经过过滤器12进行过滤，电磁阀15控制所述排气量，方便的控制所述溅射室2内的真空度。
【主权项】
1.一种镀膜机的抽真空装置，其特征在于:包括一个溅射室，所述溅射室、与溅射室相连通的抽真空机构以及调整机构，所述调整机构包括一个水平设置在所述溅射室内的能够转动的旋转平台、位于旋转平台上的基板，所述旋转平台通过一个连接转轴与一个控制电机相连接，所述溅射室设置进气管道，排气管道与抽真空管道，所述抽真空机构包括依次连接设置的冷凝器与过滤器，冷凝器通过抽真空管道与所述溅射室相连通，所述过滤器通过一个调节阀与一个抽真空栗相连接，所述排气管道与所述抽真空栗相连通，抽真空栗与溅射室之间的排气管道上设置有电磁阀。2.根据权利要求1所述的镀膜机的抽真空装置，其特征在于:所述镀膜机的抽真空装置还包括设置在所述溅射室顶部的热风装置，所述热风装置包括一个固定在所述溅射室一侧的热风机，热风机通过一个热风管道连通所述溅射室。3.根据权利要求1所述的镀膜机的抽真空装置，其特征在于:所述溅射室在相反排气管道的一端还设置有低真空规，所述冷凝器与溅射室之间的抽真空管道上连接设置一个高真空阀。4.根据权利要求2或3所述的镀膜机的抽真空装置，其特征在于:所述进气管道的末端设置有进气调节阀，所述排气管道的末端设置有排气调节阀。
【专利摘要】本实用新型涉及一种镀膜机的抽真空装置，其特征在于：包括一个溅射室，溅射室、与溅射室相连通的抽真空机构以及调整机构，有益效果在于：通过在溅射室内设置调整机构，在镀膜时可以根据需求转动旋转平台，调整基板的角度，从而保证基材在镀膜的均匀性，配合设置在溅射室上方的热风机构，并配合旋转平台的设置，使得溅射室内形成中心扩散风流向，保证镀膜产品的干燥程度均一；设置抽真空机构，并利用抽真空泵，配合低真空规与高真空阀的设置，保证镀膜时方便调整溅射室内的真空度，从而获得高质量的镀膜产品；设置过滤器和电磁阀，通过抽真空泵对溅射室内空气进行抽取，经过过滤器进行过滤，电磁阀控制排气量，方便的控制溅射室内的真空度。
【IPC分类】C23C14/56
【公开号】CN204849019
【申请号】CN201520553173
【发明人】徐裕宏, 廖贵军
【申请人】松林光电科技（湖北）有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月20日