技术编号：9418987
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于半导体制造领域，更具体地，设及一种用于承载忍片的定位平台的旋 转中屯、标定方法。背景技术 在忍片制造过程中，由于蓝膜的变形，导致忍片在角度方向上呈现一定的角度偏 差，需对承载忍片的旋转平台进行角度上的旋转，并且依据旋转中屯、位置信息对忍片的位 置信息进行坐标变换，W在制造加工过程中获取忍片的实际位置。现有技术中一般采用目 测的方法，通过移动承载忍片的定位平台，在视场中寻找旋转中屯、，该方法对操作者的要求 高，耗时长，而且无法保证旋转中屯、的精度...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。