一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于半导体制造领域，更具体地，设及一种用于承载忍片的定位平台的旋 转中屯、标定方法。
【背景技术】
[0002] 在忍片制造过程中，由于蓝膜的变形，导致忍片在角度方向上呈现一定的角度偏 差，需对承载忍片的旋转平台进行角度上的旋转，并且依据旋转中屯、位置信息对忍片的位 置信息进行坐标变换，W在制造加工过程中获取忍片的实际位置。现有技术中一般采用目 测的方法，通过移动承载忍片的定位平台，在视场中寻找旋转中屯、，该方法对操作者的要求 高，耗时长，而且无法保证旋转中屯、的精度。
【发明内容】
[0003] 针对现有技术的W上缺陷或改进需求，本发明提供了一种用于承载忍片的定位平 台的旋转中屯、标定方法，其目的在于通过设计的算法来精确地寻找定位平台的旋转中屯、， W获得在制作加工过程中忍片的精确位置。
[0004] 为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种用于承载忍片的定位平台 的旋转中屯、标定方法，一种用于承载忍片的定位平台的旋转中屯、标定方法，其特征在于，该 标定方法包括如下步骤：
[0005] (1)对放置于定位平台的待扫描的忍片进行旋平；W预设步长逆时针旋转所述 定位平台，使得所述待扫描的忍片旋转，并对所述忍片进行扫描，获取所述忍片的信息序 列P{化Y，xlndex，ylndex)};继续W预设步长顺时针旋转待扫描的忍片，此次旋转的角 度大于前一步逆时针旋转产生的角度，并再次对所述忍片进行扫描，获取忍片的信息序列 P' {狂'，Y'，xindex,yindex)};
[0006] (2)对序列P{狂,Y,xindex,yindex) }、P' {狂'，Y'，xindex,yindex)}中的 坐标进行筛选：根据坐标索弓I，W原始序列P为参考，去除P'中多出的索引对应的坐 标，W原始序列P'为参考，去除P中多出的索引对应的坐标。最后根据索引生成序列 N{狂，Y,X'，Y'，xindex,yindex))};
[0007] 做随机选择序列N中的两个元素Ni狂1，Yi，X'1，Y'1，xindex，Wndex))，成狂2,Y2,X '2,Y'2,xlndex,yindex))，求得旋转中屯、Oregi。。(Xregi。。，YregiJ;求解公式为：
[0008]
CI)'
[誦]
(IP.
[0010] 进一步地，所述标定方法在所述步骤（3)之后还包括如下步骤：
[0011](4)根据旋转中屯、Oregi。。，进行忍片信息序列Nsi,Ns2的规划：规划的具体操作为： 计算序列N{狂，Y,X'，Y'，xlndex,yIndex))}中分量(XY)与Oregi。。狂regi。。，YregiJ点的距离， 选择距离圆屯、Oregi。。最远的点S1化1，YJ作为区域1的中心根据预设数量Q选择Q个距 离Si最近的元素，构成Nd;去除N中与Nd相交的元素，得到序列N' ；设T为X方向索引号 相差1的两个忍片的距离的平方，计算获取序列NKX，Y，X'，Y'，xindex，yindex))}中满足 狂-XJ* (Y-YJ<T的元素，选择距离Ofcgi。。最远的点S2狂,2,YJ作为区域2的中屯、，根据预 设数量Q选择Q个距离Sz最近的元素，构成N,2;
[001引 妨由获取的坐标序列NsiKXi,Yi,X'i，Y'i，xlndex，Wndex)) }，成2{狂2,Yz,X'2,Y' 2，xlndex,yindex))}，根据所述公式（I) (II)计算出旋转中屯、的序列，求解序列的平均 值，获取新的旋转中屯、。
[0013] 进一步地，所述标定方法在所述步骤（3)之后还包括如下步骤：
[0014] (4)根据旋转中屯、Oregi。。，进行忍片信息序列Nd,成2的规划：随机选取序列N中的 两个区域，W此两个区域的坐标点作为两个区域内的元素，分别记为A区域与B区域，选择 A区域中的忍片信息距离圆屯、Ofpgi。。最远的点S 1化1，YJ作为区域1的中心根据预设数量 Q选择Q个距离Si最近的元素，构成N d，其中选择距离最近的元素的规则为：设T为X方向 索引号相差1的两个忍片的距离的平方，计算获取序列N {狂，Y，X'，Y'，xindex，yindex))} 中满足（X-Xsi) * (Y-Ysi) <T的元素，去除N中与Nsi相交的元素，得到序列N' ；
[001引在区域B中选择距离Oregi。。最远的点Sz化2,YJ作为区域的中心根据预设数量Q选择Q个距离Sz最近的元素，其中选择距离最近的元素的规则为：设T为X方向索引号 相差1的两个忍片的距离的平方，计算获取序列N'KX，Y，X'，Y'，xIndex，yIndex))}中满足 狂-XJ*灯-YJ<T的元素，从而构成Ns2;
[001引 妨由获取的坐标序列NsiKXi,Yi,X'i，Y'i，xlndex，Wndex)) }，成2{狂2,Yz,X'2,Y' 2，xlndex,yindex))}，根据所述公式（I) (II)计算出旋转中屯、的序列，求解序列的平均 值，获取新的旋转中屯、。
[0017] 本发明还公开了一种用于承载忍片的定位平台的旋转中屯、标定方法，其特征在 于，该标定方法包括如下步骤：
[0018] (1)对放置于定位平台的忍片进行扫描，将所述定位平台朝一个方向旋转一个预 设的角度，继续进行一次扫描，将所述定位平台朝相反的方向旋转一个不同的预设的角度， 进行一次扫描，W此方式进行n次扫描，并且对扫描获取的忍片信息数据进行去重处理，即 经过去重处理之后n次扫描的忍片信息处理里不包括重复的忍片索引号，其中n= 3或n 为大于3的偶数；
[0019](2)随机选取一个忍片S次扫描的位置信息，利用如下公式进行旋转中屯、的计 算：
[0020] 若n= 3,则
[0021]
(曲）
[002引
（IV);
[0023]若n> 3,贝Ij
[0024]
[00 巧]
[002引其中：
[0027]A = N E Xii2Yii+NE Yii]- E 狂iZ+Yi/) E Yii
[0028] B = N E XiiYii-E XiiE Yii
[0029] C = N E XiiYii2+nE Xii]- E 狂iZ+Yi/) E Xii
[0030] D = N E YyZ-E YiiE Yii
[0031] E = N E XyZ-E XiiE Xii
[0032] 其中N为扫描次数的数值，i为n次扫描中的第i次扫描。
[0033] 进一步地，所述步骤（2)之后还包括如下步骤：
[0034] 做选取多个忍片重复进行步骤似的运算，获取旋转中屯、的序列，求取计算得到 的所述旋转中屯、序列的X、Y坐标的平均值，W其作为旋转中屯、。
[0035] 总体而言，通过本发明所构思的W上技术方案与现有技术相比，由于采用了扫描 忍片与算法结合的方式来进行旋转中屯、的标定，能快速，准确的对忍片定位平台的旋转中 屯、进行标定，有利于提高忍片生产加工的精度。
【附图说明】
[0036]图1为按照本发明实现的旋转中屯、标定方法的实施例一的流程示意图；
[0037] 图2为按照本发明实现的实施例一中的在旋平基础上逆时针旋转10°后扫描得 到的忍片坐标点阵图；
[0038] 图3为按照本发明实现的实施例一中的在旋平基础上逆时针旋转10°后扫描得 到的忍片索引点阵图；
[0039] 图4为按照本发明实现的实施例一中的在上一次扫描的基础上顺时针旋转20° 后扫描得到的忍片坐标点阵图；
[0040] 图5为按照本发明实现的实施例一中在上一次扫描的基础上顺时针旋转20°后 扫描得到的忍片索引点阵图；
[0041] 图6为按照本发明实现的实施例一中的扫描数据预处理后，逆时针旋转时忍片的 坐标点阵图；
[0042] 图7为按照本发明实现的实施例一中的扫描数据预处理后，顺时针旋转时忍片的 坐标点阵图；
[0043] 图8为按照本发明实现的实施例一中的扫描数据预处理后，忍片的索引点阵图；
[0044] 图9为按照本发明实现的实施例一中的随机选点示意图；