用于目标的照明和成像的系统和方法与流程

文档序号:14954346发布日期:2018-07-17 23:15阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种成像设备可以包括:第一照明开口,其用来在目标处输出具有第一照明分布的第一光以照亮该目标;第二照明开口,其用来在目标处输出具有第二照明分布的第二光以照亮该目标,在目标处该第二照明分布基本上类似于第一照明分布,该第二照明开口与第一照明开口间隔开,将第一和第二照明分布同时提供给目标并且在目标处重叠。可以将来自第一和第二开口的照明匹配到与成像视场相同的纵横比和视场覆盖。

技术研发人员:F.A.摩尔;A.W.兰普雷克特;L.M.奥特西;P.R.韦斯特维克;M.N.A.B.祖尔卡夫利;G.M.默里;A.J.泰南;J.E.卡梅伦;G.V.布劳恩;I.方丹
受保护的技术使用者:诺瓦达克技术公司
技术研发日:2016.11.10
技术公布日:2018.07.17
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