技术特征：
1.一种增大mems-oct扫描成像视场角的前扫探头，其特征在于包括光纤（1）、透镜（2）、反射器件（3）、mems微镜（4）、第一光学窗口（5-1）和密闭腔室（6），密闭腔室（6）内填充有液态物质（7），mems微镜（4）浸入液态物质（7）内，光纤（1）出射的光线依次通过透镜（2）、反射器件（3）、mems微镜（4），经液态物质（7）到达第一光学窗口（5-1）折射后射出。2.根据权利要求1所述的一种增大mems-oct扫描成像视场角的前扫探头，其特征在于所述液态物质（7）是液体或者液体和纳米材料的混合物。3.一种增大mems-oct扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于包括光纤（1）、透镜（2）、mems微镜（4）、第二光学窗口（5-2）和密闭腔室（6），密闭腔室（6）内填充有液态物质（7），mems微镜（4）浸入液态物质（7）内，光纤（1）出射的光线依次通过透镜（2）和mems微镜（4），经液态物质（7）到达第二光学窗口（5-2）折射后射出。4.根据权利要求3所述的一种增大mems-oct扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于还包括mems封装体（8），该侧扫探头的前端和mems封装（8）作为所述密闭腔室（6）的侧壁。5.根据权利要求3所述的一种增大mems-oct扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于所述液态物质（7）是液体或者液体和纳米材料的混合物。6.根据权利要求3所述的一种增大mems-oct扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于所述液态物质（7）包括第一液态物质（7-1）和第二液态物质（7-2），其中第一液态物质（7-1）和第二液态物质（7-2）互不相溶。7.根据权利要求3所述的一种增大mems-oct扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于所述密闭腔室（6）内的液态物质（7）不填满。8.根据权利要求3所述的一种增大mems-oct扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于所述密闭腔室（6）位于该侧扫探头内，密闭腔室（6）上有供光线射入和射出的第三光学窗口（5-3）和第四光学窗口（5-4）。
技术总结
一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头，包括光纤1、透镜2、反射器件3、MEMS微镜4、第一光学窗口5-1和密闭腔室6，密闭腔室6内填充有液态物质7，MEMS微镜4浸入液态物质7内，光纤1出射的光线依次通过透镜2、反射器件3、MEMS微镜4，经液态物质7到达第一光学窗口5-1折射后射出。优点：通过液体的折射效应，既提高MEMS探头的扫描视场，同时又通过液体的阻尼效应保护MEMS微镜。护MEMS微镜。护MEMS微镜。
技术研发人员：安妍 谢会开 赵晖
受保护的技术使用者：佛山光微科技有限公司
技术研发日：2020.09.21
技术公布日：2022/3/29