专利名称：能防止粉尘吸附的废气输送管的制作方法
技术领域：
本发明是关于废气输送管，更详细地说是关于废气特别是半导体生产过程中产生的废气输送到废气处理装置时使用的具有防止粉尘吸附装置的废气输送管。
一般情况下，在生产半导体过程中产生的废气中含有较高浓度的有毒成分，因此排放之前必须消除有毒成分。废气先输送到废气处理装置中，经过燃烧、淋湿或吸附等方法去除有毒成分。本发明中的废气处理装置详细记录在美国专利登记第5、997、824号上。
用于把废气输送到废气处理装置的管道里经过的废气中，含有毒性大的废气，因此管道的内壁容易吸附有毒粉尘，严重时会堵塞管道。
以前为防止粉尘吸附在管道内壁上，采用如
图1所示的，在把废气输送到废气处理装置7的废气输送管1的外围卷上加热线圈3，并在其外围再加上绝热层的方法，减少经过废气温度的变化。但，上述方法必须始终在管道上加热，因此浪费能源，并且防止粉尘吸附的作用不太理想，需定期拆开管道清除内部吸附的粉尘，另外设备也不简便。
本发明的目的是提供一种能解决上述问题的同时结构简单、且防止粉尘吸附效果良好的废气输送管。
为达到上述目的，本发明的废气输送管内设置有外径和管道内径相同的弹簧，并且还设置有旋转此弹簧用的电机；在管道弯曲的部位设置有中空的弯管接头盒，并在其两方向的管道端部设有电机；另外，还在不好设置弹簧的部位增设加热线圈；前述防止粉尘吸附装置可以设置在废气输送管道的全长上，也可以只设在粉尘容易吸附的和废气处理装置相连部位相近处。
使用时，本发明的废气输送管在其内部设置有被电机驱动旋转的弹簧，利用此弹簧和管道内壁的磨擦防止粉尘的吸附。因此结构非常简单，大大提高了能量效率和防止粉尘吸附的效率。
下面参考附图进行详细说明。
图1原有技术废气输送管结构的局部剖视图。
图2本发明第一实施例废气输送管结构的局部剖视图。
图3本发明第二实施例废气输送管结构的局部剖视图。
符号的说明11a、11b、11c、21废气输送管13a、13b、13c、23弹簧15a、15b弯管接头盒17a、17b、17c、17d、27电机图2是按照本发明的废气输送管的第一实施例。如图所示，废气输送管11a、11b、11c的内部设置有弹簧13a、13b、13c，这些弹簧被连在一端的电机17a、17b或17c、17d驱动旋转。
前述的弹簧13a、13b、13c的外径和管道11a、11b、11c的内径几乎相等，因此在弹簧13a、13b、13 c旋转时弹簧的外径和管道11a、11b、11c的内径互相磨擦。
就这样，本发明的废气输送管11a、11b、11c利用管道内壁和弹簧13a、13b、13c的外径之间的磨擦作用防止粉尘吸附。
使用过程中会遇到需要把废气输送管道弯曲90度以上的情况。此时在管道弯曲的部位设置中空的弯管接头盒15a、15b、此弯管接头盒15a、15b的两方向管道11a、11b、11c的端部设有电机17a、17b、或17c、17d，各自带动在管道11a、11b、11c内部设置的弹簧13a、13b、13c旋转。
另外，在连接管道11a、11b、11c中，其内部不好设置弹簧的部位，比如说阀门(图中没有显示)废气输出口19等部位，可以局部设置加热线圈。即本发明和原有技术一起作用起到补充完善的作用。
另，前述构成的防止粉尘吸附的装置可以在废气输送管的全长上设置，也可以只设在粉尘容易吸附的部位，即废气输送管和废气处理装置7相连部位21相临的部位。图3就是采用这样构成的本发明的另一种实施例。
图3只显示了废气输送管的端部21部位，弹簧23只设置在和废气处理装置7相连接的废气输送管内，其弹簧23的一端连接有电机27，并驱动弹簧23旋转，起防止粉尘吸附的作用。
如上所述构成的本发明的具有防止粉尘吸附功能的废气输送管的工作过程如下。
在生产半导体过程中产生的废气通过本发明的废气输送管11a、11b、11c、21输送到废气处理装置7中，在废气经过输送管11a、11b、11c、21时，输送管内部的弹簧13a、13b、13c、23被电机驱动并旋转，由此和管道的内壁产生磨擦。因此，废气中的粉尘不被吸附在管道11a、11b、11c、21的内壁上，和废气一起进入到废气处理装置7中，废气在废气处理装置中净化。
如上构成的本发明废气输送管采用机械方法防止粉尘的吸附，因此结构简单、效率高。
因利用管道内壁和弹簧外径的磨擦方法，防止粉尘的吸附效果非常好，所以几乎没有必要进行清理作业，因此维修非常简便。
以上只是说明了本发明的较理想的实施例，本发明并非局限于上述的本发明的实施例，在前述的本发明的权项范围内存在可以进行多种变化的实施方案的可能。
权利要求
1.一种能防止粉尘吸附的废气输送管，其特征是其内部设置有外径和管道内径相等的弹簧，弹簧的一端与电机相连。
2.如权利要求1所述的废气输送管，其特征是在输送管弯曲的部位设置有中空弯管接头盒，在其两个方向的管道端部设置有电机。
3.如权利要求1所述的废气输送管，其特征是在不容易设置弹簧装置的部位设置加热线圈。
4.如权利要求1所述的废气输送管，其特征是弹簧设置在离废气输送管和废气处理装置相连部位较近处。
全文摘要
本发明提供一种能防止粉尘吸附的废气输送管。本发明中的废气输送管是用于把废气输送至废气处理装置中,其内部设有和管道内径相同外径的弹簧,在此弹簧的端部设有用于旋转此弹簧用的电机,用这样的结构防止粉尘的吸附。在管道弯曲的部位设有弯管接头盒,其两方向管道端部设有电机。在不好设置弹簧的部位增设加热线圈。利用上述结构的废气输送管可以简便,高效率地防止粉尘的吸附。
文档编号B08B1/04GK1350137SQ0110396
公开日2002年5月22日 申请日期2001年2月16日 优先权日2000年10月24日
发明者金东秀 申请人:韩国M.A.T.有限公司