专利名称：一种硅料酸洗设备连体槽的制作方法
技术领域：
本发明涉及多晶硅料、硅芯、电池片等材料的化学处理设备，尤其涉及ー种硅料、硅芯等材料的酸洗连体槽。
背景技术：
在多晶硅料酸洗设备中，要保证酸液循环过程的稳定性和设备使用安全是必须的，这将直接影响生产的质量、效率和安全。目前，现有的酸洗槽，主要是通过主槽和外面的ー个副槽相连接。生产过程中，由于主槽和副槽之间存在着一定的距离，在实现主、副槽之间的酸液循环的时存在连接管道过长的问题，以致循环过程中造成过多的热传递，使温度得不到更精确的控制。由于酸洗槽使用的通常是HF和HN03这样的高腐蚀性、高挥发性酸液，而酸洗循环过程中的部件过多， 存在着设备损耗和化学品泄露的安全隐患，易对人体和环境造成危害和污染。现有设备的零部件接ロ过多及循环运输管道过长会影响エ艺生产的稳定性，増加风险。因此，酸洗设备エ艺生产的稳定性、安全性以及工作效率的提高，是业界亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明为了解决现有酸洗设备エ艺生产的稳定性、安全性以及工作效率的不高的技术问题，提出ー种具有高效、稳定、安全以及结构简单的硅料酸洗连体槽。本发明提出的硅料酸洗连体槽，其包括主槽、副槽和槽盖。而主槽设于副槽腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体；所述主槽外壁与副槽的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有溢流ロ，所述主、副槽之间还联通有可冷却主槽内的药液的冷却系统。其中，冷却系统包括设于所述主槽内底部的输液管、联通该输液管和所述副槽的药液循环管、与该药液循环管串接的热交換器、控制阀及循环泵并接于热交換器和副槽之间。较优的，所述的主槽内还设有与ー控制器连接的测温探头，所述的循环泵与该控制器连接。还可以在主槽内还设有与所述控制器连接的第一浮球式液位开关，所述的副槽与自动供酸机联通。所述的槽盖连接外部的抽风系统。所述副槽的底部还装有与外部相连的快排阀。所述的循环泵为循环磁力泵。所述的溢流ロ呈波浪状或矩形。本发明将原本处于主槽之外的副槽与主槽合ニ为一，不仅在保证功能完整性的同时，也简化了结构。重点简化了主槽和副槽之间的循环传输系统，缩短了循环时间，減少了循环过程中的热传递，使温度控制精准度更高。直接通过主槽的溢流ロ实现主、副槽之间的液体输送，減少了循环过程的部件，降低了化学品泄露的危险，整体性的加强了槽体酸洗的稳定性和安全性，提高了生产效率。部件和机构的減少也降低了成本。本发明有着溢流和快排的功能，具有強大的处理功能。
下面结合附图和实施例对本发明作出详细说明，其中
图I为本发明较佳实施例的剖视结构示意 图2为图I中A— A向的剖视结构示意图。
具体实施例方式图I和图2示出了本发明较佳实施例的基本结构，所述的硅料酸洗连体槽，包括主槽I、副槽6和设有连接外部抽风系统的槽盖(图中未示出)。主槽I连接于副槽6腔内的上部,形成主、副槽的一体化槽体。主槽I的外壁与副槽6的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有波浪状的溢流ロ 2 (也可以设置成矩形的溢流ロ)，主槽I内腔下部设有支撑块3。主、副槽之间还联通有可冷却主槽I内的药液的冷却系统。本实施例中，冷却系统包括设于主槽I内底部的输液管7、联通该输液管和副槽6的药液循环管8、与该药液循环管串接的在线式的热交換器9，还有控制阀11和循环磁力泵10并接于热交換器9和副槽6之间。主槽I内还设有与一控制器(未示出)连接的测温探头4，循环磁力泵10与该控制器连接。主槽I内还设有与控制器连接的第一浮球式液位开关5，副槽6与外部的自动供酸机(配制药液的设备)联通。副槽6内还设有与控制器连接的高液位浮球式液位开关12和低液位浮球式液位开关13以及液位检测仪14。副槽6的底部还装有与外部联通的快排阀(未示出)。參见图1，处理硅料吋，将装有硅料的清洗篮放在盛有化学处理药液的处理主槽I内的支撑块3上。清洗硅料时可以对整个系统进行自动化控制。如，当主槽I内药液反应温度过高时，测温探头4将电讯号传给控制器，控制器接到信号后发出指令传到循环磁力泵10，循环磁力泵10开始将副槽6中的药液输送给在线式热交換器9进行降温处理，再通过药液循环管8和输液管7输送到主槽I内的下方，主槽I内上方的药液通过溢流ロ 2流入副槽6内，如此循环，从而实现主槽I内药液的温度调整。參见图1，当主槽I中的处理硅料的药液浓度不足或者药液液面高度不够时，第一浮球式液位开关5通过控制器启动循环磁力泵10运转，将储存在副槽6的药液通过药液循环管道8和输液管7抽入主槽I中，如此循环，从而实现主槽I内药液浓度或者药液量的调整。副槽6内的高液位浮球式液位开关12和低液位浮球式液位开关13通过控制器控制自动供酸机自动补充副槽6内药液的量。在循环的过程中抽风系统将不断地抽取酸性气体。而快排阀为酸液的更换带来了方便。以上结合较佳实施方式对本发明进行了具体描述，但是本技术领域内的技术人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本发明保护的范围之内。
权利要求
1.一种硅料酸洗连体槽，包括主槽(I)、副槽(6)和槽盖，其特征在于，所述的主槽(I)设于副槽(6)腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体；所述主槽(I)外壁与副槽(6)的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有溢流口( 2 )，所述主、副槽之间还联通有可冷却主槽(I)内的药液的冷却系统。
2.如权利要求I所述的硅料酸洗连体槽，其特征在于，所述的冷却系统包括设于所述主槽(I)内底部的输液管(7)、联通该输液管和所述副槽(6)的药液循环管(8)、与该药液循环管串接的热交换器(9)、控制阀(11)及循环泵(10)并接于热交换器(9)和副槽(6)之间。
3.如权利要求2所述的硅料酸洗连体槽，其特征在于，所述的主槽(I)内还设有与一控制器连接的测温探头(4 )，所述的循环泵(10 )与该控制器连接。
4.如专利要求I所述的硅料酸洗连体槽，其特征在于，所述的主槽(I)内还设有与所述控制器连接的第一浮球式液位开关(5)，所述的副槽(6)与自动供酸机联通。
5.如权利要求I所述的硅料酸洗连体槽，其特征在于，所述的槽盖上连接外部的抽风系统。
6.如权利要求I所述的硅料酸洗连体槽，其特征在于，所述副槽(6)的底部还装有与外部相连的快排阀。
7.如专利要求3所述的硅料酸洗连体槽，其特征在于，所述的循环泵(10)为循环磁力栗。
8.如权利要求I所述的硅料酸洗连体槽，其特征在于，所述的溢流口(2)呈波浪状或矩形。
全文摘要
本发明公开了一种硅料酸洗连体槽，包括主槽(1)、副槽(6)和槽盖。主槽(1)设于副槽(6)腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体；所述主槽(1)外壁与副槽(6)的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有溢流口(2)，所述主、副槽之间还联通有可冷却主槽(1)内的药液的冷却系统。本发明将副槽与主槽合二为一，不仅在保证功能完整性的同时，还减少了循环过程的部件，降低了化学品泄露的危险，整体性的加强了槽体酸洗的稳定性和安全性，提高了生产效率和降低了成本。
文档编号B08B3/08GK102784765SQ20121031456
公开日2012年11月21日 申请日期2012年8月30日 优先权日2012年8月30日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司