专利名称：一种化学品供应系统用三通箱的制作方法
技术领域：
一种化学品供应系统用三通箱本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统用三通箱。随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。根据目前化学品供应系统所使用的情况，现有技术中大多采用双向控制阀门来实现双向控制，而由于该阀门的结构复杂、成本高、重量大、安装麻烦以及安装条件受限制等原因，导致其操作起来非常困难，使用很不方便。为了解决此类问题，人们一直在寻求一种更理想的技术解决方案。本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统用三通箱，不仅结构简单，设计合理，构思巧妙，而且成本低，控制灵活，安装和使用都非常方便。为实现上述目的设计一种化学品供应系统用三通箱，包括箱体I和箱体盖2，所述箱体I与箱体盖2密封连接，所述箱体I内设置有手动阀3，所述箱体I上部的一侧设有进口 4，所述箱体I上部的另一侧设有出口 5，所述箱体I下侧设有出口二 6，所述箱体I的进口 4与出口 5通过管道7相连，所述手动阀3的进口端通过管道7连接箱体I的进口 4与出口 5，所述手动阀3的出口端连接箱体I的出口二 6。所述箱体I内侧下方设置有泄漏侦测器。所述箱体I的进口 4设置有进口连接管道8，所述箱体I的出口 5、出口二 6分别设置有出口连接管道9。所述箱体I与箱体盖2之间设有O型密封圈。本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，设计合理，构思巧妙，避免了传统的双向控制阀门所带来的结构复杂、成本高、重量大、安装麻烦以及安装条件受限制等困难，方便了半导体制程中芯片清洗等工作步骤；因此，本实用新型所述的化学品供应系统用三通箱不仅成本低，控制灵活，而且安装和使用都非常方便，值得推广应用。
图1是本实用新型的结构示意图；图中1、箱体2、箱体盖3、手动阀4、进口 5、出口 6、出口二 7、管道8、进口连接管道9、出口连接管道。[具体实施方式
]
以下结合附图对本实用新型作以下进一步说明如附图所示，本实用新型包括箱体I和箱体盖2，所述箱体I与箱体盖2密封连接，所述箱体I与箱体盖2之间设有O型密封圈，所述箱体I内设置有手动阀3，所述箱体I上部的一侧设有进口 4，所述箱体I上部的另一侧设有出口 5，所述箱体I下侧设有出口二6，所述箱体I的进口 4与出口 5通过管道7相连，所述手动阀3的进口端通过管道7连接箱体I的进口 4与出口 5，所述手动阀3的出口端连接箱体I的出口二 6，所述箱体I的进口 4设置有进口连接管道8，所述箱体I的出口 5、出口二 6分别设置有出口连接管道9，所述箱体I内侧下方设置有泄漏侦测器。本实用新型中，箱体采用PP材质制成，箱体外壳采用CPVC材质制成，箱体与箱体盖之间设有O型密封圈，利用该O型密封圈，实现了箱体与箱体盖之间的密封连接。本实用新型所述的化学品供应系统用三通箱能够适用于酸碱类化学品，其管道采用PFA材质制成，该三通箱的进口、出口分别通过进口连接管道、出口连接管道与化学品供应系统的主管路相连，该三通箱的出口二通过出口连接管道与化学品供应系统的阀箱相连。本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种化学品供应系统用三通箱，包括箱体(I)和箱体盖(2)，其特征在于:所述箱体(1)与箱体盖(2)密封连接，所述箱体(I)内设置有手动阀(3 )，所述箱体(I)上部的一侧设有进口( 4)，所述箱体(I)上部的另一侧设有出口( 5 )，所述箱体(I)下侧设有出口二( 6 )，所述箱体(I)的进口(4)与出口(5)通过管道(7 )相连，所述手动阀(3 )的进口端通过管道(7)连接箱体(I)的进口(4)与出口(5)，所述手动阀(3)的出口端连接箱体(I)的出口二(6)。
2.如权利要求1所述的化学品供应系统用三通箱，其特征在于:所述箱体(I)内侧下方设置有泄漏侦测器。
3.如权利要求1或2所述的化学品供应系统用三通箱，其特征在于:所述箱体(I)的进口( 4 )设置有进口连接管道(8 )，所述箱体(I)的出口( 5 )、出口二( 6 )分别设置有出口连接管道(9)。
4.如权利要求3所述的化学品供应系统用三通箱，其特征在于:所述箱体(I)与箱体盖(2)之间设有O型密封圈。`
专利摘要本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统用三通箱，包括箱体(1)和箱体盖(2)，所述箱体(1)与箱体盖(2)密封连接，所述箱体(1)内设置有手动阀(3)，所述箱体(1)上部的一侧设有进口(4)，所述箱体(1)上部的另一侧设有出口(5)，所述箱体(1)下侧设有出口二(6)，所述箱体(1)的进口(4)与出口(5)通过管道(7)相连，所述手动阀(3)的进口端通过管道(7)连接箱体(1)的进口(4)与出口(5)，所述手动阀(3)的出口端连接箱体(1)的出口二(6)；本实用新型同现有技术相比，不仅结构简单，设计合理，构思巧妙，而且成本低，控制灵活，安装和使用都非常方便。
文档编号B08B3/08GK202909995SQ20122046196
公开日2013年5月1日 申请日期2012年9月11日 优先权日2012年9月11日
发明者简建至, 胡厚福 申请人:冠礼控制科技(上海)有限公司