带清洗枪的竖式清洗的制造方法
【专利摘要】本发明提供了一种带清洗枪的竖式清洗机，包括：清洗支架，包括顶支架、侧支架和底支架；设置于顶支架上的顶部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁；设置于侧支架上的侧部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁；设置于底支架上的底部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的内壁；设置于所述清洗支架上的清洗枪，用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗。本发明不仅能够清洗清洗常压炉管工艺腔的内外壁，而且能够同时清洗排气端内壁，提高排气端的清洗质量。
【专利说明】带清洗枪的竖式清洗机
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种带清洗枪的竖式清洗机。
【背景技术】
[0002]如图1所示现有的炉管清洗机在进行对常压炉管工艺腔(AP process tube)进行清洗时，主要是对常压炉管工艺腔I的内壁进行清洗，但是无法针对常压炉管工艺腔I的排气端11进行有效清洗，使得排气端11的清洗质量较差。以上示意图显示传统清洗方法由于清洗常压炉管工艺腔I的内壁时只用炉管清洗机进行如图1中的黑色箭头所示的由下而上的清洗，由于排气端11的位置与清洗方向不一致，导致排气端11无法有效清洗，右图实物照片表明排气端11由于得不到炉管清洗机有效清洗而导致清洗效果较差。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种带清洗枪的竖式清洗机，不仅能够清洗清洗常压炉管工艺腔的内外壁，而且能够同时清洗排气端内壁，提高排气端的清洗质量。
[0004]为解决上述问题，本发明提供一种带清洗枪的竖式清洗机，包括:
[0005]清洗支架，包括顶支架、侧支架和底支架；
[0006]设置于顶支架上的顶部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁；
[0007]设置于侧支架上的侧部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁；
[0008]设置于底支架上的底部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的内壁；
[0009]设置于所述清洗支架上的清洗枪，用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗。
[0010]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，所述清洗枪对应于常压炉管工艺腔的排气端的位置相应设置于所述侧支架上。
[0011]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，所述清洗枪的长度是所述排气端的长度的2至4倍，所述清洗枪的直径小于所述排气端的内径。
[0012]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，所述清洗枪的侧壁上均匀分布有多个喷嘴。
[0013]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，所述清洗枪为圆柱形，沿所述清洗枪的径向和/或圆周截面均匀分布有多个喷嘴。
[0014]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，沿所述清洗枪的圆周截面每隔90度分布一个喷嘴。
[0015]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，所述清洗枪的数量与所述排气端的
数量对应。
[0016]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，还包括一设置于排气端的卡箍，用于固定插入所述排气端内的清洗枪。
[0017]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，所述顶部喷头、侧部喷头和底部喷头的数量分别为多个。
[0018]进一步的，在上述带清洗枪的竖式清洗机中，所述清洗枪采用聚丙烯材质。
[0019]与现有技术相比，本发明包括清洗支架，包括顶支架、侧支架和底支架；设置于顶支架上的顶部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁；设置于侧支架上的侧部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁；设置于底支架上的底部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的内壁；设置于所述清洗支架上的清洗枪，用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗，不仅能够清洗清洗常压炉管工艺腔的内外壁，而且能够同时清洗排气端内壁，提高排气端的清洗质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1是现有的炉管清洗机的清洗示意图；
[0021]图2是本发明一实施例的带清洗枪的竖式清洗机的结构图；
[0022]图3是本发明一实施例的插入排气端的清洗枪的结构图。
【具体实施方式】
[0023]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细的说明。
[0024]如图2和3所示，本发明提供一种带清洗枪的竖式清洗机，包括:
[0025]清洗支架，包括顶支架21、侧支架22和底支架23 ；
[0026]设置于顶支架21上的顶部喷头3，用于清洗常压炉管工艺腔(AP processtube) I的封闭端外壁；
[0027]设置于侧支架22上的侧部喷头4，用于清洗常压炉管工艺腔I的外侧壁；
[0028]设置于底支架23上的底部喷头5，用于清洗常压炉管工艺腔I的内壁；
[0029]设置于所述清洗支架上的清洗枪(clean gun)6，用于插入常压炉管工艺腔I的排气端11内对排气端(exhaust)ll的内壁进行清洗,去除排气端(exhaust)ll的内壁吸附的副产物，以提高排气端的清洗质量。
[0030]优选的，所述清洗枪6对应于常压炉管工艺腔I的排气端11的位置相应设置于所述侧支架22上。
[0031]优选的，所述清洗枪6的长度是所述排气端11的长度的2至4倍，所述清洗枪6的直径小于所述排气端11的内径。
[0032]优选的，所述清洗枪6的侧壁上均匀分布有多个喷嘴61。
[0033]优选的，所述清洗枪6为圆柱形，沿所述清洗枪6的径向和/或圆周截面均匀分布有多个喷嘴61，以实现对排气端11的内壁进行全方位的清洗。
[0034]优选的，沿所述清洗枪6的圆周截面每隔90度分布一个喷嘴61。
[0035]优选的，所述清洗枪6的数量与所述排气端11的数量对应。
[0036]优选的，还包括一设置于排气端11的卡箍7，用于固定插入所述排气端11内的清洗枪6，即将所述清洗枪6固定于排气端11内。
[0037]优选的，所述顶部喷头3、侧部喷头4和底部喷头5的数量分别为多个。
[0038]优选的，所述清洗枪可采用各种防酸材质，如聚丙烯(NPP)材质。[0039]综上所述，本发明包括清洗支架，包括顶支架、侧支架和底支架；设置于顶支架上的顶部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁；设置于侧支架上的侧部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁；设置于底支架上的底部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的内壁；设置于所述清洗支架上的清洗枪，用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗，不仅能够清洗清洗常压炉管工艺腔的内外壁，而且能够同时清洗排气端内壁，提高排气端的清洗质量。
[0040]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统而言，由于与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
[0041]显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，包括: 清洗支架，包括顶支架、侧支架和底支架； 设置于顶支架上的顶部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁； 设置于侧支架上的侧部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁； 设置于底支架上的底部喷头，用于清洗常压炉管工艺腔的内壁； 设置于所述清洗支架上的清洗枪，用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗。
2.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，所述清洗枪对应于常压炉管工艺腔的排气端的位置相应设置于所述侧支架上。
3.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，所述清洗枪的长度是所述排气端的长度的2至4倍，所述清洗枪的直径小于所述排气端的内径。
4.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，所述清洗枪的侧壁上均匀分布有多个喷嘴。
5.如权利要求4所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，所述清洗枪为圆柱形，沿所述清洗枪的径向和/或圆周截面均匀分布有多个喷嘴。
6.如权利要求5所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，沿所述清洗枪的圆周截面每隔90度分布一个喷嘴。
7.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，所述清洗枪的数量与所述排气端的数量对应。
8.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，还包括一设置于排气端的卡箍，用于固定插入所述排气端内的清洗枪。
9.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，所述顶部喷头、侧部喷头和底部喷头的数量分别为多个。
10.如权利要求1所述的带清洗枪的竖式清洗机，其特征在于，所述清洗枪采用聚丙烯材质。
【文档编号】B08B9/032GK103894380SQ201410110735
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2014年3月24日 优先权日:2014年3月24日
【发明者】张瑜, 俞玮, 秦贵明 申请人:上海华力微电子有限公司