具有截断功能的线锯的制作方法

文档序号:2009426阅读:306来源:国知局
专利名称:具有截断功能的线锯的制作方法
技术领域
本发明涉及硅片切割设备技术领域,特别是一种具有截断功能的线锯。
背景技术
多晶硅锭经过开方后成为多晶硅棒,多晶硅棒的头尾段在切片前需要截取,现在 国产截断机截断一块需要20min/根,并且会产生2mm的锯缝损失和3mm左右的斜面。

发明内容
本发明要解决的技术问题是使用现有的截断机截断多晶硅棒的头尾段,截断速 度慢,截断损耗多。故需要对现有的硅棒切片用线锯进行改造,使其具有截断功能,并且可 以减少截断损耗。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种具有截断功能的线锯,包括左 右两个导轮、切割线和切割台,切割线相互平行的缠绕在两个导轮上形成水平的切割线网, 对现有线锯的改进在于,切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网,切割 线网的段数与固定于切割台上的未截断头尾的硅块的块数相同,每段切割线网对应一块硅 块,并且每段切割线网的切割范围仅限硅块中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可 用部位,切割台带动硅块垂直通过运动的切割线网,将硅块的头尾端与中间的可用部位切 割开并且中间的可用部位被切割成硅片。使切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网的一种具体实现方 式是每两段相邻切割线网之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮,前一段切割 线网末端引出的切割线通过在该切割线一侧的滑轮引出,然后通过该组中位于另一侧的滑 轮导入至后一段切割线网区域,并通过在两个导轮上缠绕,形成后一段切割线网。未截断头尾的硅块的块数为三块,通过两组滑轮形成三段切割线网。本发明的有益效果是使用该线锯切割多晶硅棒可以不需要截断机截断,降低制 作时间,硅棒切缝只有0. 16mm,没有斜面损失,可降低硅棒两端因切割应力导致的破片损 失,破片损失可从降低到0. 3%。


图1是本发明的俯视状态结构示意图; 图2是本发明的主视状态结构示意图3是本发明的侧视状态结构示意图;图中1、导轮;2、切割线;3、切割台;4、切割线网;5、硅块;6、可用部位;7、滑轮。
具体实施例方式如图1、2、和3所示,一种具有截断功能的线锯,包括左右两个导轮1、切割线2和 切割台3,切割线2相互平行的缠绕在两个导轮1上形成水平的切割线网4,切割线2在导轮1上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网4,切割线网4的段数与固定于切割台3上 的未截断头尾的硅块5的块数相同,每段切割线网4对应一块硅块5,并且每段切割线网4 的切割范围仅限硅块5中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位6,切割台3带 动硅块5垂直通过运动的切割线网4,将硅块5的头尾端与中间的可用部位6切割开并且中 间的可用部位6被切割成硅片。使切割线网分为对段的一种具体实现方式是所述的每两段相邻切割线网4之间 设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮7,前一段切割线网4末端引出的切割线2通 过在该切割线2 —侧的滑轮7引出,然后通过该组中位于另一侧的滑轮7导入至后一段切 割线网区域,并通过在两个导轮1上缠绕,形成后一段切割线网4。下面以切割三块多晶硅棒为例进行说明三块未截断头尾的硅块4 一字排列固定在切割台3,设置两组四个滑轮7,第一段 切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2—侧的滑轮7引出,然后通过另一侧的 滑轮7导入至第二段切割线网区域,并通过在两个导轮1上缠绕,形成第二段切割线网4 ; 第二段切割线网4末端引出的切割线2通过在该切割线2 —侧的滑轮7引出,然后通过另 一侧的滑轮7导入至第三段切割线网区域,并通过在两个导轮1上缠绕形成后第三段切割 线网4,每段切割线网4都对应一块硅块5的中间可用部分6。
权利要求
1.一种具有截断功能的线锯,其特征是包括左右两个导轮(1)、切割线(2)和切割台 (3),其特征是所述的切割线(2)在导轮(1)上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网 G),切割线网(4)的段数与固定于切割台(3)上的未截断头尾的硅块(5)的块数相同,每 段切割线网(4)对应一块硅块(5),并且每段切割线网(4)的切割范围仅限硅块(5)中的去 除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位(6),切割台(3)带动硅块(5)垂直通过运动 的切割线网G),将硅块(5)的头尾端与中间的可用部位(6)切割开并且中间的可用部位 (6)被切割成硅片。
2.根据权利要求1所述的具有截断功能的线锯,其特征是所述的每两段相邻切割线 网(4)之间设置一组两个成对的相互间隔一定距离滑轮(7),前一段切割线网(4)末端引 出的切割线⑵通过在该切割线⑵一侧的滑轮(7)引出,然后通过该组中位于另一侧的滑轮(7)导入至后一段切割线网区域,并通过在两个导轮(1)上缠绕,形成后一段切割线网 ⑷。
3.根据权利要求2所述的具有截断功能的线锯,其特征是所述的未截断头尾的硅块 (5)的块数为三块,通过两组滑轮(7)形成三段切割线网G)。
全文摘要
本发明涉及硅片切割设备技术领域,特别是一种具有截断功能的线锯。该线锯包括左右导轮、切割线和切割台,切割线在导轮上缠绕成多段彼此间隔一定距离的切割线网,切割线网的段数与固定于切割台上的未截断头尾的硅块的块数相同,每段切割线网对应一块硅块,并且每段切割线网的切割范围仅限硅块中的去除头尾端之后的中间用于切割硅片的可用部位,切割台带动硅块垂直通过运动的切割线网,将硅块的头尾端与中间的可用部位切割开并且中间的可用部位被切割成硅片。使用该线锯切割多晶硅棒可以不需要截断机截断,缩短制作时间,硅棒切缝只有0.16mm,没有斜面损失,可降低硅棒两端因切割应力导致的破片损失,破片损失可从1%降低到0.3%。
文档编号B28D5/04GK102126261SQ201010198180
公开日2011年7月20日 申请日期2010年6月10日 优先权日2010年6月10日
发明者刘振淮, 周涛, 王少锋, 金鑫 申请人:常州天合光能有限公司
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