线锯的再次开始运转方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种线锯，该线锯一边向钢线供给浆料一边压抵半导体晶棒等工件来进行切断；本发明尤其涉及一种钢线切断时的线锯的再次开始运转方法。
【背景技术】
[0002]以往，作为将半导体晶棒等工件切割成晶圆状的装置，已知有一种线锯。在该线锯中，在多个沟纹辊(溝付? 口一歹；带凹沟滚筒)的周围，通过切断用钢线多次地卷绕而形成钢线列，该切断用钢线在轴向上被高速驱动，且一边适当地供给浆料一边相对于钢线列切入进给工件，由此，该工件在各钢线位置处同时地被切断。
[0003]此处，图1表示一般的线锯的一例的概要。
[0004]如图1所示，在线锯I中，用于切断工件W的钢线2从供给侧的钢线滚动条(7彳个y —;P) 6陆续放出，并进入沟纹辊3。通过钢线2在该沟纹辊3上卷绕300?500次程度，从而形成钢线列。进一步地，钢线2从沟纹辊3退绕，并卷绕在回收侧的钢线滚动条6’上。
[0005]当切断工件W时，使钢线2按照预定的行进距离在钢线轴向上往复行进，钢线新线被逐渐地从供给侧供给至回收侧。
[0006]因此，在卷绕在沟纹辊3上的钢线中，相较于供给新线的一侧也就是供给侧，回收钢线的一侧也就是回收侧的钢线的磨耗量变大，钢线直径变小。因此，存在以下倾向:在回收侧被切断的晶圆比在供给侧被切断的晶圆更厚。
[0007]因此，使用一种线锯，使其沟纹辊的多个沟槽间的间距(、；/夭)为回收侧比供给侧更窄(专利文献I)。
[0008]另外，线锯的钢线，是使用例如钢琴线等富有耐磨耗、耐张力性且高硬度的线材，另外，为了防止钢线的损伤，沟纹辊使用规定硬度的树脂辊，但是由于钢线的持续的磨耗、疲劳等，在工件的切断中，钢线可能会断线，而无法继续切断晶圆。
[0009]在这种情况下，以往，在进行使工件的切入部从钢线脱离的脱离作业后，以手动的方式将钢线拉出，或利用人工的方式来运转沟纹辊驱动装置，将钢线的断线处拉至其中一方沟纹辊的适当的外侧，并将该断线部彼此连接。若断线部分无法再次使用，则将该部分去除，更换为新线后进行连接。之后，进行拉出作业，即，将钢线彼此的连接部再次拉至不直接参与切断工件的位置处。
[0010]并且，在这种钢线修复处理之后，进行复原作业，S卩，进行使工件的各切入处与钢线的各列相对应并卡合的复位作业，然后再次开始工件的切断，由此完成工件的切断。
[0011]针对钢线的断线的问题，已知以下方法:改善钢线的强度(例如，参照专利文献2)，或者利用线锯来检测断线的征兆并停止切断(参照专利文献3)。通过这样的技术，能够降低钢线断线的频率。
[0012]现有技术文献
[0013]专利文献
[0014]专利文献1:日本专利公开平成10-249701号公报
[0015]专利文献2:日本专利公开2002-256391号公报
[0016]专利文献3:日本专利公开2011-31355号公报
[0017](非专利文献)
[0018]非专利文献1:超精密晶圆表面控制技术，松下嘉明等人，2000年2月28日科学论坛股份有限公司出版
【发明内容】
[0019](一)要解决的技术问题
[0020]但是，伴随近年来生产性的增加，钢线的使用负荷也增大，而无法完全避免断线。一旦发生断线，就会发生以下问题:在将高价工件的切断再次开始后立刻切割而成的晶圆上，会产生通过后续步骤也无法去除的沟槽，而产生大量的不良品。
[0021]本发明人对该原因进行详细调查后，得以明确以下内容。如上所述，在修复处理中，若将钢线的断线部彼此连接，并将连接部分自工件的切断位置拉出，则工件的切断位置上的钢线被替换成新线。工件的切断位置上的刚刚断线后的钢线的直径因磨耗而比新线的直径更细，因此即将断线之前的钢线直径与新线的钢线直径产生差异。一般而言，已知工件的切削裕度是钢线直径加上浆料的平均直径的3倍的值(非专利文献I)，而切断再次开始后的工件的切削裕度增加，导致在切断部产生沟槽。
[0022]近年来，为了缩减晶圆的制造成本，而将后续步骤中的磨光处理时的磨光裕度设计成较小，因此，利用磨光处理无法去除上述沟槽的情况增加。如上所述，在钢线回收侧的沟纹辊的沟槽间的间距窄于钢线供给侧的情况下，若使用钢线新线进行切断，尤其在接近钢线回收侧的切断位置处切断的晶圆的厚度变薄，无法去除所产生的沟槽可能性变大。
[0023]而且，随着晶圆的直径变大，产生不良品所导致的影响变得愈发严重。
[0024]本发明是鉴于如前所述的问题而完成，目的在于提供一种线锯的再次开始运转方法，其在通过线锯所实施的半导体晶棒等工件切断中，即便在因钢线的断线而导致工件的切断在中途被中断的情况下，也能抑制在再次开始运转后切断的晶圆上产生沟槽，并能够抑制产品晶圆的质量问题。
[0025]( 二 )技术方案
[0026]为了实现上述目的，根据本发明，提供一种线锯的再次开始运转方法，该线锯是在多个沟纹辊上卷绕钢线，并一边将该钢线的新线从供给侧供给至回收侧，一边使所述钢线在钢线轴向上作往复行进，向所述钢线供给切断用的浆料，并将工件相对地压下，使该工件压抵并切入进给于作往复行进的所述钢线，而将所述工件切断成晶圆状；该线锯的再次开始运转方法，是在该线锯的运转中，所述钢线断线而在中途暂时中断所述工件的切断之后，再次开始该切断的方法，其特征在于，具有以下步骤:修复步骤，其在中断所述工件的切断之后再次开始所述工件的切断之前，修复所述断线的钢线；切断准备步骤，其使所述工件的切断位置上的所述已修复的钢线的直径与所述即将断线之前的钢线的直径一致。
[0027]若为这样的再次开始运转方法，由于能够消除再次开始运转后所使用的钢线的直径与断线前的直径的差异，因此能够抑制在切断的晶圆上产生沟槽，并能够抑制晶圆成为不良品。
[0028]此时，在所述切断准备步骤中，在所述钢线的断线发生在卷绕在所述沟纹辊上的位置或所述供给侧的位置上的情况下，可通过使所述已修复的钢线磨耗，来使其直径与所述即将断线之前的钢线的直径一致。
[0029]当钢线的断线发生在上述位置时，即便工件的切断位置上的修复后的钢线成为新线，若如此地进行切断准备步骤，也能够容易地使钢线的直径与即将断线之前的钢线的直径一致。
[0030]另外，在所述切断准备步骤中，可将仿真的工件与保持该仿真的工件的保持装置设置在所述线锯上，并以使所述钢线从所述沟纹辊被退绕至回收侧的位置上的所述钢线的直径与所述断线前相同的方式，利用所述已修复的钢线来切断所述仿真的工件，由此来使所述钢线磨耗后，将所述仿真的工件和保持装置去除。
[0031]若这样做，通过将钢线从沟纹辊被退绕至回收侧的位置上的钢线直径作为标准，能够更容易地使钢线的直径与即将断线之前的钢线的直径一致。另外，在切断准备步骤中，由于无需将中途中断切断的工件从线锯上卸除，工件对钢线列的相对位置不会变化，因此，能够防止在再次开始运转后的切断中由工件的位置变化所导致的影响。
[0032]另外，在所述修复步骤中，可检测从所述断线发生时间点的所述钢线的断线处的位置至所述钢线从所述沟纹辊被退绕至回收侧的位置为止的钢线长度；在所述切断准备步骤中，以使所述钢线的断线处的位置成为所述钢线从所述沟纹辊被退绕至回收侧的位置的方式，对所述钢线定位，然后，供给并使用所述所检测的钢线长度以上的长度的所述钢线的新线，来切断所述仿真的工件。
[0033]若这样做，则能够容易地决定要磨耗的钢线新线的长度及仿真的工件的切断时间，并能够所需最低限度的步骤时间，确实地使钢线的直径与即将断线之前的钢线的直径一致。
[0034]另外，可利用测微计或激光位移计来测量所述钢线的直径。
[0035]若这样做，能够容易地测量钢线的直径。
[0036](三)有益效果
[0037]本发明中，在通过线锯所实施的工件的切断中，由于当钢线断线时，将断线的钢线修复之后，使工件的切断位置上的已修复的