转矩传递部件、万向接头和转矩传递部件的制造方法

专利名称：转矩传递部件、万向接头和转矩传递部件的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种滚动部件、滚动轴承和滚动部件的制造方法，尤其涉及采用将 β-赛隆(β-Sialon)作为主要成分的烧结体的滚动部件、滚动轴承和滚动部件的制造方法。另外，本发明涉及一种万向接头用转矩传递部件、万向接头和万向接头用转矩传递部件的制造方法，尤其涉及采用将赛隆作为主要成分的烧结体的万向接头用转矩传递部件、万向接头和万向接头用转矩传递部件的制造方法。另外，本发明涉及一种滑动装置、滑动部件及其制造方法，尤其涉及构成零件采用将赛隆作为主要成分的烧结体的滑动装置、由将β-赛隆作为主要成分的烧结体形成的滑动部件及其制造方法。
背景技术：
氮化硅和赛隆等陶瓷与钢相比不仅比重小且耐腐蚀性强，而且还有具有绝缘性的特征。因此，包括滚道部件和滚动体的滚动轴承(包括轮毂单元)的构成零件、例如滚道部件和滚动体的原材料采用陶瓷时，不仅能实现轴承的轻量化，而且还能抑制构成零件的腐蚀引起的损伤、电蚀引起的滚动轴承的寿命缩短等。另外，作为滚动轴承的一种的轮毂单元常常在水分可能会进入内部的环境中使用，有时润滑不够充分。而由陶瓷形成的滚动体、滚道部件等滚动零件则具有在如上所述的润滑不充分的环境下也不容易受损的特征。因此，例如通过采用陶瓷作为滚动零件的原材料，能提高在润滑不充分的环境下使用的轮毂单元的耐久性。另外，在包括万向接头用转矩传递部件的万向接头的构成零件、例如万向接头用转矩传递部件的原材料采用陶瓷时，不仅能实现万向接头的轻量化，而且还能抑制万向接头用转矩传递部件的腐蚀引起的损伤、电蚀引起的万向接头的寿命缩短等。另外，在万向接头中，万向接头用转矩传递部件在滚道部件的表面上反复滚转和停止，因此，无法在万向接头用转矩传递部件与滚道部件之间形成充分的油膜。另外，万向接头常常在水分可能会进入内部的环境中使用，有时润滑也不够充分。而由陶瓷形成的万向接头用转矩传递部件则具有在如上所述的润滑不充分的环境下也不容易受损的特征。因此，例如通过采用陶瓷作为万向接头用转矩传递部件的原材料，能提高在润滑不充分的环境下使用的万向接头的耐久性。另外，构成滑动轴承、动压型轴承单元等滑动装置且一边与相邻的其它部件接触一边相对于该其它部件相对滑动的滑动部件的原材料采用陶瓷时，不仅能实现滑动装置的轻量化，而且还能抑制滑动部件的腐蚀引起的损伤、构成零件的电蚀引起的滑动装置的寿命缩短等。但是，氮化硅和赛隆等陶瓷与钢相比制造成本较高，因此，若采用陶瓷作为滚动轴承、万向接头或滑动装置的构成零件的原材料，则存在制造成本大幅度上升的问题。对此，近年来人们开发出了通过采用包括燃烧合成法的制造工序、以低成本来制造作为陶瓷的β-赛隆的方法(例如日本专利特开2004-91272号公报(专利文献1)、日本专利特开2005-75652号公报(专利文献2)和日本专利特开2005-1941Μ号公报(专利文献3))。因此，可对采用该赛隆作为构成零件的原材料的廉价的滚动轴承、万向接头或滑动装置的制造进行研究。专利文献1 日本专利特开2004-91272号公报专利文献2 日本专利特开2005-75652号公报专利文献3 日本专利特开2005-194154号公报发明的公开发明所要解决的技术问题然而，要采用上述β-赛隆作为滚动轴承的构成零件的原材料，由β-赛隆形成的滚动轴承的构成零件就需要具有足够的滚动疲劳寿命。滚动疲劳寿命与部件的破坏强度等不一定一致，由赛隆形成的滚动轴承的构成零件也不一定具有足够的滚动疲劳寿命。 因此，即使是包括由β -赛隆形成的构成零件的滚动轴承，也存在不容易稳定地确保足够的耐久性的问题。另外，要采用上述赛隆作为万向接头用转矩传递部件的原材料，由赛隆形成的万向接头用转矩传递部件就需要具有足够的耐久性。更具体而言，万向接头用转矩传递部件随着万向接头的动作而在滚道上边滑边滚。因此，万向接头用转矩传递部件经受滚滑疲劳。对该滚滑疲劳的耐久性与万向接头用转矩传递部件的破坏强度等不一定一致，由 β -赛隆形成的万向接头用转矩传递部件也不一定具有足够的对滚滑疲劳的耐久性。因此， 即使是包括由赛隆形成的万向接头用转矩传递部件的万向接头，也存在不容易稳定地确保足够的耐久性的问题。另外，要采用上述β -赛隆作为滑动部件的原材料，由β -赛隆形成的滑动部件就需要具有足够的耐磨损性。耐磨损性与滑动部件的破坏强度等不一定一致，由β-赛隆形成的滑动部件也不一定具有足够的耐磨损性。因此，即使是包括由赛隆形成的滑动部件的滑动装置，也存在不容易稳定地确保足够的耐久性的问题。因此，本发明的目的在于提供一种廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由赛隆烧结体(将赛隆作为主要成分的烧结体)形成的作为滚动轴承的构成零件的滚动部件及其制造方法、以及包括该滚动部件的滚动轴承(包括轮毂单元)。另外，本发明的另一目的在于提供一种廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由赛隆烧结体(将赛隆作为主要成分的烧结体)形成的万向接头用转矩传递部件及
其制造方法、以及包括该万向接头用转矩传递部件的万向接头。另外，本发明的再一目的在于提供一种廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由赛隆烧结体(将赛隆作为主要成分的烧结体)形成的滑动部件及其制造方法、以及
包括该滑动部件的滑动装置。解决技术问题所采用的技术方案本发明的一方面的滚动部件是滚动轴承中的滚道部件、或与该滚道部件接触地配置在圆环状滚道上的滚动体。该滚动部件由将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成。另外，在包括与其它滚动部件接触的面即滚动接触面的区域内，形成有致密性比内部高的层、即致密层。本发明的另一方面的滚动部件是滚动轴承中的滚道部件、或与该滚道部件接触地配置在圆环状滚道上的滚动体。该滚动部件由将赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的烧结体构成。另外，在包括与其它滚动部件接触的面即滚动接触面的区域内， 形成有致密性比内部高的层、即致密层。本发明者详细调查了将赛隆作为主要成分的滚动部件的滚动疲劳寿命与滚动部件的结构间的关系。结果得到了以下知识，并想到了本发明。S卩，在由将上述β-赛隆作为主要成分的烧结体形成的滚动部件中，其致密性对滚动部件的最重要的耐久性之一的滚动疲劳寿命具有很大的影响。对此，上述本发明的滚动部件由将赛隆作为主要成分的烧结体形成，并在包括滚动接触面的区域内形成有致密性比内部高的层、即致密层。其结果是，利用本发明的滚动部件时，虽然廉价，但能提高滚动疲劳寿命，从而能提供能稳定地确保足够的耐久性的由将赛隆作为主要成分的烧结体形成的滚动部件。此处，所谓致密性较高的层，是指烧结体中的孔隙率较低的(密度较高的)层，例如可如下所述地进行调查。首先，沿着与滚动部件的表面垂直的截面切断滚动部件，对该截面进行镜面抛光。之后，利用光学显微镜的斜光(暗视野)以例如50 100倍左右对被镜面抛光后的截面进行拍摄，以300DPI (每英寸点数)以上的图像的形式予以记录。此时，作为白色的区域而被观察到的白色区域与孔隙率较高的(密度较低的)区域对应。因此，白色区域的面积率较低的区域与该面积率较高的区域相比，致密性较高。接着，根据亮度阈值， 使用图像处理装置对所记录的图像进行二值化处理，在此基础上测定白色区域的面积率， 根据该面积率，能获知被拍摄区域的致密性。也就是说，上述本发明的滚动部件中，在包括滚动接触面的区域内形成有白色区域的面积率比内部低的层、即致密层。较为理想的是，上述拍摄随机对五个以上部位进行，上述面积率用其平均值来评价。另外，滚动部件内部的上述白色区域的面积率例如为15%以上。另外，为了进一步提高滚动部件的滚动疲劳寿命，较为理想的是，上述致密层具有100 μ m以上的厚度。而且，作为上述另一方面的滚动部件中采用的烧结助剂，可选择镁 (Mg)、铝(Al)、硅(Si)、钛(Ti)、稀土类元素的氧化物、氮化物、氧氮化物中的至少一种以上。另外，为了起到与上述本发明的一方面的滚动部件相同的作用效果，较为理想的是烧结助剂在烧结体中占20质量％以下。上述滚动部件中，较为理想的是，在利用光学显微镜的斜光来观察致密层的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为以下。通过将上述致密层的致密性提高至使白色区域的面积率成为7%以下的程度，滚动部件的滚动疲劳寿命进一步提高。因此，利用上述结构，能进一步提高本发明的滚动部件的滚动疲劳寿命。上述滚动部件中，较为理想的是，在致密层的包括表面的区域内，形成有致密性比该致密层内的其它区域更高的层、即高致密层。通过在致密层的包括表面的区域内形成致密性更高的高致密层，滚动部件对滚动疲劳的耐久性进一步提高，滚动疲劳寿命进一步提高。
上述滚动部件中，较为理想的是，在利用光学显微镜的斜光来观察高致密层的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。通过将上述高致密层的致密性提高至使白色区域的面积率成为3. 5%以下的程度，滚动部件的滚动疲劳寿命进一步提高。因此，利用上述结构，能进一步提高本发明的滚动部件的滚动疲劳寿命。本发明的滚动轴承包括滚道部件、以及与滚道部件接触并配置在圆环状滚道上的多个滚动体。另外，滚道部件和滚动体中的至少一方是上述本发明的滚动部件。本发明的滚动轴承中，通过包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的上述本发明的滚动部件，能提供包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由赛隆烧结体形成的滚动部件的滚动轴承。本发明的一方面的滚动部件的制造方法中，滚动部件是滚动轴承中的滚道部件、 或与滚道部件接触地配置在圆环状滚道上的滚动体。该滚动部件的制造方法包括准备将
赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的原料粉末的工序；将原料粉末成形为滚动部件的概略形状来制作成形体的工序；以及将该成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序。本发明的另一方面的滚动部件的制造方法中，滚动部件是滚动轴承中的滚道部件、或与滚道部件接触地配置在圆环状滚道上的滚动体。该滚动部件的制造方法包括准备将赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的原料粉末的工序；将原料粉末成形为滚动部件的概略形状来制作成形体的工序；以及将该成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序。由陶瓷的烧结体形成的滚动部件的制造方法中，为了抑制使滚动部件的滚动疲劳寿命下降的缺陷的产生，一般采用热等静压法(Hot Isostatic Press ；HIP)和气氛加压烧结(Gas Pressured Sintering ；GPS)等加压烧结法(通常在IOMPa以上的压力下进行烧结的方法)进行烧结。利用这种以往的制造方法时，滚动部件的气孔率下降，能制造出密度较高的滚动部件。但是，采用加压烧结法的以往的制造方法会造成制造成本的上升。而且，采用加压烧结法的制造方法中，在滚动部件的表层部会形成材质发生变质的异常层。因此，在滚动部件的精加工中，需要除去该异常层，滚动部件的制造成本会进一步上升。另一方面， 不采用加压烧结法时，滚动部件的气孔率增加，产生缺陷，存在滚动部件的滚动疲劳寿命下降的问题。对此，本发明者发现，通过将由β-赛隆形成的成形体在IMPa以下的压力下烧结来制造滚动部件，能在包括形成于滚动部件表面的滚动接触面的区域内形成致密性比内部高的致密层。在上述本发明的滚动部件的制造方法中，通过包括使以赛隆作为主要成分的成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序，能一边抑制采用加压烧结所引起的制造成本的上升一边在包括滚动接触面(表面)的区域内形成致密层。其结果是，根据本发明的滚动部件的制造方法，能廉价地制造出能稳定地确保足够的耐久性的、由β -赛隆烧结体形成的滚动部件。为了抑制β-赛隆的分解，较为理想的是在0. OlMPa以上的压力下进行烧结成形体的工序，考虑到低成本化，更为理想的是在大气压以上的压力下进行烧结成形体的工序。 另外，为了一边抑制制造成本一边形成致密层，较为理想的是在IMPa以下的压力下进行烧结成形体的工序。
上述滚动部件的制造方法中，较为理想的是在将成形体烧结的工序中以1550°C以上、1800°C以下的温度域将成形体烧结。将成形体烧结的温度不到1550°C时，很难通过烧结来推进致密化，因此，将成形体烧结的温度较为理想的是在1550°C以上，更为理想的是在1600°C以上。另一方面，将成形体烧结的温度超过1800°C时，可能会因β-赛隆晶粒的粗大化而引起烧结体的机械特性下降，因此，将成形体烧结的温度较为理想的是在1800°C以下，更为理想的是在1750°C以下。上述滚动部件的制造方法中，较为理想的是，在将成形体烧结的工序中，在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结。通过在惰性气体气氛中将成形体烧结，能抑制β -赛隆的分解和组织变化。另外， 通过在氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结，能控制β-赛隆烧结体中的氮和氧的含量。上述滚动部件的制造方法中，较为理想的是在将成形体烧结前，还包括对成形体的表面进行加工的工序。—旦将成形体烧结，成形体的硬度便会变得极高，加工变得很难。因此，在烧结后采用例如进行成形体的大规模加工来精加工出滚动部件的精加工工序会引起滚动部件的制造成本上升。对此，通过在成形体的烧结前进行成形体的加工，抑制精加工工序等中的烧结后的成形体的加工量，能抑制滚动部件的制造成本。特别地，在采用加压烧结法的制造方法中，为了除去异常层，在烧结后需要较大的加工量，因此，上述工序的优点较小，但本发明的滚动部件的制造方法中采用将由赛隆形成的成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序，因此，用于除去异常层的加工量被抑制，上述工序的优点极大。上述滚动部件的制造方法中，较为理想的是，还包括对烧结后的成形体的表面进行加工、以将包括该表面的区域除去的工序。另外，对烧结后的成形体的表面进行加工的工序中被除去的该成形体的厚度为150 μ m以下。上述本发明的滚动部件的制造方法中，在包括表面的区域内形成有厚度150 μ m 左右的上述高致密层。因此，在实施对烧结后的成形体的表面进行加工以将包括该表面的区域除去的工序、例如精加工工序时，通过将该工序中被除去的成形体的厚度设定为 150 μ m以下，能在滚动部件的滚动接触面上残留下高致密层。因此，通过采用上述工序，能制造出滚动疲劳寿命进一步提高的滚动部件。另外，为了更可靠地残留下高致密层，更为理想的是将上述工序中被除去的烧结后的成形体的厚度设定为100 μ m以下。本发明的一方面的万向接头用转矩传递部件是万向接头中以能滚动和滑动的形态存在于与第一轴部件连接的滚道部件和第二轴部件之间、并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方的万向接头用转矩传递部件。该万向接头用转矩传递部件由将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成。另外，在包括与其它部件接触的面即接触面的区域内，形成有致密性比内部高的层、即致密层。本发明的另一方面的万向接头用转矩传递部件是万向接头中以能滚动和滑动的形态存在于与第一轴部件连接的滚道部件和第二轴部件之间、并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方的万向接头用转矩传递部件。该万向接头用转矩传递部件由将赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的烧结体构成。另外，在包括与其它部件接触的面即接触面的区域内，形成有致密性比内部高的层、即致密层。本发明者详细调查了将赛隆作为主要成分的万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性与万向接头用转矩传递部件的结构间的关系。结果得到了以下知识，并想到了本发明。S卩，在由将上述赛隆作为主要成分的烧结体形成的万向接头用转矩传递部件中，其致密性对万向接头用转矩传递部件的最重要的耐久性之一的对滚滑疲劳的耐久性具有很大的影响。对此，上述本发明的万向接头用转矩传递部件由将赛隆作为主要成分的烧结体形成，在包括接触面的区域内形成有致密性比内部高的层、即致密层。其结果是， 利用本发明的万向接头用转矩传递部件时，虽然廉价，但能提高对滚滑疲劳的耐久性，从而能提供能稳定地确保足够的耐久性的由将赛隆作为主要成分的烧结体形成的万向接头用转矩传递部件。此处，所谓致密性较高的层，是指烧结体中的孔隙率较低的(密度较高的)层，例如可如下所述地进行调查。首先，沿着与万向接头用转矩传递部件的表面垂直的截面切断万向接头用转矩传递部件，对该截面进行镜面抛光。之后，利用光学显微镜的斜光(暗视野)以例如50 100倍左右对被镜面抛光后的截面进行拍摄，以300DPI以上的图像的形式予以记录。此时，作为白色的区域而被观察到的白色区域与孔隙率较高的(密度较低的) 区域对应。因此，白色区域的面积率较低的区域与该面积率较高的区域相比，致密性较高。 接着，根据亮度阈值，使用图像处理装置对所记录的图像进行二值化处理，在此基础上测定白色区域的面积率，根据该面积率，能获知被拍摄区域的致密性。也就是说，上述本发明的万向接头用转矩传递部件中，在包括接触面的区域内形成有白色区域的面积率比内部低的层、即致密层。较为理想的是，上述拍摄随机对五个以上部位进行，上述面积率用其平均值来评价。另外，万向接头用转矩传递部件内部的上述白色区域的面积率例如为15%以上。另外，为了进一步提高万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性，较为理想的是，上述致密层具有100 μ m以上的厚度。而且，作为上述另一方面的万向接头用转矩传递部件中采用的烧结助剂，可选择镁(Mg)、铝(Al)、硅(Si)、钛(Ti)、稀土类元素的氧化物、氮化物、氧氮化物中的至少一种以上。另外，为了起到与上述本发明的一方面的万向接头用转矩传递部件相同的作用效果，较为理想的是烧结助剂在烧结体中占20质量％以下。上述万向接头用转矩传递部件中，较为理想的是，在利用光学显微镜的斜光来观察致密层的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7%以下。通过将上述致密层的致密性提高至使白色区域的面积率成为7%以下的程度，万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性进一步提高。因此，利用上述结构，本发明的万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性进一步提高。上述万向接头用转矩传递部件中，较为理想的是，在致密层的包括表面的区域内， 形成有致密性比该致密层内的其它区域更高的层、即高致密层。通过在致密层的包括表面的区域内形成致密性更高的高致密层，万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性进一步提高。上述万向接头用转矩传递部件中，较为理想的是，在利用光学显微镜的斜光来观察高致密层的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。
通过将上述高致密层的致密性提高至使白色区域的面积率成为3. 5%以下的程度，万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性进一步提高。本发明的万向接头包括与第一轴部件连接的滚道部件、与滚道部件接触并以能在滚道部件的表面上滚转和滑动的形态配置的转矩传递部件、以及通过转矩传递部件及滚道部件与第一轴部件连接的第二轴部件，并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方。另外，该万向接头的转矩传递部件是上述本发明的万向接头用转矩传递部件。根据本发明的万向接头，通过包括上述本发明的万向接头用转矩传递部件，能提供包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由赛隆烧结体形成的转矩传递部件的万向接头。本发明的一方面的万向接头用转矩传递部件的制造方法中，万向接头用转矩传递部件是万向接头中以能滚动和滑动的形态存在于与第一轴部件连接的滚道部件和第二轴部件之间、并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方的万向接头用转矩传递部件。该万向接头用转矩传递部件的制造方法包括准备将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的原料粉末的工序；将原料粉末成形为万向接头用转矩传递部件的概略形状来制作成形体的工序；以及将成形体在 IMPa以下的压力下烧结的工序。本发明的另一方面的万向接头用转矩传递部件的制造方法中，万向接头用转矩传递部件是万向接头中以能滚动和滑动的形态存在于与第一轴部件连接的滚道部件和第二轴部件之间、并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方的万向接头用转矩传递部件。该万向接头用转矩传递部件的制造方法包括准备将赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的原料粉末的工序；将原料粉末成形为万向接头用转矩传递部件的概略形状来制作成形体的工序；以及将成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序。由陶瓷的烧结体形成的万向接头用转矩传递部件的制造方法中，为了抑制使万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性下降的缺陷的产生，一般采用热等静压法和气氛加压烧结等加压烧结法(通常在IOMPa以上的压力下进行烧结的方法)进行烧结。利用这种以往的制造方法时，万向接头用转矩传递部件的气孔率下降，能制造出密度较高的万向接头用转矩传递部件。但是，采用加压烧结法的以往的制造方法会造成制造成本的上升。 而且，采用加压烧结法的制造方法中，在万向接头用转矩传递部件的表层部会形成材质发生变质的异常层。因此，在万向接头用转矩传递部件的精加工中，需要除去该异常层，万向接头用转矩传递部件的制造成本会进一步上升。另一方面，不采用加压烧结法时，万向接头用转矩传递部件的气孔率增加，产生缺陷，存在万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性下降的问题。对此，本发明者发现，通过将由β-赛隆形成的成形体在IMPa以下的压力下烧结来制造万向接头用转矩传递部件，能在包括形成于万向接头用转矩传递部件表面的接触面 (表面)的区域内形成致密性比内部高的致密层。在上述本发明的万向接头用转矩传递部件的制造方法中，通过包括将β -赛隆作为主要成分的成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序，能一边抑制采用加压烧结所引起的制造成本的上升一边在包括滚动接触面的区域内形成致密层。其结果是，根据本发明的万向接头用转矩传递部件的制造方法，能廉价地制造出能稳定地确保足够的耐久性的由β-赛隆烧结体形成的万向接头用转矩传递部件。另外，为了抑制β -赛隆的分解，较为理想的是在0. OlMPa以上的压力下进行烧结成形体的工序，考虑到低成本化，更为理想的是在大气压以上的压力下进行烧结成形体的工序。另外，为了一边抑制制造成本一边形成致密层，较为理想的是在IMPa以下的压力下进行烧结成形体的工序。上述万向接头用转矩传递部件的制造方法中，较为理想的是在将成形体烧结的工序中以1550°C以上、1800°C以下的温度域将成形体烧结。将成形体烧结的温度不到1550°C时，很难通过烧结来推进致密化，因此，将成形体烧结的温度较为理想的是在1550°C以上，更为理想的是在1600°C以上。另一方面，将成形体烧结的温度超过1800°C时，可能会因β-赛隆晶粒的粗大化而引起烧结体的机械特性下降，因此，将成形体烧结的温度较为理想的是在1800°C以下，更为理想的是在1750°C以下。上述万向接头用转矩传递部件的制造方法中，较为理想的是，将成形体烧结的工序中，在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结。通过在惰性气体气氛中将成形体烧结，能抑制β -赛隆的分解和组织变化。另外， 通过在氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结，能控制β-赛隆烧结体中的氮和氧的含量。上述万向接头用转矩传递部件的制造方法中，较为理想的是在将成形体烧结前， 还包括对成形体的表面进行加工的工序。—旦将成形体烧结，成形体的硬度便会变得极高，加工变得困难。因此，在烧结后采用例如进行成形体的大规模加工来精加工出万向接头用转矩传递部件的精加工工序会引起万向接头用转矩传递部件的制造成本上升。对此，通过在成形体的烧结前进行成形体的加工，抑制精加工工序等中的烧结后的成形体的加工量，能抑制万向接头用转矩传递部件的制造成本。特别地，在采用加压烧结法的制造方法中，为了除去异常层，在烧结后需要较大的加工量，因此，上述工序的优点较小，但本发明的万向接头用转矩传递部件的制造方法中采用将由β -赛隆形成的成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序，因此，用于除去异常层的加工量被抑制，上述工序的优点极大。上述万向接头用转矩传递部件的制造方法中，较为理想的是还包括对烧结后的成形体的表面进行加工、以将包括该表面的区域除去的工序。另外，对烧结后的成形体的表面进行加工的工序中被除去的该成形体的厚度为150 μ m以下。上述本发明的万向接头用转矩传递部件的制造方法中，在包括表面的区域内形成有厚度150 μ m左右的上述高致密层。因此，在实施对烧结后的成形体的表面进行加工并将包括该表面的区域除去的工序、例如精加工工序时，通过将该工序中被除去的成形体的厚度设定为150 μ m以下，能在万向接头用转矩传递部件的接触面上残留下高致密层。因此， 通过采用上述工序，能制造出对滚滑疲劳的耐久性进一步提高的万向接头用转矩传递部件。为了更可靠地残留下高致密层，更为理想的是将上述工序中被除去的烧结后的成形体的厚度设定为100 μ m以下。本发明的一方面的滑动部件是一边与相邻的其它部件接触一边相对于该其它部件相对滑动的滑动部件，并由将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成。另外，在包括与该其它部件接触的面即接触面的区域内，形成有致密性比内部高的层、即致密层。本发明的另一方面的滑动部件是一边与相邻的其它部件接触一边相对于该其它部件相对滑动的滑动部件，并由将赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的烧结体构成。另外，在包括与该其它部件接触的面即接触面的区域内，形成有致密性比内部高的层、即致密层。本发明者详细调查了将β-赛隆作为主要成分的滑动部件的耐磨损性与滑动部件的结构间的关系。结果得到了以下知识，并想到了本发明。S卩，在由将上述赛隆作为主要成分的烧结体形成的滑动部件中，其致密性对滑动部件的最重要的耐久性之一的耐磨损性具有很大的影响。对此，上述本发明的滑动部件由将赛隆作为主要成分的烧结体形成，在包括接触面的区域内形成有致密性比内部高的层、即致密层。其结果是，利用本发明的滑动部件时，虽然廉价，但能提高耐磨损性，从而能提供能稳定地确保足够的耐久性的由将赛隆作为主要成分的烧结体形成的滑动部件。此处，考虑到滑动部件的用途等，上述本发明的另一方面的滑动部件含有烧结助剂。由此，能容易地降低烧结体的气孔率，虽然廉价，但能提高耐磨损性，从而能容易地提供能稳定地确保足够的耐久性的由将β-赛隆作为主要成分的烧结体形成的滑动部件。另外，所谓致密性较高的层，是指烧结体中孔隙率较低的(密度较高的)层，例如可如下所述地进行调查。首先，沿着与滑动部件的表面垂直的截面切断滑动部件，对该截面进行镜面抛光。之后，利用光学显微镜的斜光(暗视野)以例如50 100倍左右对被镜面抛光后的截面进行拍摄，以300DPI以上的图像的形式予以记录。此时，作为白色的区域而被观察到的白色区域与孔隙率较高的(密度较低的)区域对应。因此，白色区域的面积率较低的区域与该面积率较高的区域相比，致密性较高。接着，根据亮度阈值，使用图像处理装置对所记录的图像进行二值化处理，在此基础上测定白色区域的面积率，根据该面积率， 能获知被拍摄区域的致密性。也就是说，上述本发明的滑动部件中，在包括接触面的区域内形成有白色区域的面积率比内部低的层、即致密层。较为理想的是，上述拍摄随机对五个以上部位进行，上述面积率用其平均值来评价。另外，滑动部件内部的上述白色区域的面积率例如为15%以上。另外，为了进一步提高滑动部件的耐磨损性，较为理想的是，上述致密层具有 IOOym以上的厚度。而且，作为上述另一方面的滑动部件中采用的烧结助剂，可选择镁 (Mg)、铝(Al)、硅(Si)、钛(Ti)、稀土类元素的氧化物、氮化物、氧氮化物中的至少一种以上。另外，为了起到与上述本发明的一方面的滑动部件相同的作用效果，较为理想的是烧结助剂在烧结体中占20质量％以下。上述滑动部件中，较为理想的是，在利用光学显微镜的斜光来观察致密层的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为以下。通过将上述致密层的致密性提高至使白色区域的面积率成为7%以下的程度，滑动部件的耐磨损性进一步提高。因此，利用上述结构，能进一步提高本发明的滑动部件的耐久性。上述滑动部件中，较为理想的是，在致密层的包括表面的区域内形成有致密性比该致密层内的其它区域更高的层、即高致密层。通过在致密层的包括表面的区域内形成致密性更高的高致密层，滑动部件的耐磨损性进一步提高。上述滑动部件中，较为理想的是，在利用光学显微镜的斜光来观察高致密层的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。通过将上述高致密层的致密性提高至使白色区域的面积率成为3. 5%以下的程度，能进一步提高滑动部件的耐磨损性。本发明的滑动装置包括上述本发明的滑动部件。根据本发明的滑动装置，通过包括上述本发明的滑动部件，能提供包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由β -赛隆烧结体形成的滑动部件的滑动装置。本发明的一方面的滑动部件的制造方法中，滑动部件是一边与相邻的其它部件接触一边相对于该其它部件相对滑动的滑动部件。该滑动部件的制造方法包括准备将 β -赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的原料粉末的工序；将原料粉末成形为滑动部件的概略形状来制作成形体的工序；以及将成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序。本发明的另一方面的滑动部件的制造方法中，滑动部件是一边与相邻的其它部件接触一边相对于该其它部件相对滑动的滑动部件。该滑动部件的制造方法包括准备将
赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的原料粉末的工序；将原料粉末成形为滑动部件的概略形状来制作成形体的工序；以及将成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序。由陶瓷的烧结体形成的滑动部件的制造方法中，为了抑制使滑动部件的耐磨损性下降的缺陷的产生，一般采用热等静压法和气氛加压烧结等加压烧结法(通常在IOMPa以上的压力下进行烧结的方法)进行烧结。利用这种以往的制造方法时，滑动部件的气孔率下降，能制造出密度较高的滑动部件。但是，采用加压烧结法的以往的制造方法会造成制造成本的上升。而且，采用加压烧结法的制造方法中，在滑动部件的表层部会形成材质发生变质的异常层。因此，在滑动部件的精加工中，需要除去该异常层，滑动部件的制造成本会进一步上升。另一方面，不采用加压烧结法时，滑动部件的气孔率增加，产生缺陷，存在滑动部件的耐磨损性下降的问题。对此，本发明者发现，通过将由β-赛隆形成的成形体在IMPa以下的压力下烧结来制造滑动部件，能在包括形成于滑动部件表面的接触面(表面)的区域内形成致密性比内部高的致密层。在上述本发明的滑动部件的制造方法中，通过包括将赛隆作为主要成分的成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序，能一边抑制采用加压烧结所引起的制造成本的上升一边在包括接触面的区域内形成致密层。其结果是，根据本发明的滑动部件的制造方法，能廉价地制造出能稳定地确保足够的耐久性的由赛隆烧结体形成的滑动部件。为了抑制β-赛隆的分解，较为理想的是在0. OlMPa以上的压力下进行烧结成形体的工序，考虑到低成本化，更为理想的是在大气压以上的压力下进行烧结成形体的工序。 另外，为了一边抑制制造成本一边形成致密层，较为理想的是在IMPa以下的压力下进行烧结成形体的工序。上述滑动部件的制造方法中，较为理想的是在将成形体烧结的工序中以1550°C以上、1800°C以下的温度域将成形体烧结。将成形体烧结的温度不到1550°C时，很难通过烧结来推进致密化，因此，将成形体烧结的温度较为理想的是在1550°C以上，更为理想的是在1600°C以上。另一方面，将成形体烧结的温度超过1800°C时，可能会因β-赛隆晶粒的粗大化而引起烧结体的机械特性下降，因此，将成形体烧结的温度较为理想的是在1800°C以下，更为理想的是在1750°C以下。上述滑动部件的制造方法中，较为理想的是，将成形体烧结的工序中，在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结。通过在惰性气体气氛中将成形体烧结，能抑制β -赛隆的分解和组织变化。另外， 通过在氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结，能控制β-赛隆烧结体中的氮和氧的含量。上述滑动部件的制造方法中，较为理想的是在将成形体烧结前，还包括对成形体的表面进行加工的工序。一旦将成形体烧结，成形体的硬度便会变得极高，加工变得困难。因此，在烧结后采用例如进行成形体的大规模加工来精加工出滑动部件的精加工工序会引起滑动部件的制造成本上升。对此，通过在成形体的烧结前进行成形体的加工，抑制精加工工序等中的烧结后的成形体的加工量，能抑制滑动部件的制造成本。特别地，在采用加压烧结法的制造方法中，为了除去异常层，在烧结后需要较大的加工量，因此，上述工序的优点较小，但本发明的滑动部件的制造方法中采用将由β-赛隆形成的成形体在IMPa以下的压力下烧结的工序，因此，用于除去异常层的加工量被抑制，上述工序的优点极大。上述滑动部件的制造方法中，较为理想的是，还包括对烧结后的成形体的表面进行加工、以将包括该表面的区域除去的工序。另外，对烧结后的成形体的表面进行加工的工序中被除去的该成形体的厚度为150 μ m以下。上述本发明的滑动部件的制造方法中，在包括表面的区域内形成有厚度150 μ m 左右的上述高致密层。因此，实施对烧结后的成形体的表面进行加工以将包括该表面的区域除去的工序、例如精加工工序时，通过将该工序中被除去的成形体的厚度设定为150 μ m 以下，能在滑动部件的接触面上残留下高致密层。因此，采用上述工序，能制造出耐磨损性进一步提高的滑动部件。为了更可靠地残留下高致密层，更为理想的是将上述工序中被除去的烧结后的成形体的厚度设定为100 μ m以下。发明效果从上面的说明可以明确，根据本发明的滚动部件、滚动轴承和滚动部件的制造方法，能提供廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由赛隆烧结体形成的滚动部件及其制造方法、以及包括该滚动部件的滚动轴承。另外，根据本发明的万向接头用转矩传递部件、万向接头和万向接头用转矩传递部件的制造方法，能提供廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由β -赛隆烧结体形成的万向接头用转矩传递部件及其制造方法、以及包括该万向接头用转矩传递部件的万向接头。另外，根据本发明的滑动装置、滑动部件及其制造方法，能提供廉价但能稳定地确保足够的耐久性的由β -赛隆烧结体形成的滑动部件及其制造方法、以及包括该滑动部件的滑动装置。


图1是表示实施方式1中的深沟球轴承的结构的概略剖视图。图2是放大表示图1的主要部分的概略局部剖视图。图3是表示实施方式1的变形例中的推力滚针轴承的结构的概略剖视图。图4是放大表示图3的推力滚针轴承所包括的滚道圈的主要部分的概略局部剖视图。图5是放大表示图3的推力滚针轴承所包括的滚针的概略局部剖视图。图6是表示实施方式1中的滚动轴承的制造方法的概况的图。图7是表示实施方式1中的滚动轴承的制造方法所包括的滚动部件的制造方法的概况的图。图8是表示实施方式2中的轮毂单元的结构的概略剖视图。图9是放大表示图8的主要部分的概略局部剖视图。图10是表示实施方式3的等速接头(固定接头)的结构的概略剖视图。图11是沿着图10的线段XI-XI剖切的概略剖视图。图12是表示图10的固定接头构成角度的状态的概略剖视图。图13是放大表示图10的主要部分的概略局部剖视图。图14是放大表示图11的主要部分的概略局部剖视图。图15是表示实施方式3中的万向接头的制造方法的概况的图。图16是表示实施方式3中的万向接头的制造方法所包括的万向接头用转矩传递部件的制造方法的概况的图。图17是表示实施方式4的等速接头(三球销万向节)的结构的概略剖视图。图18是沿着图17的线段XVIII-XVIII剖切的概略剖视图。图19是放大表示图18的主要部分的概略局部剖视图。图20是表示实施方式5的球面滑动轴承的结构的概略剖视图。图21是放大表示图20的主要部分的概略局部剖视图。图22是表示实施方式5中的滑动装置和滑动部件的制造方法的概略的流程图。图23是表示包括实施方式6中的动压型轴承单元的主轴电动机的结构的概略剖视图。图M是表示图23的动压型轴承单元附近的概略局部剖视图。图25是表示动压型轴承单元的主要部分的概略局部剖视图。图沈是用光学显微镜的斜光拍摄试片的观察用截面而得到的相片。图27是表示使用图像处理软件并利用亮度阈值对图沈的相片图像进行二值化处理后的状态的一例。图观是表示使用图像处理软件并利用亮度阈值对图沈的相片图像进行二值化处理时进行图像处理的区域(评价区域)的图。(符号说明)1是深沟球轴承，2是推力滚针轴承，3是轮毂单元，11是外圈，IlA是外圈滚动接触面，IlB是外圈致密层，11C、12C、13C是内部，IlD是外圈高致密层，12是内圈，12A是内圈滚动接触面，12B是内圈致密层，12D是内圈高致密层，13是球，13A是球滚动接触面，13B球致密层，13D是球高致密层，14、24、39A、39B是保持器，21是滚道圈，2IA是滚道圈滚动接触面， 21B是滚道圈致密层，21C、23C是内部，21D是滚道圈高致密层，23是滚针，23A是滚子滚动接触面，23B是滚子致密层，23D是滚子高致密层，31是外圈，31A1、31A2、32A、33A是滚动接触面，31B是外圈致密层，31C、32C、33C、34C是内部，31D是外圈高致密层，32是轮毂圈(hub ring)，32B是轮毂圈致密层，32D是轮毂圈高致密层，33是内圈，3 是内圈致密层，33D是内圈高致密层，34是球，34A是球滚动接触面，34B是球致密层，34D是球高致密层，35是轮毂圈凸缘，35A是轮毂圈贯穿孔，36是螺栓，37是外圈凸缘，37A是外圈贯穿孔，38是固定环， 101是固定接头，102是三球销万向节，111是轴承内圈，IllA是轴承内圈球沟，112是轴承外圈，112A是轴承外圈球沟，113是球，113A是球滚动接触面，113B是球致密层，113C是内部， 113D是球高致密层，114是保持架，115、116是轴，121是三销架，211是三销架轴，122是轴承外圈，122A是轴承外圈沟，123是球面滚筒，123A球面滚筒滚动接触面，123B是球面滚筒致密层，123C是内部，123D是球面滚筒高致密层，125、1 是轴，1 是滚针，301是球面滑动轴承，302是动压型轴承单元，303是主轴电动机，311是外圈，31IA是外圈滑动面，3IlB是外圈致密层，311C、312C是内部，311D是外圈高致密层，312是内圈，312A是内圈滑动面，312B 内圈致密层，312D是内圈高致密层，321是轴部，321A是轴部接触面，321B是轴部致密层， 321C、322C、324C、325C是内部，321D是轴部高致密层，322是凸缘部，322A是凸缘部接触面， 322B是凸缘部致密层，322D是凸缘部高致密层，3M是底壁部，324A是底壁部接触面，324B 是底壁部致密层，324D是底壁部高致密层，325是侧壁部，325A是侧壁部接触面，325B是侧壁部致密层，325D是侧壁部高致密层，327是轴承部件，328是轴部件，329是轴承，332是电动机定子，333是电动机转子，334是盘毂(disc hub)。
具体实施例方式下面，根据附图来说明本发明的实施方式。在下面的附图中对相同或相当的部分标注相同的符号标记，不再赘述。(实施方式1)首先，参照图1和图2对实施方式1中的作为滚动轴承的深沟球轴承进行说明。参照图1，深沟球轴承1包括作为滚道部件的环状外圈11、配置在外圈11内侧的作为滚道部件的环状内圈12、配置在外圈11与内圈12之间并被圆环状保持器14保持的作为滚动体的多个球13。在外圈11的内周面上形成有外圈滚动接触面11A，在内圈12的外周面上形成有内圈滚动接触面12A。另外，外圈11和内圈12配置成内圈滚动接触面12A 与外圈滚动接触面IlA彼此相对。而且，多个球13通过球滚动接触面13A与内圈滚动接触面12A和外圈滚动接触面IlA接触，且利用保持器14在周向上以规定的间距配置，藉此被保持成能在圆环状的滚道上自由滚动。利用上面的结构，深沟球轴承1的外圈11和内圈12 能彼此相对旋转。此处，参照图2，作为本实施方式中的滚动部件的外圈11、内圈12和球13由将 β-赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成。另外，在外圈11、内圈12和球13 的包括滚动接触面即外圈滚动接触面11Α、内圈滚动接触面12Α和球滚动接触面13Α的区域内，形成有致密性比内部11C、12C、13C高的层即外圈致密层11B、内圈致密层12B和球致密层13B。在用光学显微镜的斜光来观察上述外圈致密层11B、内圈致密层12B和球致密层13B的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7%以下。因此，本实施方式中的深沟球轴承1是包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的、由β-赛隆烧结体形成的滚动部件(外圈11、内圈12和球1 的滚动轴承。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。上述本实施方式中，作为滚动部件的外圈11、内圈12和球13也可由将β-赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的烧结体构成。通过包括烧结助剂，能容易地降低烧结体的气孔率，容易地提供包括能稳定地确保足够的耐久性的、由β -赛隆烧结体形成的滚动部件的滚动轴承。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。再参照图2，在外圈致密层11Β、内圈致密层12Β和球致密层13Β的包括表面即外圈滚动接触面11Α、内圈滚动接触面12Α和球滚动接触面13Α的区域内，形成有致密性比外圈致密层11Β、内圈致密层12Β和球致密层13Β内的其它区域高的层即外圈高致密层11D、 内圈高致密层12D和球高致密层13D。在利用光学显微镜的斜光来观察上述外圈高致密层 11D、内圈高致密层12D和球高致密层13D的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。由此，外圈11、内圈12和球13对滚动疲劳的耐久性进一步提高， 滚动疲劳寿命进一步提高。接着，参照图3 图5，对实施方式1的变形例中的作为滚动轴承的推力滚针轴承进行说明。参照图3 图5，推力滚针轴承2基本上具有与根据图1说明的深沟球轴承1同样的结构，并起到同样的效果。但是，推力滚针轴承2在滚道部件和滚动体的结构上与深沟球轴承1不同。即，推力滚针轴承2包括具有圆盘状的形状且配置成一个主面彼此相对的作为滚道部件的一对滚道圈21、作为滚动体的多个滚针23、以及圆环状的保持器Μ。多个滚针23通过其外周面即滚子滚动接触面23Α与一对滚道圈21的彼此相对的主面上形成的滚道圈滚动接触面21Α接触，并利用保持器M在周向上以规定的间距配置，藉此滚动自如地保持在圆环状的滚道上。利用上面的结构，推力滚针轴承2的一对滚道圈21能彼此相对旋转。此处，本变形例中的作为滚动部件的滚道圈21和滚针23分别相当于上述外圈11 或内圈12以及球13，并具有同样的内部21C、23C、致密层(滚道圈致密层21B、滚子致密层 23B)和高致密层(滚道圈高致密层21D、滚子高致密层23D)。因此，本变形例中的推力滚针轴承2是包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的、由β-赛隆烧结体形成的滚动部件 (滚道圈21、滚针23)的滚动轴承。接着，对作为本发明一实施方式的实施方式1中的滚动轴承的制造方法进行说明。参照图6，在本实施方式的滚动轴承的制造方法中，首先实施制造滚道部件的滚道部件制造工序和制造滚动体的滚动体制造工序。具体而言，在滚道部件制造工序中，制造外圈11、内圈12、滚道圈21等。另一方面，在滚动体制造工序中，制造球13、滚针23等。另外，将滚道部件制造工序中制造好的滚道部件与滚动体制造工序中制造好的滚动体组合，藉此实施组装滚动轴承的组装工序。具体而言，例如将外圈11及内圈12与球13 组合，藉此组装深沟球轴承1。另外，滚道部件制造工序和滚动体制造工序使用例如下面的滚动部件的制造方法来实施。参照图7，在本实施方式的滚动部件的制造方法中，首先实施赛隆粉末准备工序，准备赛隆的粉末。在赛隆粉末准备工序中，通过采用例如燃烧合成法的制造工序，能廉价地制造β-赛隆的粉末。接着，实施混合工序，向β-赛隆粉末准备工序中准备好的β-赛隆的粉末添加烧结助剂并混合。不添加烧结助剂时，该混合工序可省略。接着，参照图7，实施成形工序，将上述β-赛隆的粉末或β-赛隆的粉末与烧结助剂的混合物成形为滚动部件的概略形状。具体而言，通过对上述β-赛隆的粉末或β-赛隆的粉末与烧结助剂的混合物应用冲压成形、浇注成形、挤压成形、辊压造粒等成形方式， 制作出成形为滚动部件即外圈11、内圈12、球13、滚道圈21、滚针23等的概略形状的成形体。接着，实施烧结前加工工序，通过对上述成形体的表面进行加工，以使该成形体成形为在烧结后能成为与期望的滚动部件的形状更接近的形状。具体而言，通过应用坯体加工(日文^ U — >体加工)等加工方式，以使上述成形体成形为在烧结后能成为与外圈 11、内圈12、球13、滚道圈21、滚针23等的形状更接近的形状。在经成形工序成形了上述成形体的阶段，在烧结后能得到与期望的滚动部件的形状接近的形状时，该烧结前加工工序可省略。接着，参照图7，实施烧结工序，将上述成形体在IMPa以下的压力下烧结。具体而言，利用加热器加热、基于微波或毫米波的电磁波加热等加热方法来加热上述成形体，使其烧结，从而制作出具有外圈11、内圈12、球13、滚道圈21、滚针23等的概略形状的烧结体。 烧结是通过在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中以1550°C以上1800°C以下的温度域对上述成形体加热来实施的。作为惰性气体，可采用氦、氖、氩、氮气等，但从降低制造成本的角度出发，较为理想的是采用氮气。接着，实施精加工工序，通过实施对烧结工序中制作好的烧结体的表面进行加工、 将包括该表面的区域除去的精加工，来完成滚动部件。具体而言，通过对烧结工序中制作好的烧结体的表面进行研磨，来完成作为滚动部件的外圈11、内圈12、球13、滚道圈21、滚针 23等。通过上面的工序，本实施方式的滚动部件制作完成。此处，通过上述烧结工序的烧结，在从烧结体的表面离开500 μ m左右厚度的区域内，形成有致密性比内部高、利用光学显微镜的斜光来观察截面时作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7%以下的致密层。而且，在从烧结体的表面离开150μπι左右厚度的区域内，形成有致密性比致密层内的其它区域更高、利用光学显微镜的斜光来观察截面时作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下的高致密层。因此，在精加工工序中，被除去的烧结体的厚度、特别是成为滚动接触面的区域内的被除去的烧结体的厚度较为理想的是设定为150μπι以下。由此，能在包括外圈滚动接触面11Α、内圈滚动接触面12Α、球滚动接触面13Α、滚道圈滚动接触面21Α和滚子滚动接触面23Α的区域内残留下高致密层，提高滚动部件的滚动疲劳寿命。(实施方式2)接着，参照图8和图9，对实施方式2中的轮毂单元进行说明。参照图8和图9，轮毂单元3基本上具有与根据图1说明的深沟球轴承1相同的结构，并起到同样的效果。但是，轮毂单元3在滚道部件和滚动体的结构上与深沟球轴承1 不同。即，轮毂单元3是存在于车轮与车身之间、支撑车轮以使其相对于车身旋转自如的装置。该轮毂单元3包括作为滚道部件的外圈31、轮毂圈32和内圈33 ；以及作为滚动体的多个球34。作为外侧部件的外圈31是具有在内周面上形成的两列滚动接触面31A1、31A2的环状的滚道部件。作为内侧部件的轮毂圈32是具有与外圈31的一个滚动接触面31A1相对的滚动接触面32A、并以其一部分被外圈31围住的形态配置的滚道部件。另外，作为内侧部件的内圈33是具有与外圈31的另一个滚动接触面31A2相对的滚动接触面33A的具有圆环状的形状的滚道部件，通过以与轮毂圈32的外周面的一部分接触的形态嵌入、并将固定环38以与轮毂圈32的外周面的一部分接触的形态嵌入而相对于轮毂圈32固定。多个球34滚动自如地配置在多列(两列)圆环状的滚道上，上述多列(两列)是指与外圈31的一个滚动接触面31A1和轮毂圈32的滚动接触面32A接触并利用圆环状的保持器39A在周向上以规定间距配置的列、以及与外圈31的另一个滚动接触面31A2和内圈33的滚动接触面33A接触并利用圆环状的保持器39B在周向上以规定间距配置的列。利用上面的结构，作为外侧部件的外圈31与作为内侧部件的轮毂圈32和内圈33能彼此相对旋转。而且，轮毂圈32具有轮毂圈凸缘35，在轮毂圈凸缘35上形成有轮毂圈贯穿孔 35A。另外，通过被插入轮毂圈贯穿孔35A内的螺栓36，轮毂圈凸缘35和车轮(未图示)彼此固定。另一方面，外圈31具有外圈凸缘37，在外圈凸缘37上形成有外圈贯穿孔37A。另外，通过被插入外圈贯穿孔37A内的未图示的螺栓，外圈凸缘37和固定在车身上的悬架装置(未图示)彼此固定。利用上面的结构，轮毂单元3存在于车轮与车身之间，支撑车轮以使其相对于车身旋转自如。S卩，本实施方式的轮毂单元3是存在于车轮与车身之间、支撑车轮以使其相对于车身旋转自如的轮毂单元。该轮毂单元3包括作为外侧部件的外圈31，其具有形成有环状的滚动接触面31A1、31A2的内周面；作为内侧部件的轮毂圈32，其形成有与外圈31的滚动接触面31A1相对的环状的滚动接触面32A，并以至少其一部分被外圈31的内周面围住的形态配置；以及作为内侧部件的内圈33，其形成有与外圈31的滚动接触面31A2相对的环状的滚动接触面33A，并以至少其一部分被外圈31的内周面围住的形态配置。而且，轮毂单元3还包括配置在环状的滚道上的多个球34，球滚动接触面34A与外圈31的滚动接触面 31AU31A2以及轮毂圈32和内圈33的滚动接触面32A、33A接触。此处，参照图8和图9，本实施方式中的作为滚动部件的外圈31、轮毂圈32以及内圈33和球34分别相当于实施方式1中的外圈11以及内圈12和球13，并具有同样的内部 31C、32C、33C、34C、致密层(外圈致密层31B、轮毂圈致密层32B、内圈致密层33B、球致密层 34B)和高致密层(外圈高致密层31D、轮毂圈高致密层32D、内圈高致密层33D、球高致密层 34D)。因此，本实施方式中的轮毂单元3是包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的、由 β-赛隆烧结体形成的滚动部件(外圈31、轮毂圈32、内圈33、球34)的滚动轴承。实施方式2中的作为滚动轴承的轮毂单元3和该轮毂单元3包括的作为滚动部件的外圈31、轮毂圈32、内圈33、球34能与实施方式1时同样地进行制造。上述实施方式中，作为本发明的滚动轴承和滚动部件的一例，对深沟球轴承、推力滚针轴承和轮毂单元以及它们所包括的滚动部件进行了说明，但本发明的滚动轴承并不局限于此。例如，滚道部件也可以是供滚动体在表面上滚转的轴和板等。即，作为本发明的滚动部件的滚道部件只要是形成有供滚动体滚转用的滚动接触面的部件即可。另外，本发明的滚动轴承既可以是推力球轴承，也可以是径向滚柱轴承。另外，在上述实施方式中，对本发明的滚动轴承中的滚道部件和滚动体两者均是由赛隆形成的本发明的滚动部件的结构进行了说明，但本发明的滚动轴承并不局限于此。本发明的滚动轴承只要滚道部件和滚动体中的至少一方是本发明的滚动部件即可。另外，在滚道部件和滚动体中的任一方是本发明的滚动部件时，考虑到滚动轴承的制造成本， 较为理想的是滚动体是本发明的滚动部件。此时，本发明的滚动轴承的滚道部件的原材料没有特别的限定，例如可采用钢，具体而言可采用Jis标准SUJ2等的轴承钢、SCR420、SCM420等的渗碳钢。另外，本发明的滚动轴承的滚道部件的原材料也可采用氮化硅等陶瓷。(实施方式3)接着，参照图10 图14，对本发明的实施方式3中的作为万向接头的固定接头进行说明。另外，图10与沿图11的线段X-X剖切的概略剖视图对应。参照图10，实施方式3的固定接头101包括与作为第二轴部件的轴115连结的作为滚道部件的轴承内圈111 ；以围绕轴承内圈111的外周侧的形态配置、与作为第一轴部件的轴116连结的作为滚道部件的轴承外圈112 ；配置在轴承内圈111与轴承外圈112之间的作为转矩传递部件的球113 ；以及保持球113的保持架114。球113以通过球113的表面即球滚动接触面113Α与形成在轴承内圈111的外周面上的轴承内圈球沟111Α、形成在轴承外圈112的内周面上的轴承外圈球沟112Α接触的形态配置，被保持架114保持成不脱落。如图10所示，分别形成在轴承内圈111的外周面和轴承外圈112的内周面上的轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟112Α分别形成为在穿过轴115和轴116的中央的轴芯处于一直线的状态下，呈以从该轴芯上的接头中心0沿该轴芯朝左右离开相等距离的点A 和点B为曲率中心的曲线(圆弧)状。S卩，轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟112Α分别形成为使与轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟112Α接触并滚动的球113的中心P的轨迹成为以点Α(轴承内圈中心Α)和点Β(轴承外圈中心B)为曲率中心的曲线(圆弧)。由此，即使在固定接头构成角度时(固定接头动作而使穿过轴115和轴116的中央的轴芯交叉时)，球113也能始终位于穿过轴115和轴116的中央的轴芯所成的角(Z Α0Β)的平分线上。接着，对固定接头101的动作进行说明。参照图10和图11，在固定接头101中，当绕轴芯的旋转传递到轴115、116中的一方时，该旋转通过嵌入轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟112Α内的球113传递给轴115、116中的另一根轴。此处，如图12所示，在轴115、116构成角度θ时，球113被以上述轴承内圈中心 A和轴承外圈中心B为曲率中心的轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟112Α引导，使中心P 保持于Z AOB的平分线上的位置。另外，由于以使从接头中心0到轴承内圈中心A的距离与到轴承外圈中心B的距离相等的形态形成轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟112Α，因此从球113的中心P到轴承内圈中心A和轴承外圈中心B的距离分别相等，Δ OAP与Δ OBP 全等。其结果是，从球113的中心P到轴115、116的距离L彼此相等，在轴115、116中的一
21方绕轴芯旋转时，另一方也等速旋转。这样，即使在轴115、116构成角度时，固定接头101 也能确保等速性。保持架114在轴115、116旋转时与轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟 112A 一起防止球113从轴承内圈球沟IllA和轴承外圈球沟112A飞出，同时起到确定固定接头101的接头中心0的作用。S卩，实施方式3的作为万向接头的固定接头101包括与作为第一轴部件的轴116 连接的作为滚道部件的轴承外圈112 ；与轴承外圈112接触、并以能在轴承外圈112上形成的轴承外圈球沟112A的表面上滚转和滑动的形态配置的作为转矩传递部件的球113 ；以及通过球113和轴承外圈112与轴116连接的作为第二轴部件的轴115。另外，固定接头101 是将传递到轴116和轴115中的一方的绕轴芯的旋转传递给轴116和轴115中的另一方的万向接头。而且，在万向接头即固定接头101中，球113是以能滚动和滑动的形态存在于与作为第一轴部件的轴116连接的作为滚道部件的轴承外圈112和作为第二轴部件的轴115之间、并将传递到轴116和轴115中的一方的绕轴芯的旋转传递给轴116和轴115中的另一方的万向接头用转矩传递部件。此处，参照图13和图14，本实施方式中的作为万向接头用转矩传递部件的球113 由将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成。另外，在球113的包括接触面即球滚动接触面113Α的区域内，形成有致密性比内部113C高的层即球致密层113Β。禾Ij用光学显微镜的斜光来观察该球致密层113Β的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7%以下。因此，本实施方式中的固定接头101是包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的、由赛隆烧结体形成的万向接头用转矩传递部件(球113)的万向接头。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。上述本实施方式中，作为万向接头用转矩传递部件的球113也可由将β-赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的烧结体构成。通过包括烧结助剂，能容易地降低烧结体的气孔率，容易地提供包括能稳定地确保足够的耐久性的、由β -赛隆烧结体形成的万向接头用转矩传递部件的万向接头。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。再参照图13和图14，在球致密层11 的包括表面即球滚动接触面113A的区域内，形成有致密性比球致密层113B内的其它区域更高的层即球高致密层113D。利用光学显微镜的斜光来观察该球高致密层113D的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。由此，球113的对滚滑疲劳的耐久性进一步提高。接着，对作为本发明一实施方式的实施方式3中的万向接头用转矩传递部件和万向接头的制造方法进行说明。参照图15，在本实施方式的万向接头的制造方法中，首先实施制造滚道部件的滚道部件制造工序和制造转矩传递部件的转矩传递部件制造工序。具体而言，在滚道部件制造工序中，制造轴承内圈111、轴承外圈112等。另一方面，在转矩传递部件制造工序中，制造球113等。另外，将滚道部件制造工序中制造好的滚道部件与转矩传递部件制造工序中制造好的转矩传递部件组合，藉此实施组装万向接头的组装工序。具体而言，将例如轴承内圈111及轴承外圈112、球113与另行准备好的保持架114等其它零件组合，藉此组装固定接头101。另外，转矩传递部件制造工序使用例如下面的万向接头用转矩传递部件的制造方法来实施。参照图16，在本实施方式的万向接头用转矩传递部件的制造方法中，首先实施 β-赛隆粉末准备工序，准备β-赛隆的粉末。在β-赛隆粉末准备工序中，通过采用例如燃烧合成法的制造工序，能廉价地制造赛隆的粉末。接着，实施混合工序，向β-赛隆粉末准备工序中准备好的β-赛隆的粉末添加烧结助剂并混合。不添加烧结助剂时，该混合工序可省略。接着，参照图16，实施成形工序，将上述β-赛隆的粉末或β-赛隆的粉末与烧结助剂的混合物成形为万向接头用转矩传递部件的概略形状。具体而言，通过对上述赛隆的粉末或β -赛隆的粉末与烧结助剂的混合物应用冲压成形、浇注成形、挤压成形、辊压造粒等成形方式，制作出成形为万向接头用转矩传递部件即球113等的概略形状的成形体。接着，实施烧结前加工工序，通过对上述成形体的表面进行加工，以使该成形体成形为在烧结后能成为与期望的万向接头用转矩传递部件的形状更接近的形状。具体而言， 通过应用坯体加工等加工方式，以使上述成形体成形为在烧结后能成为与球113等的形状更接近的形状。在经成形工序成形了上述成形体的阶段，在烧结后能得到与期望的万向接头用转矩传递部件的形状接近的形状时，该烧结前加工工序可省略。接着，参照图16，实施烧结工序，将上述成形体在IMPa以下的压力下烧结。具体而言，利用加热器加热、基于微波或毫米波的电磁波加热等加热方法来加热上述成形体，使其烧结，从而制作出具有球113等的概略形状的烧结体。烧结是通过在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中以1550°C以上1800°C以下的温度域对上述成形体加热来实施的。作为惰性气体，可采用氦、氖、氩、氮气等，但从降低制造成本的角度出发，较为理想的是采用氮气。接着，实施精加工工序，通过实施对烧结工序中制作好的烧结体的表面进行加工、 将包括该表面的区域除去的精加工，来完成万向接头用转矩传递部件。具体而言，通过对烧结工序中制作好的烧结体的表面进行研磨，来完成作为万向接头用转矩传递部件的球113 等。通过上面的工序，本实施方式的万向接头用转矩传递部件制作完成。此处，通过上述烧结工序的烧结，在从烧结体的表面离开500 μ m左右厚度的区域内，形成有致密性比内部高、利用光学显微镜的斜光来观察截面时作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7%以下的致密层。而且，在从烧结体的表面离开150μπι左右厚度的区域内，形成有致密性比致密层内的其它区域更高、利用光学显微镜的斜光来观察截面时作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下的高致密层。因此，在精加工工序中，被除去的烧结体的厚度、特别是成为接触面的区域内的被除去的烧结体的厚度较为理想的设定为150 μ m以下。由此，能在包括球滚动接触面113A的区域内残留下高致密层，提高万向接头用转矩传递部件的对滚滑疲劳的耐久性。(实施方式4)接着，图17 参照图19，对本发明的实施方式4中的作为万向接头的三球销万向节的结构进行说明。
参照图17 图19，实施方式4的三球销万向节102与实施方式3的固定接头101 基本上具有同样的结构，并具有同样的效果，但滚道部件和转矩传递部件的结构不同。艮口， 三球销万向节102包括具有沿相同平面上的三个方向延伸的三销架轴211、并与作为第二轴部件的轴125连接的三销架121 ；以围绕三销架121的形态配置、并与作为第一轴部件的轴126连接的作为滚道部件的轴承外圈122 ；以及通过滚针1 旋转自如地安装在三销架轴211上、并以形成在外周面上的球面滚筒滚动接触面123A与形成在轴承外圈122的内周面上的轴承外圈沟122A的表面接触的形态配置的作为转矩传递部件的环状的球面滚筒 123。利用上面的结构，在三球销万向节102中，当绕轴芯的旋转传递到轴125、126中的一方时，该旋转通过三销架121、轴承外圈122和球面滚筒123等速地传递给轴125、126中的另一根轴，并且，轴125、126能在穿过轴125、126的中央的轴线方向上彼此相对移动。S卩，实施方式4的作为万向接头的三球销万向节102包括与作为第一轴部件的轴 126连接的作为滚道部件的轴承外圈122 ；与轴承外圈122接触、并以能在轴承外圈122上形成的轴承外圈沟122A的表面上滚转和滑动的形态配置的作为转矩传递部件的球面滚筒 123 ；以及通过球面滚筒123和轴承外圈122与轴1 连接的作为第二轴部件的轴125。另外，三球销万向节102是将传递到轴1 和轴125中的一方的绕轴芯的旋转传递给轴1和轴125中的另一方的万向接头。而且，在作为万向接头的三球销万向节102中，球面滚筒123是以能滚动和滑动的形态存在于与作为第一轴部件的轴126连接的作为滚道部件的轴承外圈122和作为第二轴部件的轴125之间、并将传递到轴1 和轴125中的一方的绕轴芯的旋转传递给轴1 和轴125中的另一方的万向接头用转矩传递部件。此处，参照图18和图19，本实施方式中的作为万向接头用转矩传递部件的球面滚筒123相当于实施方式3中的球113，并具有同样的内部123C、致密层(球面滚筒致密层 123B)和高致密层(球面滚筒高致密层123D)。因此，本实施方式中的三球销万向节102是包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的、由β-赛隆烧结体形成的万向接头用转矩传递部件(球面滚筒123)的万向接头。实施方式4中的作为万向接头的三球销万向节102和该三球销万向节102所包括的作为万向接头用转矩传递部件的球面滚筒123能与实施方式 3时同样地进行制造。上述实施方式中，作为本发明的万向接头的一例，对固定接头和三球销万向节进行了说明，但本发明的万向接头并不局限于此。例如，万向接头也可以是双偏心式万向节 (DOJ)、自由三枢轴万向节(FTJ)、叉槽式万向节(LJ)等。另外，本发明的万向接头中的滚道部件的原材料没有特别的限定，例如可采用钢， 具体而言可采用Jis标准S53C等的碳素钢、SCR420、SCM420等的渗碳钢。另外，本发明的万向接头中的滚道部件的原材料也可采用氮化硅、赛隆(包括赛隆)等陶瓷。(实施方式5)接着，参照图20和图21，对本发明的实施方式5中的作为滑动装置的球面滑动轴承进行说明。参照图20，实施方式5的球面滑动轴承301包括作为滑动部件的环状外圈311、 以及配置在外圈311内周侧的作为滑动部件的环状内圈312。在外圈311的内周面上形成有具有球面形状的外圈滑动面311A，在内圈312的外周面上形成有具有球面形状的内圈滑动面312A。另外，外圈311和内圈312配置成外圈滑动面311A和内圈滑动面312A彼此接触。另外，还可在外圈滑动面311A和内圈滑动面312A中的至少一方上形成二硫化钼等固体润滑剂的皮膜。利用上面的结构，球面滑动轴承301的外圈311和内圈312能通过彼此相对地在周向上滑动而旋转和摆动。另外，外圈滑动面311A和内圈滑动面312A呈球面形状，藉此外圈311的转轴和内圈312的转轴能在调心角α的范围内构成角度。S卩，参照图20和图21，构成作为滑动装置的球面滑动轴承301的外圈311和内圈 312是一边与相邻的其它部件(内圈312和外圈311)接触一边与该其它部件相对滑动的滑动部件。另外，作为滑动部件的外圈311和内圈312由将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成。而且，参照图21，在包括作为与上述其它部件接触的面即接触面的外圈滑动面311Α和内圈滑动面312Α的区域内，形成有致密性比内部311C、312C高的层即致密层(外圈致密层311B和内圈致密层312B)。利用光学显微镜的斜光来观察该外圈致密层 311B和内圈致密层312B的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7% 以下。因此，本实施方式中的球面滑动轴承301是包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的、由赛隆烧结体形成的滑动部件(外圈311和内圈312)的滑动装置。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。上述本实施方式中，作为滑动部件的外圈311和内圈312也可由将β-赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和不可避免的杂质的烧结体构成。通过包括烧结助剂，能容易地降低烧结体的气孔率，容易地提供包括能稳定地确保足够的耐久性的、由β -赛隆烧结体形成的滑动部件的滑动装置。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。再参照图21，在外圈致密层311Β和内圈致密层312Β的包括表面即外圈滑动面 311Α和内圈滑动面312Α的区域内，形成有致密性比外圈致密层311Β和内圈致密层312Β内的其它区域更高的层即外圈高致密层311D和内圈高致密层312D。利用光学显微镜的斜光来观察该外圈高致密层311D和内圈高致密层312D的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。由此，外圈311和内圈312的耐磨损性进一步提高，耐久性进一步提高。接着，对作为本发明一实施方式的实施方式5中的滑动装置和滑动部件的制造方法进行说明。参照图22，在本实施方式的滑动装置和滑动部件的制造方法中，首先，在工序 (S100)中实施β-赛隆粉末准备工序，准备β-赛隆的粉末。在β-赛隆粉末准备工序中， 通过采用例如燃烧合成法的制造工序，能廉价地制造β -赛隆的粉末。接着，在工序(S200)中实施混合工序，向β-赛隆粉末准备工序中准备好的 β -赛隆的粉末添加烧结助剂并混合。不添加烧结助剂时，该混合工序可省略。接着，在工序(S300)中实施成形工序，将上述β-赛隆的粉末或β-赛隆的粉末与烧结助剂的混合物成形为滑动部件的概略形状。具体而言，通过对上述赛隆的粉末或β -赛隆的粉末与烧结助剂的混合物应用冲压成形、浇注成形、挤压成形、辊压造粒等成
25形方式，制作出成形为滑动部件即外圈311、内圈312等的概略形状的成形体。接着，在工序(S400)中实施烧结前加工工序，通过对上述成形体的表面进行加工，以使该成形体成形为在烧结后能成为与期望的滑动部件的形状更接近的形状。具体而言，通过应用坯体加工等加工方式，以使上述成形体成形为在烧结后能成为与外圈311、内圈312等的形状更接近的形状。在经成形工序成形了上述成形体的阶段，在烧结后能得到与期望的滑动部件的形状接近的形状时，该烧结前加工工序可省略。接着，在工序(S500)中实施烧结工序，将上述成形体在IMPa以下的压力下烧结。 具体而言，利用加热器加热、基于微波或毫米波的电磁波加热等加热方法来加热上述成形体，使其烧结，从而制作出具有外圈311、内圈312等的概略形状的烧结体。烧结是通过在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中以1550°C以上1800°C以下的温度域对上述成形体加热来实施的。作为惰性气体，可采用氦、氖、氩、氮气等，但从降低制造成本的角度出发，较为理想的是采用氮气。接着，在工序(S600)中实施精加工工序，通过实施对烧结工序中制作好的烧结体的表面进行加工、将包括该表面的区域除去的精加工，来完成滑动部件。具体而言，通过对烧结工序中制作好的烧结体的表面进行研磨，来完成作为滑动部件的外圈311、内圈312 等。通过上面的工序，本实施方式的滑动部件制作完成。此处，通过上述烧结工序的烧结，在从烧结体的表面离开500 μ m左右厚度的区域内，形成有致密性比内部高、利用光学显微镜的斜光来观察截面时作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7%以下的致密层。而且，在从烧结体的表面离开150μπι左右厚度的区域内，形成有致密性比致密层内的其它区域更高、利用光学显微镜的斜光来观察截面时作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下的高致密层。因此， 在精加工工序中，被除去的烧结体的厚度、特别是成为接触面的区域内的被除去的烧结体的厚度较为理想的是设定为150 μ m以下。由此，能在包括外圈滑动面311A和内圈滑动面 312A的区域内残留下高致密层，提高滑动部件的耐磨损性。另外，参照图22，在工序(S700)中实施组装工序，将如上所述制作好的滑动部件组合来组装滑动装置。具体而言，将工序(S100) (S600)中制作好的外圈311和内圈312 组合，组装上述本实施方式中的作为滑动装置的球面滑动轴承301。由此，本实施方式中的滑动装置的制造方法结束，作为滑动装置的球面滑动轴承301制作完成。此处，也可在外圈滑动面311A和内圈滑动面312A中的至少一方上形成二硫化钼等固体润滑剂的皮膜后将外圈311和内圈312组合，从而组装球面滑动轴承301。(实施方式6)接着，对作为本发明一实施方式的实施方式6中的滑动进行装置说明。参照图23，主轴电动机303是在硬盘驱动器装置(Hard Disk Drive ；HDD)的内部使磁盘旋转的HDD用主轴电动机。该主轴电动机303包括保持未图示的磁盘的盘毂334、 将盘毂334保持成可在周向上旋转的动压型轴承单元302、设置在动压型轴承单元302的外周面上的电动机定子332、以及以与电动机定子332相对的形态设置在盘毂334上的电动机转子333。动压型轴承单元302包括固定在盘毂334上的轴部件328、以及将轴部件3保持成可绕轴芯旋转的轴承329。利用上面的结构，在从未图示的电源对电动机定子332供电时，产生使电动机转子333绕轴芯旋转的驱动力，盘毂334相对于动压型轴承单元302的轴承3 相对旋转。接着，对本实施方式中的动压型轴承单元进行说明。参照图M，动压型轴承单元 302包括轴部件328、以及将轴部件328的一部分围住并将轴部件3 保持成可绕轴芯旋转的轴承部件327。轴部件3 具有圆筒形的轴部321、以及配置成围住轴部321的端部外周且外径比轴部321的外径大的圆盘形状的凸缘部322。另一方面，轴承部件327具有 平板状的底壁部324，其配置成与轴部321的端面和凸缘部322的一个端面隔开规定的间隙相对；以及空心圆筒状的侧壁部325，其配置成与凸缘部322的外周面及另一端面和轴部 321的外周面隔开规定的间隙相对。另外，轴部件3 与轴承部件327之间的上述间隙由润滑油等流体填满。利用上面的结构，在轴部件3 相对于轴承部件327绕轴芯旋转时，通过上述流体的动压作用，轴部件3 相对于轴承部件327以非接触状态得到支撑。此处，如上所述，在轴部件3 相对于轴承部件327以充分的旋转速度旋转的状态下，轴部件3 相对于轴承部件327以非接触状态得到支撑，但在轴部件3 相对于轴承部件327开始旋转的时刻(启动时)以及轴部件3 相对于轴承部件327所作的旋转即将结束前(运转结束时)，上述动压作用并不充分，轴部件3 和轴承部件327彼此一边接触一边滑动。S卩，构成轴部件328的轴部321和凸缘部322、构成轴承部件327的底壁部3M和侧壁部325是一边与相邻的其它部件接触一边相对该其它部件相对滑动的滑动部件。另外，作为滑动部件的轴部321、凸缘部322、底壁部3M和侧壁部325由将β-赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成。而且，参照图25，在包括作为与上述其它滑动部件接触的面(表面)即接触面的轴部接触面321Α、凸缘部接触面322Α、底壁部接触面324Α和侧壁部接触面325Α的区域内，形成有致密性比内部321C、322C、324C、325C高的层即致密层(轴部致密层321B、凸缘部致密层322B、底壁部致密层324B和侧壁部致密层 325B)。利用光学显微镜的斜光来观察该轴部致密层321B、凸缘部致密层322B、底壁部致密层324B和侧壁部致密层325B的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为7%以下。因此，本实施方式中的动压型轴承单元302是包括廉价但能稳定地确保足够的耐久性的、由β-赛隆烧结体形成的滑动部件(轴部321、凸缘部322、底壁部3 和侧壁部 325)的滑动装置。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。上述本实施方式中，作为滑动部件的轴部321、凸缘部322、底壁部3M和侧壁部 325也可由将β-赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和不可避免的杂质的烧结体构成。通过包括烧结助剂，能容易地降低烧结体的气孔率，容易地提供包括能稳定地确保足够的耐久性的、由赛隆烧结体形成的滑动部件的滑动装置。上述杂质包含了包括来自原料的杂质或制造工序中混入的杂质在内的不可避免的杂质。再参照图25，在轴部致密层321Β、凸缘部致密层322Β、底壁部致密层324Β和侧壁部致密层325Β的包括表面即轴部接触面321Α、凸缘部接触面322Α、底壁部接触面324Α和侧壁部接触面325Α的区域内，形成有致密性比轴部致密层321Β、凸缘部致密层322Β、底壁部致密层324Β和侧壁部致密层325Β内的其它区域更高的层即轴部高致密层321D、凸缘部高致密层322D、底壁部高致密层324D和侧壁部高致密层325D。利用光学显微镜的斜光来观察该轴部高致密层321D、凸缘部高致密层322D、底壁部高致密层324D和侧壁部高致密层 325D的截面时，作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。由此，轴部 321、凸缘部322、底壁部3M和侧壁部325的耐磨损性进一步提高，耐久性进一步提高。本实施方式中的作为滑动装置的动压型轴承单元302以及作为滑动部件的轴部 321、凸缘部322、底壁部3M和侧壁部325可与上述实施方式5中的作为滑动装置的球面滑动轴承301以及作为滑动部件的外圈311和内圈312以同样的制造方法进行制造。另外，在上述实施方式6中，对轴部件3 具有作为分体部件的轴部321和凸缘部 322的结构进行了说明，但轴部件328也可由一体的部件构成。而且，在上述实施方式5和实施方式6中，对构成滑动装置的滑动部件全部是由 β-赛隆烧结体构成的本发明的滑动部件的结构进行了说明，但本发明的滑动装置并不局限于此，只要滑动部件中的至少一个是本发明的滑动部件即可。例如，在上述实施方式5的球面滑动轴承301中，也可以是外圈311和内圈312中的一方是上述本发明的滑动部件，而另一方是本发明的范围外的滑动部件。这种情况下，在本发明的范围外的滑动部件中，可选择对例如淬火硬化后的高碳铬轴承钢(JIS标准SUJ2等)的表面实施了磷酸盐皮膜处理的材料作为原材料。另外，在上述实施方式6的动压型轴承单元302中，考虑到制造成本，形状比较简单的轴部件3 是本发明的滑动部件，藉此能构成廉价但能稳定地确保足够的耐久性的动压型轴承单元。这种情况下，在轴承部件327中，可选择浸渍有例如润滑油和润滑脂的含油烧结金属等作为原材料。另外，在上述实施方式中，作为本发明的滑动装置和滑动部件的一例，对球面滑动轴承、动压型轴承单元和它们所包括的滑动部件进行了说明，但本发明的滑动装置和滑动部件并不局限于此。本发明的滑动装置和滑动部件也可以是例如线性导向件和X-Y工作台等直线运动装置、摇臂和球阀等发动机零件以及它们所包括的滑动部件。(实施例1)下面，对本发明的实施例1进行说明。进行调查本发明的滚动部件、万向接头用转矩传递部件和滑动部件的截面中的致密层和高致密层的形成状态的试验。试验的步骤如下。首先，准备通过燃烧合成法制得的、组成为Si5AlON7的β -赛隆的粉末(ISMANJ公司(日文株式会社4 ；^ > -/二 4 )制造的Meramix(商品名称乂 W”卞))，通过与上述实施方式中说明的滚动部件、万向接头用转矩传递部件和滑动部件的制造方法同样的方法，制作出一边约IOmm的立方体试片。具体的制造方法如下。首先，使用球磨机，通过湿式混合将细微化至亚微米的赛隆粉末与作为烧结助剂的氧化铝(住友化学株式会社(日文住友化学株式会社)制造的ΑΚΡ30)和氧化钇(世泰科公司(H. C. Marck)制造 W^triumoxide grade C)混合。之后，利用喷雾干燥器进行造粒，制造出造粒粉。利用金属模将该造粒粉成形为规定的形状，再通过冷等静压成形(CIP)进行加压，得到成形体。接着，将该成形体在压力0. 4MPa的氮气气氛中加热至1650°C进行烧结，藉此制造出上述立方体试片。之后，将该试片切断，并用金刚石研磨机对切断形成的面进行抛光，然后，利用氧化铬研磨机来实施镜面抛光，由此形成包括立方体中心的观察用截面。然后，通过光学显微镜(尼康公司(日文株式会社二二 > )制造的Microphot-FXA(日文〗々口 7才
28卜-FXA))的斜光来观察该截面，并拍摄倍率为50倍的即印相片(富士胶片株式会社(日文7、/ 7〗；ι Λ株式会社)制造的FP-100B)。之后，使用扫描仪(分辨率300DPI)将所得到的相片的图像输入个人计算机。然后，使用图像处理软件(三谷商事株式会社(日文 三谷商事株式会社)制造的WinROOF)，进行基于亮度阈值的二值化处理(本实施例中的二值化分离阈值为140)，并测定白色区域的面积率。接着，对试验结果进行说明。在图沈中，相片上侧是试片的表面侧，上端是表面。参照图沈和图27，可知，通过与本发明的滚动部件、万向接头用转矩传递部件和滑动部件相同的制造方法制得的本实施例的试片在包括表面的区域内形成有白色区域比内部少的层。另外，如图观所示，根据从试片的最表面部分离开的距离将拍摄得到的相片的图像分为三个区域(从最表面部分离开的距离为150 μ m以内的区域、超过150 μ m但在 500 μ m以内的区域、超过500 μ m但在800 μ m以内的区域)，并对每个区域进行图像分析， 计算出白色区域的面积率，从而得到表1所示的结果。在表1中，表示了将图观所示的各区域作为一个视野随意拍摄而得到的五张相片的五个视野中的白色区域面积率的平均值和最大值。[表 1]
权利要求
1.一种万向接头用的转矩传递部件(113，123)，转矩传递部件是设置在万向接头 (101,102)内以能滚动和滑动地存在于与第一轴部件(116，126)连接的滚道部件(112， 122)和第二轴部件(115,12 之间，并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方，所述万向接头用转矩传递部件由将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成，所述转矩传递部件具有用作与其它部件接触的面的接触面，所述面被包括在具有致密性比内部(113C，123C)高的致密层 (113B,123B)的区域内。
2.如权利要求1所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)，其特征在于，在利用光学显微镜的斜光来观察所述致密层(li:3B，123B)的截面时，所述致密层呈现为作为白色的区域而被观察到的区域具有的面积率为7%以下。
3.如权利要求1所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)，其特征在于，所述致密层(li;3B，123B)具有表面，包括所述表面的区域具有致密性比所述致密层(li:3B，123B)的其它区域更高的高致密层(113D，123D)。
4.如权利要求3所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)，其特征在于，利用光学显微镜的斜光来观察所述高致密层(113D，123D)的截面时，所述高致密层呈现为作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。
5.一种万向接头(101，102)，包括:与第一轴部件(116，126)连接的滚道部件(112，122)；与滚道部件(112,12 接触并在滚道部件(112,12 的表面上以滚转和滑动的形态配置的转矩传递部件(113，123)；以及通过所述转矩传递部件(113，12 及所述滚道部件(112,12 与所述第一轴部件连接的第二轴部件(115，125)，所述万向接头(101,10 将传递到第一轴部件(116，126)和第二轴部件(115,12 中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件(116，126)和第二轴部件 (115，125)中的另一方，所述转矩传递部件(113，123)为如权利要求1的万向接头用的转矩传递部件(113，123)。
6.一种万向接头用的转矩传递部件(113，123)，转矩传递部件是设置在万向接头 (101,102)内以能滚动和滑动地存在于与第一轴部件(116，126)连接的滚道部件(112， 122)和第二轴部件(115,12 之间，并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方，所述万向接头用转矩传递部件由将 β -赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的烧结体构成，所述转矩传递部件具有用作与其它部件接触的面的接触面，所述面被包括在具有致密性比内部(113C，123C)高的致密层(113B,123B)的区域内。
7.如权利要求6所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)，其特征在于，在利用光学显微镜的斜光来观察所述致密层(li:3B，123B)的截面时，所述致密层呈现为作为白色的区域而被观察到的区域具有的面积率为7%以下。
8.如权利要求6所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)，其特征在于，所述致密层(li;3B，123B)具有表面，包括所述表面的区域具有致密性比所述致密层(li:3B，123B)的其它区域更高的高致密层(113D，123D)。
9.如权利要求8所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)，其特征在于，利用光学显微镜的斜光来观察所述高致密层(113D，123D)的截面时，所述高致密层呈现为作为白色的区域而被观察到的白色区域的面积率为3. 5%以下。
10.一种万向接头(101，102)，包括:与第一轴部件(116，126)连接的滚道部件(112，122)；与滚道部件(112,12 接触并在滚道部件(112,12 的表面上以滚转和滑动的形态配置的转矩传递部件(113，123)；以及通过所述转矩传递部件(113，12 及所述滚道部件(112,12 与所述第一轴部件连接的第二轴部件(115，125)，所述万向接头(101,10 将传递到第一轴部件(116，126)和第二轴部件(115,12 中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件(116，126)和第二轴部件 (115，125)中的另一方，所述转矩传递部件(113，123)为如权利要求6的万向接头用的转矩传递部件(113，123)。
11.一种万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，转矩传递部件是设置在万向接头(101，102)内以能滚动和滑动地存在于与第一轴部件(116，126)连接的滚道部件 (112,122)和第二轴部件(115,12 之间，并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方，所述方法包括以下步骤准备将赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的原料粉末；将所述原料粉末成形为所述万向接头用的转矩传递部件(113，123)的概略形状来制作成形体；以及将所述成形体在IMPa以下的压力下烧结。
12.如权利要求11所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，其特征在于，在将成形体烧结的步骤中，所述成形体以1550°C到1800°C的温度范围烧结。
13.如权利要求11所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，其特征在于，在将成形体烧结的步骤中，在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结。
14.如权利要求11所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，其特征在于，在将成形体烧结之前，还包括形成成形体的表面的步骤。
15.如权利要求11所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，其特征在于，还包括对烧结后的成形体的表面进行加工、以将包括该表面的区域除去的步骤，其中，所述对烧结后的成形体的表面进行加工的步骤中被除去的所述成形体的厚度为150 μ m 以下。
16.一种万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，转矩传递部件是设置在万向接头(101,10 内以能滚动和滑动地存在于与第一轴部件(116，126)连接的滚道部件 (112,122)和第二轴部件(115,12 之间，并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方，所述方法包括以下步骤准备将赛隆作为主要成分、剩余部分为烧结助剂和杂质的原料粉末；将所述原料粉末成形为所述万向接头用的转矩传递部件(113，123)的概略形状来制作成形体；以及将所述成形体在IMPa以下的压力下烧结。
17.如权利要求16所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，其特征在于，在将成形体烧结的步骤中，所述成形体以1550°C到1800°C的温度范围烧结。
18.如权利要求16所述的万向接头用的转矩传递部件(113，12 的制造方法，其特征在于，在将成形体烧结的步骤中，在惰性气体气氛中或氮气与氧气的混合气体气氛中将成形体烧结。
19.如权利要求16所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，其特征在于，在将成形体烧结之前，还包括形成成形体的表面的步骤。
20.如权利要求16所述的万向接头用的转矩传递部件(113，123)的制造方法，其特征在于，还包括对烧结后的成形体的表面进行加工、以将包括该表面的区域除去的步骤，其中，所述对烧结后的成形体的表面进行加工的步骤中被除去的所述成形体的厚度为150 μ m 以下。
全文摘要
本发明公开了一种转矩传递部件、万向接头和转矩传递部件的制造方法。根据本发明一种万向接头用的转矩传递部件，转矩传递部件是设置在万向接头中以能滚动和滑动的形态存在于与第一轴部件连接的滚道部件和第二轴部件之间，并将传递到第一轴部件和第二轴部件中的一方的绕轴芯的旋转传递给第一轴部件和第二轴部件中的另一方，所述万向接头用转矩传递部件由将β-赛隆作为主要成分、剩余部分为杂质的烧结体构成，所述转矩传递部件具有用作与其它部件接触的面的接触面，所述面被包括在具有致密性比内部高的致密层的区域内。
文档编号C04B35/599GK102506084SQ20111037285
公开日2012年6月20日 申请日期2008年5月30日 优先权日2007年6月27日
发明者村松胜利 申请人:Ntn株式会社