专利名称：一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种控制系统，尤其是涉及一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统。
背景技术：
石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。其主要的工艺流程为:尤尼明高纯石英砂一高纯石墨模具一真空装料成型一真空电弧熔制一自然冷却脱模一石英坩埚初步检测一冷加工喷砂、切断、倒角一石英坩埚二次检测一超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干一石英坩埚三次检验一真空包装一成品入库。目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂使其形成致密层，其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英 甘祸反应提闻成晶率。。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其结构简单且使用操作方便，工作时能实现石英砂侧壁的均匀分料，保证石英砂在离心率的作用下能够均匀附着在锥形侧壁上。为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于:包 括主控制器、输送装置、分料装置、放置石英坩埚的旋转台、在主控制器控制下带动石英砂料斗沿输送装置向上传输到所述石英砂坩埚侧壁的电机一、在主控制器控制下带动分料装置沿所述石英坩埚锥形侧壁做变速直线滑行以实现侧壁分料的均匀性和一致性的电机二、在主控制器控制下带动旋转台使所述石英坩埚做高速旋转运动以保证石英砂在离心率的作用下能够附着在所述石英坩埚椎体侧壁的电机三、对所述石英坩埚进行加热的加热装置、实时检测加热装置温度的温度传感器以及分别与温度传感器和主控制器相接的温度控制器；所述电机一分别与输送装置和主控制器相接，所述电机二分别与分料装置和主控制器相接，所述电机三分别与旋转台和主控制器相接，所述温度传感器与主控制器相接。上述一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征是:所述主控制器为PLC。上述一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征是:所述电机均为步进电机。上述一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征是:所述加热装置为红外加热管。本发明与现有技术相比具有以下优点，其结构简单、布设方便、使用操作简单且使用效果好，温度实时可控，控制精度高，极大提高了石英坩埚的工艺水平和生产质量。下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
图1为本发明的电路原理框图。附图标记说明:1-主控制器；2-输送装置；3-分料装置；4-旋转台；5-电机一；6-电机二；7-电机三；8-加热装置；9-温度传感器；10-温度控制器。
具体实施例方式如图1所示，本发明包括主控制器1、输送装置2、分料装置3、放置石英坩埚的旋转台4、在主控制器I控制下带动石英砂料斗沿输送装置2向上传输到所述石英砂坩埚侧壁的电机一 5、在主控制器I控制下带动分料装置3沿所述石英坩埚锥形侧壁做变速直线滑行以实现侧壁分料的均匀性和一致性的电机二 6、在主控制器I控制下带动旋转台4使所述石英坩埚做高速旋转运动以保证石英砂在离心率的作用下能够附着在所述石英坩埚椎体侧壁的电机三7、对所述石英坩埚进行加热的加热装置8、实时检测加热装置温度的温度传感器9以及分别与温度传感器9和主控制器I相接的温度主控制器10 ;所述电机一 5分别与输送装置2和主控制器I相接，所述电机二 6分别与分料装置3和主控制器I相接，所述电机三7分别与旋转台4和主控制器I相接，所述温度传感器9与主控制器I相接。本实施例中，所述 主控制器I为PLC，具体使用时还可根据需要选取其它类型控制器。本实施例中，所述电机一 5、电机二 6和电机三7均为步进电机。本实施例中，所述加热装置8为红外加热管。以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明作任何限制，凡是根据本发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
权利要求
1.一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于:包括主控制器(I)、输送装置(2)、分料装置(3)、放置石英坩埚的旋转台(4)、在主控制器(I)控制下带动石英砂料斗沿输送装置(2)向上传输到所述石英砂坩埚侧壁的电机一(5)、在主控制器(I)控制下带动分料装置(3)沿所述石英坩埚锥形侧壁做变速直线滑行以实现侧壁分料的均匀性和一致性的电机二 ￠)、在主控制器(I)控制下带动旋转台(4)使所述石英坩埚做高速旋转运动以保证石英砂在离心率的作用下能够附着在所述石英坩埚椎体侧壁的电机三(7)、对所述石英坩埚进行加热的加热装置(8)、实时检测加热装置温度的温度传感器(9)以及分别与温度传感器(9)和主控制器⑴相接的温度主控制器(10);所述电机一(5)分别与输送装置(2)和主控制器(I)相接，所述电机二(6)分别与分料装置(3)和主控制器(I)相接，所述电机三(7)分别与旋转台(4)和主控制器(I)相接，所述温度传感器(9)与主控制器(I)相接。
2.按照权利要求1所述的一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于:所述主控制器⑴为PLC。
3.按照权利要求1或2所述的一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于:所述电机一(5)、电机二(6)和电机三(7)均为步进电机。
4.按照权利要求1或2所述的一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，其特征在于:所述加热装置(8)为 红外加热管。
全文摘要
本发明公开了一种石英砂锥形侧壁分料的运动控制系统，包括主控制器、输送装置、分料装置、放置石英坩埚的旋转台、带动石英砂料斗沿输送装置向上传输到所述石英砂坩埚侧壁的电机一、带动分料装置沿所述石英坩埚锥形侧壁做变速直线滑行以实现侧壁分料的均匀性和一致性的电机二、带动旋转台使所述石英坩埚做高速旋转运动以保证石英砂在离心率的作用下能够附着在所述石英坩埚椎体侧壁的电机三、对石英坩埚进行加热的加热装置、实时检测加热装置温度的温度传感器以及分别与温度传感器和主控制器相接的温度控制器。本发明结构简单、布设方便、使用操作简单且使用效果好，温度实时可控，控制精度高，极大提高了石英坩埚的工艺水平和生产质量。
文档编号C03C17/04GK103176423SQ20111045173
公开日2013年6月26日 申请日期2011年12月20日 优先权日2011年12月20日
发明者刘学, 胡剑峰 申请人:西安大昱光电科技有限公司