技术简介：
本专利针对现有石英坩埚水套冷却水腔口易受高温空气加热导致冷却效率低、泄漏破坏真空环境的问题，创新性地将冷却水腔口布置在水套壳体底面边缘，远离抽气口，避免高温空气直接接触，提升冷却效果并保障真空度，降低废品率。
关键词：石英坩埚水套,冷却效率,真空保持
专利名称：石英坩埚水套的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种生产石英坩埚过程中使用到的石英坩埚水套。
背景技术：
石英坩埚水套是生产石英坩埚过程中用于支撑石英坩埚模具、为石英坩埚提供冷却、保证石英坩埚处于真空环境的设备。现有的石英坩埚水套包括水套壳体，在壳体内壁设有支撑环，水套壳体内部为冷却水腔，在壳体下部设有抽气ロ及冷却水腔ロ，所述的冷却水腔ロ均布在抽气ロ周围。当石英坩埚位于石英坩埚模具中时，抽真空装置由抽气ロ将石英坩埚水套与石英坩埚间抽成真空，以避免石英坩埚中含有气泡而影响石英坩埚的质地；由冷却水腔接ロ向冷却水腔内提供冷却水，以使炽热的石英坩埚更快的定型。由于石英坩埚与水套间的空气的温度极高，导致冷却水在冷却水腔ロ处被加热，冷却效果差，冷却效率低。且一旦冷却水腔ロ处发生泄漏，冷却水与高温空气混合后被汽化，进入石英坩埚水套与石英坩埚之间，会破坏真空环境，甚至会造成石英坩埚底部凸起，废品率高。
发明内容本实用新型要解决的技术问题是提供ー种冷却效果好、冷却效率高、可保证石英坩埚所处环境真空度、石英坩埚废品率低的石英坩埚水套。本实用新型是这样实现的ー种石英坩埚水套，包括水套壳体，水套壳体内部为冷却水腔，在水套壳体内壁设有支撑环，在水套壳体底部设有抽气ロ与冷却水腔ロ，其特殊之处是所述的冷却水腔ロ均布在水套壳体底面的边缘。所述的冷却水腔ロ有四个。本实用新型的有益效果是由于冷却水腔ロ位于水套壳体底面的边缘，远离抽气ロ，避免了冷却水在被经由抽气ロ抽出的高温空气加热，冷却效率高、冷却效果好，且一旦冷却水腔ロ处发生泄漏，冷却水不会被高温空气汽化，保证了石英坩埚所处环境真空度，降低了石英坩埚的废品率。
图I是本实用新型的结构示意图。图中水套壳体1，支撑环2，冷却水腔ロ 3，抽气ロ 4。
具体实施方式如图所示，该石英坩埚水套，包括水套壳体1，水套壳体I内部为冷却水腔，在水套壳体I内壁设有支撑环2，在水套壳体I底部设有冷却水腔ロ 3与抽气ロ 4，所述的冷却水腔ロ 3有四个且均布在水套壳体I底面的边缘。工作时，抽真空装置经抽气ロ 4将石英坩埚水套与石英坩埚模具之间的空气抽出，形成真空环境，以避免石英坩埚中含有气泡而影响石英坩埚的质地。经冷却水腔口 3向冷却水腔中注入冷 却水，以冷却石英坩埚使之快速成型。
权利要求1.ー种石英坩埚水套，包括水套壳体，水套壳体内部为冷却水腔，在水套壳体内壁设有支撑环，在水套壳体底部设有抽气ロ与冷却水腔ロ，其特征是所述的冷却水腔ロ均布在水套壳体底面的边缘。
2.根据权利要求I所述的石英坩埚水套，其特征是所述的冷却水腔ロ有四个。
专利摘要一种石英坩埚水套，包括水套壳体，水套壳体内部为冷却水腔，在水套壳体内壁设有支撑环，在水套壳体底部设有抽气口与冷却水腔口，其特殊之处是所述的冷却水腔口均布在水套壳体底面的边缘。由于冷却水腔口位于水套壳体底面的边缘，远离抽气口，避免了冷却水在被经由抽气口抽出的高温空气加热，冷却效率高、冷却效果好，且一旦冷却水腔口处发生泄漏，冷却水不会被高温空气汽化，保证了石英坩埚所处环境真空度，降低了石英坩埚的废品率。
文档编号C03B5/44GK202499799SQ20122014086
公开日2012年10月24日 申请日期2012年4月6日 优先权日2012年4月6日
发明者侯建, 王震 申请人:锦州佑鑫石英科技有限公司