硅片线切割机的制作方法

本发明属于硅片线切割技术领域，特别涉及一种硅片线切割机。

背景技术：

传统的硅片线切割设备，线筒安装方式为立式安装，线轮重量大，排线行程大，线筒跳动大；线筒室小导轮立式排线，排线在上升过程中阻力增大，导轮数量较多；硅片线切割设备的切割头，两根主辊轴间距比较宽，比较宽的中心距宽，不稳定，容易断线，切割效率低。

技术实现要素：

为解决现有技术和实际情况中存在的上述问题，本发明提供了一种硅片线切割机，包括框架、设于框架前部的切割室、位于切割室后面的线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装，所述线筒室，包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置，所述横移架下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座可沿所述滑轨横向移动；所述导线轮工装包括配重块、连接座、固定支架、导向轮支撑座、收放线导向轮Ⅲ、传感器、连接轴，所述固定支架用于导线轮工装固定于导线轮工装移动座，与固定支架相连设有连接座，所述连接座的另一侧设有配重块，与连接座相连接固定支架下面设有导向轮支撑座，与导向轮支撑座相连接安装有收放线导向轮Ⅲ，所述传感器位于导向轮支撑座与收放线导向轮Ⅲ相对，所述收放线导向轮Ⅲ与传感器之间通过连接轴相连；所述张力臂电机位于线筒室主板后方，两个所述张力臂导向轮分别位于两个收放线导向轮Ⅲ右侧，所述张力臂上设有张力臂传感器，所述张力臂上部外面设有张力臂盒11；所述收放线轮工装设有收放线导向轮Ⅰ、收放线导向轮Ⅱ，所述收放线导向轮Ⅰ高于收放线导向轮Ⅱ，所述收放线导向轮Ⅰ、收放线导向轮Ⅱ的位置分别与右侧的收放线导向轮Ⅲ、张力臂导向轮的位置相应；切割线依次通过上方收放线轮、上方收放线导向轮、上方张力臂导向轮收放线导向轮Ⅰ进入切割室，切割线通过收放线导向轮Ⅱ、下方张力臂导向轮、下方收放线导向轮、下方收放线轮由切割室引出。

优选地，所述收放线轮工装，包括收放线导向轮Ⅰ、导向轮支撑块Ⅰ、导向轮支撑块调节座Ⅰ、调节座、收放线导向轮Ⅱ、导向轮支撑块Ⅱ、导向轮支撑块调节座Ⅱ、导向轮固定支架Ⅰ、导向轮固定支架Ⅱ、导轨，所述导向轮固定支架Ⅰ高于导向轮固定支架Ⅱ，所述导轨设有纵向开口槽，所述导向轮固定支架Ⅰ底部设有与纵向开口槽相配的凸起，所述导向轮固定支架Ⅰ通过凸起连接于所述导轨上位置可调整，所述导向轮固定支架Ⅰ上端设有连接柱，所述调节座下部设有横向开口槽，所述连接柱位于横向开口槽内可横向移动，所述调节座上部设有连接柱，所述导向轮支撑块调节座Ⅰ下部设有竖向开口槽，所述连接柱位于竖向开口槽内可上下移动，所述导向轮支撑块调节座Ⅰ上部设有弧形槽，所述导向轮支撑块Ⅰ一端连接设有收放线导向轮Ⅰ，另一端设有连接柱，所述连接柱位于所述弧形槽内可移动；所述导向轮固定支架Ⅱ底部设有与纵向开口槽相配的凸起，所述导向轮固定支架Ⅱ通过凸起连接于所述导轨上位置可调整，所述导向轮固定支架Ⅱ上端设有竖向移动槽，所述收线轮支撑块调节座设有与竖向移动槽相配的连接柱，所述连接柱位于竖向移动槽内，位置可上下调节，所述收线轮支撑块调节座上设有弧形槽，所述收线轮支撑块一端连接设有收放线导向轮Ⅱ，另一端设有连接柱，所述连接柱位于所述弧形槽内可移动；所述连接柱端部设有螺纹，与所述螺纹相配设有螺母；依次缠绕收放线轮、收放线导向轮、张力臂导向轮设有切割线。

优选地，所述切割头包括位于两侧的切割头立柱、所述切割头立柱上设有两个主辊孔，穿过两侧的主辊孔设有主辊，所述主辊前后分别设有前轴承箱和后轴承箱，所述主辊可拆卸，所述两根主辊轴间距为380mm。

优选地，所述收放线轮单元包括收放电机、电机支架、电机同步轮、轴承箱同步轮、同步带、收放线轮轴承箱、轴承箱固定支架、收放线轮，所述收放电机位于电机支架上，收放电机与电机同步轮相连，电机同步轮通过同步带与轴承箱同步轮相连，所述轴承箱同步轮连接收放线轮轴，所述收放线轮轴的后端设有收放线轮轴承箱，所述收放线轮轴承箱外设有轴承箱固定支架。

本发明优化导向轮排布结构，线筒安装方式为卧式安装，卧式安装排线负荷均匀，导轮数量减少，导线轮个数减少先增大钢线的破断张力，使进入线网的张力波动变小；本发明线筒重量大幅减小，为15KG，排线行程收放线200mm,显著降低，线筒跳动小，排线更加稳定，张力臂运行时摆臂稳定，

本发明改变电机、横移架排布位置，提升切割效率，适应专用金刚线切割。

所述硅片线切割设备的切割头，两根主辊2轴间距减小了，线网缩小了，更稳定不容易断线，切割长度更长，切割效率大大增加。

本发明硅片线切割机的切割头，轴间距变更为380mm,切割效率大大增加，小导轮个数由14个变更为8个；所述传感器感应钢线的张力值，断线时，钢线的张力值为零，发出报警信号，有效监测断线，减少断线造成的线网拉空等损失。

附图说明

图1是本发明实施例的硅片线切割机的结构示意图。

图2是线筒室的结构示意图。

图3是导线轮工装的结构示意图。

图4是收放线轮工装的结构示意图。

图5是收放线轮单元的结构示意图。

具体实施方式

如图1-4所示，一种硅片线切割机，包括框架40、设于框架前部的切割室、位于切割室后面的线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装45，所述线筒室，包括主板14、收放线轮单元、分别设于收放线轮15下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座10、两个横移架9、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂12、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮13，所述横移架9水平设置，所述横移架9下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座10可沿所述滑轨横向移动；所述导线轮工装包括配重块5、连接座6、固定支架1、导向轮支撑座8、收放线导向轮Ⅲ2、传感器4、连接轴3，所述固定支架1用于导线轮工装固定于导线轮工装移动座10，与固定支架1相连设有连接座6，所述连接座6的另一侧设有配重块5，与连接座6相连接固定支架1下面设有导向轮支撑座8，与导向轮支撑座8相连接安装有收放线导向轮Ⅲ2，所述传感器4位于导向轮支撑座8与收放线导向轮Ⅲ2相对，所述收放线导向轮Ⅲ2与传感器4之间通过连接轴3相连；所述张力臂电机位于线筒室主板14后方，两个所述张力臂导向轮13分别位于两个收放线导向轮Ⅲ2右侧，所述张力臂12上设有张力臂传感器，所述张力臂12上部外面设有张力臂盒11；所述收放线轮工装设有收放线导向轮Ⅰ34、收放线导向轮Ⅱ27，所述收放线导向轮Ⅰ34高于收放线导向轮Ⅱ27，所述收放线导向轮Ⅰ34、收放线导向轮Ⅱ27的位置分别与右侧的收放线导向轮Ⅲ、张力臂导向轮13的位置相应；切割线依次通过上方收放线轮15、上方收放线导向轮2、上方张力臂导向轮13收放线导向轮Ⅰ34进入切割室，切割线通过收放线导向轮Ⅱ27、下方张力臂导向轮13、下方收放线导向轮2、下方收放线轮15由切割室引出。

所述收放线轮工装，包括收放线导向轮Ⅰ34、导向轮支撑块Ⅰ33、导向轮支撑块调节座Ⅰ31、调节座36、收放线导向轮Ⅱ27、导向轮支撑块Ⅱ26、导向轮支撑块调节座Ⅱ25、导向轮固定支架Ⅰ29、导向轮固定支架Ⅱ22、导轨21，所述导向轮固定支架Ⅰ29高于导向轮固定支架Ⅱ22，所述导轨21设有纵向开口槽37，所述导向轮固定支架Ⅰ29底部设有与纵向开口槽37相配的凸起，所述导向轮固定支架Ⅰ29通过凸起连接于所述导轨21上位置可调整，所述导向轮固定支架Ⅰ29上端设有连接柱，所述调节座36下部设有横向开口槽35，所述连接柱位于横向开口槽35内可横向移动，所述调节座36上部设有连接柱，所述导向轮支撑块调节座Ⅰ31下部设有竖向开口槽30，所述连接柱位于竖向开口槽30内可上下移动，所述导向轮支撑块调节座Ⅰ31上部设有弧形槽32，所述导向轮支撑块Ⅰ33一端连接设有收放线导向轮Ⅰ34，另一端设有连接柱，所述连接柱位于所述弧形槽32内可移动；所述导向轮固定支架Ⅱ22底部设有与纵向开口槽37相配的凸起，所述导向轮固定支架Ⅱ22通过凸起连接于所述导轨21上位置可调整，所述导向轮固定支架Ⅱ22上端设有竖向移动槽23，所述收线轮支撑块调节座25设有与竖向移动槽23相配的连接柱，所述连接柱位于竖向移动槽23内，位置可上下调节，所述收线轮支撑块调节座25上设有弧形槽24，所述收线轮支撑块26一端连接设有收放线导向轮Ⅱ27，另一端设有连接柱，所述连接柱位于所述弧形槽24内可移动；所述连接柱端部设有螺纹，与所述螺纹相配设有螺母；依次缠绕收放线轮15、收放线导向轮2、张力臂导向轮13设有切割线。

所述切割头包括位于两侧的切割头立柱41、所述切割头立柱41上设有两个主辊孔，穿过两侧的主辊孔设有主辊42，所述主辊42前后分别设有前轴承箱43和后轴承箱44，所述主辊42可拆卸，所述两根主辊42轴间距为380mm。

如图5所示，所述收放线轮单元包括收放电机51、电机支架52、电机同步轮(图中未示出)、轴承箱同步轮(图中未示出)、同步带(图中未示出)、收放线轮轴承箱55、轴承箱固定支架53、收放线轮56，所述收放电机51位于电机支架52上，收放电机51与电机同步轮相连，电机同步轮通过同步带与轴承箱同步轮相连，所述轴承箱同步轮连接收放线轮轴，所述收放线轮轴的后端设有收放线轮轴承箱55，所述收放线轮轴承箱55外设有轴承箱固定支架56。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。