一种立式多晶棒料切割机的制作方法

文档序号:15154845发布日期:2018-08-10 21:57阅读:280来源:国知局

本实用新型涉及多晶棒料加工领域,尤其是一种立式多晶棒料切割机。



背景技术:

由于VGF(垂直梯度凝固)法生长单晶时温度梯度较低,生长速率较小,目前已成为生长大直径、低位错密度晶体的主流技术之一。用VGF法生长单晶前,需将多晶料切割成规定的尺寸装到PBN(氮化硼)坩埚中,然后放入石英管里进行抽真空,封焊后放入VGF单晶炉中进行单晶生长。

目前市场上用于切割多晶料的切割机,特别是像锗锭、磷化铟等稀有昂贵的多晶料时,通常使用普通材料的切割机,由于不是专门针对多晶棒料的切割机,因此在切割工序过程中,容易存在损耗大、切割效率不高、安全系数低下以及多晶废料难以收集的问题,增加企业成本,降低企业经济效益。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题是,针以目前普通切割机存在的损耗大、切割效率不高、安全系数低的问题,提供一种安全环保、成本低且效率高的立式多晶棒料切割机。

一种立式多晶棒料切割机,其特征在于,该切割机包括操作台和支撑机架,操作台设置在支撑机架顶端;所述的操作台两端分别设置有进料口和出料口,操作台内部设置有夹持部和切割部;所述的切割部包括刀片、转轴、环形垫块、六角螺栓、传动轴和电机,所述的刀片为环形结构,刀片两侧设置环形垫块,转轴穿过刀片和环形垫块的同心孔,使刀片和环形垫片均套在转轴上,且环形垫块上设有数个螺母,所述的六角螺栓与螺母相匹配,并通过螺母安装在环形垫块上,所述的转轴底端连接传动轴,传动轴另一端连接电机;所述的夹持部为两个,分别对称设置在刀片两侧,所述的夹持部包括夹持块、滑道、紧固条、紧固螺丝和支撑块,所述的滑道顶端凸设有半圆形滑轨,夹持块一侧底端设置有支撑块,支撑块底部凹设有滑孔,滑孔与滑轨相匹配,支撑块通过滑孔穿过滑轨在滑道顶端滑动,支撑块底端设置有手柄,夹持块远离支撑块一侧顶端设置紧固条,紧固条外侧表面设置紧固螺丝。

所述的支撑机架内部设置有水槽,水槽上方设置有下水管和抽水管,操作台底面设置有通孔和下水口,抽水管穿过通孔,底端管口位于水槽内,顶端管口位于刀片上方,且顶端管口处设置有喷嘴,抽水管下部位置设置有水泵,所述的抽水管为可弯曲定型抽水管;所述的下水口连接下水管,下水管底端出口位于水槽内部。

所述的滑轨表面设置有数条条形沟槽,沟槽内设置有钢球,钢球为数个,在滑轨与滑孔之间沿沟槽滚动。

所述的电机的转速为2400~2600r/min。

所述的刀片的厚度为0.5~1mm。

所述的操作台顶端外侧表面覆盖有透明防护罩。

所述的支撑机架前表面设置有对开门。

所述的操作台前表面中部位置设置有圆孔,圆孔至少为两个,且圆孔外侧表面设置有防水橡胶皮挡片。

所述的操作台进料口及出料口处设置有防水橡胶皮挡片。

本实用新型的一种立式多晶棒料切割机,结构设计科学合理,使用成本价格低廉,有利于提高企业经济效益,与现有普通切割机相比,具有在切割多晶棒料时损耗低、安全性高,便于收集切割时的残渣,保证工作环保的清洁度,同时提高切割效率高,能方便、快速地切割不同尺寸的多晶棒料,适用范围广。

附图说明

图1为本实用新型的一种立式多晶棒料切割机的结构示意图;

图2为本实用新型的一种立式多晶棒料切割机的正面剖视图;

图3为本实用新型的夹持部的放大示意图;

图4为本实用新型的切割部的放大示意图;

图5为本实用新型的切割部的右视图;

其中,支撑机架1,进料口2,出料口3,刀片4,转轴5,环形垫块6,六角螺栓7,传动轴8,电机9,夹持块10,滑道11,紧固条12,紧固螺丝13,支撑块14,滑轨15,滑孔16,手柄17,水槽18,下水管19,抽水管20,通孔21,下水口22,喷嘴23,水泵24,沟槽25,钢球26,透明防护罩27,可折叠照明灯28,圆孔29,防水橡胶皮挡片30,对开门31,操作台32。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1:一种立式多晶棒料切割机,该切割机包括操作台32和支撑机架1,操作台32设置在支撑机架1顶端;所述的操作台32两端分别设置有进料口2和出料口3,便于在切割多晶棒料时的放料取料,操作台32内部设置有夹持部和切割部;所述的切割部包括刀片4、转轴5、环形垫块6、六角螺栓7、传动轴8和电机9,所述的刀片4为环形结构,刀片4两侧设置环形垫块6,转轴5穿过刀片4和环形垫块6的同心孔,使刀片4和环形垫片6均套在转轴5上,且环形垫块6上设有螺母,所述的六角螺栓7与螺母相匹配,并通过螺母安装在环形垫块6上,所述的转轴5底端连接传动轴8,传动轴8另一端连接电机9;所述的夹持部为两个,分别对称设置在刀片4两侧,所述的夹持部包括夹持块10、滑道11、紧固条12和紧固螺丝13,所述的滑道11顶端凸设有半圆形滑轨15,夹持块10一侧底端设置有支撑块14,支撑块14底部凹设有滑孔16,滑孔16与滑轨15相匹配,支撑块14通过滑孔15穿过滑轨15在滑道11顶端滑动,夹持块10远离支撑块14一侧顶端设置紧固条12,紧固条12外侧表面设置紧固螺丝13;所述的支撑机架1内部设置有水槽18,水槽18上方设置有下水管19和可弯曲定型抽水管20,操作台32底面设置有通孔21和下水口22,可弯曲定型抽水管20贯穿通孔21,其顶端管口处设置有喷嘴23,喷嘴23位置位于刀片4上方,以便于在切割时在刀片4上方位置进行淋水,防止刀片4切割过热而降低使用寿命,可弯曲定型抽水管20下部位置设置有水泵24,且抽水管底端管口位于水槽18内,下水口22连接下水管19,下水管19底端出口位于水槽18内部,滑轨15表面设置有数条条形沟槽25,沟槽25内设置有钢球26,钢球26为数个,在滑轨15与滑孔16之间沿沟槽25滚动,以减小支撑块14在滑道11上滑动时的摩擦阻力,便于在切割时省时省力,提高切割效率,所述电机9的转速为2450r/min,所述刀片4的厚度0.65mm,以防止刀片4在切割过程中发生抖动,保证刀片4的刚度,进一步降低损耗,所述操作台32顶端外侧表面覆盖有透明防护罩27,所述操作台32的进料口2一侧外部设置有可折叠照明灯28,所述操作台32前表面中部位置设置有圆孔29,圆孔29至少为两个,便于操作人员的双手伸入,进行操作,圆孔29外侧表面设置有防水橡胶皮挡片30,所述操作台32进料口2及出料口3处设置有防水橡胶皮挡片30,所述支撑块14未连接夹持块10的一侧底端设置有手柄17,所述支撑机架1前表面设置有对开门31,以便于维修保养支撑机架1内部零件以及更换水槽18,回收切割产生的多晶废料。

当需要进行规格为:上宽≈21mm,下宽≈26mm,高≈23mm的锗锭的切割工作时,选择厚度为0.65mm的刀片4,套在转轴5外侧,刀片4与转轴5之间设置环形垫块6,扭紧六角螺栓7,使刀片4紧固安装,根据装料规定的尺寸量好锗锭的长度后,按照以下步骤进行切割:

(1)将锗锭从进料口2放入,然后通过扭紧紧固螺丝13,使紧固条12收紧,将锗锭固定在夹持块10顶端,使刀片4两侧在切割时受力均匀,而不会发生抖动,减小刀片4使用时的损耗,延长刀片4寿命;

(2)启动电机9,调节电机9转速为2450r/min,刀片4开始工作,双手握住手柄17,将夹持块10从外往里慢慢推入,多晶棒料抵达刀片4处以进行切割,此过程中开启水泵24,将水槽18内的水抽出,通过喷嘴23淋洒至刀片4处进行降温;

(3)切割完成后,迅速抽回夹持块10,扭松紧固螺丝13,将切割好的锗锭从出料口3送出,完成锗锭的切割工作。

本实施例1切割锗锭的情况与其他切割方法的比较如表1所示。

实施例2:一种立式多晶棒料切割机,该切割机包括操作台32和支撑机架1,操作台32设置在支撑机架1顶端;所述的操作台32两端分别设置有进料口2和出料口3,便于在切割多晶棒料时的放料取料,操作台32内部设置有夹持部和切割部;所述的切割部包括刀片4、转轴5、环形垫块6、六角螺栓7、传动轴8和电机9,所述的刀片4为环形结构,刀片4两侧设置环形垫块6,转轴5穿过刀片4和环形垫块6的同心孔,使刀片4和环形垫片6均套在转轴5上,且环形垫块6上设有螺母,所述的六角螺栓7与螺母相匹配,并通过螺母安装在环形垫块6上,所述的转轴5底端连接传动轴8,传动轴8另一端连接电机9;所述的夹持部为两个,分别对称设置在刀片4两侧,所述的夹持部包括夹持块10、滑道11、紧固条12和紧固螺丝13,所述的滑道11顶端凸设有半圆形滑轨15,夹持块10一侧底端设置有支撑块14,支撑块14底部凹设有滑孔16,滑孔16与滑轨15相匹配,支撑块14通过滑孔15穿过滑轨15在滑道11顶端滑动,夹持块10远离支撑块14一侧顶端设置紧固条12,紧固条12外侧表面设置紧固螺丝13;所述的支撑机架1内部设置有水槽18,水槽18上方设置有下水管19和可弯曲定型抽水管20,操作台32底面设置有通孔21和下水口22,可弯曲定型抽水管20贯穿通孔21,其顶端管口处设置有喷嘴23,喷嘴23位置位于刀片4上方,以便于在切割时在刀片4上方位置进行淋水,防止刀片4切割过热而降低使用寿命,可弯曲定型抽水管20下部位置设置有水泵24,且抽水管底端管口位于水槽18内,下水口22连接下水管19,下水管19底端出口位于水槽18内部,滑轨15表面设置有数条条形沟槽25,沟槽25内设置有钢球26,钢球26为数个,在滑轨15与滑孔16之间沿沟槽25滚动,以减小支撑块14在滑道11上滑动时的摩擦阻力,便于在切割时省时省力,提高切割效率,所述电机9的转速为2450r/min,所述刀片4的厚度0.5mm,以防止刀片4在切割过程中发生抖动,保证刀片4的刚度,进一步降低损耗,所述操作台32顶端外侧表面覆盖有透明防护罩27,所述操作台32进料口2一侧外部设置有可折叠照明灯28,所述操作台32前表面中部位置设置有圆孔29,圆孔29至少为两个,便于操作人员的双手伸入,进行操作,圆孔29外侧表面设置有防水橡胶皮挡片30,所述操作台32进料口2及出料口3处设置有防水橡胶皮挡片30,所述支撑块14未连接夹持块10的一侧底端设置有手柄17,所述支撑机架1前表面设置有对开门31,以便于维修保养支撑机架1内部零件以及更换水槽18,回收切割产生的多晶废料。

当需要进行规格为:approx75±3×65±5mm的磷化铟多晶棒料的切割工作时,选择厚度为0.5mm的刀片4,套在转轴5外侧,刀片4与转轴5之间设置环形垫块6,扭紧六角螺栓7,使刀片4紧固安装,根据装料规定的尺寸量好锗锭的长度后,按照以下步骤进行切割:

(1)将磷化铟多晶棒料从进料口2放入,然后通过扭紧紧固螺丝13,使紧固条12收紧,将磷化铟多晶棒料固定在夹持块7顶端,使刀片4两侧在切割时受力均匀,而不会发生抖动,减小刀片4使用时的损耗,延长刀片4寿命;

(2)启动电机9,调节电机9转速为2600r/min,刀片4开始工作,双手握住手柄17,将夹持块10从外往里慢慢推入,多晶棒料抵达刀片4处以进行切割,此过程中可开启水泵24,将水槽18内的水抽出,通过喷嘴23淋洒至刀片4处进行降温;

(3)切割完成后,迅速抽回夹持块10,扭松紧固螺丝13,将切割好的磷化铟多晶棒料从出料口3送出,完成磷化铟多晶棒料的切割工作。

本实施例2切割磷化铟多晶棒料的情况与其他切割方法的比较如表2所示。

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