一种多晶硅开方机的制作方法

文档序号:14945503发布日期:2018-07-17 21:11阅读:443来源:国知局

本发明属于多晶硅专用切割设备技术领域,特别涉及一种多晶硅开方机。



背景技术:

多晶硅是最主要的光伏材料,随着新能源技术的不断发展,多晶硅的需求量也越来越大。由于多晶硅的硬度极高,在开方、切片时很容易发生脆裂、崩边等引起产品质量下降以致报废。现有的开方机有效减少了多晶硅切片时的脆裂、崩边,提高了产品质量,但是现有的开方机通常单线单工位开方,效率低,经济效益差。

专利号为cn104708719b的一种双头摇摆式蓝宝石晶圆开方机,包括放线机构、收线机构、相互成90度或180度夹角设置的两个切割机头、切割机头升降机构和回转工作台,放线机构和收线机构分别位于机架的两端,两个切割机头位于机架的中部,回转工作台的回转角度为90度或180度或270度或360度,回转工作台所包括的第一工作台和第二工作台分别位于两个切割机头下方,本发明切割机头在切割过程中可以小幅摇摆,在摆动过程中金刚石线所切割的工件截面相对于固定不动时大大的减小,从而提高了单位面积的下压力,提升了切割效率,采用了切割机头在上工件在下的切割方式,方便工件装夹,加工时金刚石线从上往下进给。但是在切割过程中需要大量的金刚石线锯进行加工,加工过程中也不能够对宝石的加工进行精准控制。



技术实现要素:

本发明所要解决的技术问题是,根据上述背景技术所描述的技术问题,提供一种切割精度高、加工效率高的多晶硅开方机。

本发明采用的技术方案是,一种多晶硅开方机,其特征在于:包括机箱、冷却液箱、放线机构、收线机构、移动装置、固定装置,所述冷却液箱设置在所述机箱的顶部,所述移动装置设置在所述机箱底部,所述移动装置包括x轴移动轨道、y轴移动轨道、z轴移动装置,所述x轴移动轨道固定在所述机箱底部,所述x轴移动轨道与所述y轴移动轨道垂直设置,所述x轴移动轨道一端设置有1号电动缸,所述1号电动缸的运行方向与所述x轴移动轨道相同,所述y轴移动轨道底部设置有1号滑块,所述1号滑块设置在所述x轴移动轨道内部,所述1号电动缸与所述1号滑块相连接,所述y轴移动轨道一端设置有2号电动缸,所述2号电动缸的运行方向与所述y轴移动轨道相同,所述z轴移动装置底部设置有2号滑块,所述2号滑块设置在所述y轴移动轨道内部,所述2号电动缸与所述2号滑块相连接,所述z轴移动装置上竖向设置有3号电动缸,所述3号电动缸上固定有转动电机,所述转动电机上安装有所述固定装置,所述固定装置四方各设置有一组4号电动缸;所述放线机构、收线机构分别设置在所述固定装置的两侧,所述放线机构、收线机构上绕置有金刚石线锯,可在所述放线机构、收线机构的带动下对所述固定装置上固定的多晶硅进行切割,所述金刚石线锯上方设置有冷却液管,所述冷却液管与所述的冷却液箱连接,所述机箱底部设置有水泵,所述水泵与所述的冷却液箱连接。

进一步的,所述的1号电动缸、2号电动缸、3号电动缸、转动电机与微电子控制单元相连接,所述微电子控制单元与操作面板相连接,所述操作面板设置在所述机箱外部。

进一步的,所述机箱四壁均设置有机箱门。

进一步的,所述机箱底部设置有地脚固定架。

本发明与现有技术相比,具有以下的有益效果,本发明中的所述x轴移动轨道、y轴移动轨道、z轴移动装置的设计结构,能够保证所述固定装置上固定的多晶硅能够移动至所述x轴移动轨道、y轴移动轨道、z轴移动装置范围内的任何空间上,保证了所述放线机构、收线机构上安装的金刚石线锯对多晶硅进行准确的切割,所述金刚石线锯上方设置有冷却液管,可对金刚石线锯进行降温处理,所述冷却液管与所述的冷却液箱连接,所述机箱底部设置的水泵将机箱底部的冷却液泵至所述冷却液箱,对冷却液重复使用的同时保证金刚石线锯进行降温。本发明中采用的移动装置,移动精度高能够实现准确控制,增加了对多晶硅切割的准确度,同时提高了加工效率。

附图说明

图1是本发明的结构示意图;

图2是图1中a-a剖视图。

图中:01、机箱02、冷却液箱03、放线机构04、收线机构05、移动装置06、固定装置07、x轴移动轨道08、y轴移动轨道09、z轴移动装置10、1号电动缸11、1号滑块12、2号电动缸13、2号滑块14、3号电动缸15、转动电机16、4号电动缸17、金刚石线锯18、冷却液管19、水泵20、机箱门21、地脚固定架。

具体实施方式

下面通过具体实施例,并结合附图对本发明做进一步的说明:

如附图所示,一种多晶硅开方机,包括机箱01、冷却液箱02、放线机构03、收线机构04、移动装置05、固定装置06,所述冷却液箱02设置在所述机箱01的顶部,所述移动装置05设置在所述机箱01底部,所述移动装置05包括x轴移动轨道07、y轴移动轨道08、z轴移动装置09,所述x轴移动轨道07固定在所述机箱01底部,所述x轴移动轨道07与所述y轴移动轨道08垂直设置,所述x轴移动轨道07一端设置有1号电动缸10,所述1号电动缸10的运行方向与所述x轴移动轨道07相同,所述y轴移动轨道08底部固定连接有1号滑块11,所述1号滑块11设置在所述x轴移动轨道07内部,并可沿x轴移动轨道07滑动,所述1号电动缸10与所述1号滑块11相连接,所述y轴移动轨道08一端设置有2号电动缸12,所述2号电动缸12的运行方向与所述y轴移动轨道08相同,所述z轴移动装置09底部固定连接有2号滑块13,所述2号滑块13设置在所述y轴移动轨道08内部并可在y轴移动轨道08内滑动,所述2号电动缸12与所述2号滑块13相连接,所述z轴移动装置09上设置有竖向设置的3号电动缸14,所述3号电动缸14上固定有转动电机15,所述转动电机15上安装有固定装置06,所述固定装置06四方各设置有一组4号电动缸16,4组4号电动缸可对多晶硅进行固定;所述放线机构03、收线机构04分别设置在所述固定装置06的两侧,所述放线机构03、收线机构04上绕置有金刚石线锯17,可在所述放线机构03、收线机构04的带动下对所述固定装置06上固定的多晶硅进行切割,所述金刚石线锯17上方设置有冷却液管18,所述冷却液管18与所述的冷却液箱02连接,所述机箱01底部设置有水泵19,所述水泵19与所述的冷却液箱02连接。

进一步的,为便于控制,所述的1号电动缸10、2号电动缸12、3号电动缸14、转动电机15与微电子控制单元相连接,所述微电子控制单元与操作面板相连接,所述操作面板设置在所述机箱01外部。

进一步的,所述机箱01四壁均设置有机箱门20,所述机箱门20打开时,可将多晶硅放置在所述的固定装置06上,所述机箱门20关闭时,可对固定的多晶硅进行加工。

进一步的,所述机箱01底部设置有地脚固定架21。

结合图1、图2对本发明的有益效果进行说明,所述x轴移动轨道07、y轴移动轨道08、z轴移动装置09的设计结构,能够保证所述固定装置06上固定的多晶硅能够移动至所述x轴移动轨道07、y轴移动轨道08、z轴移动装置09范围内的任何空间上,保证了所述放线机构03、收线机构04上安装的金刚石线锯17对多晶硅进行准确的切割,所述金刚石线锯17上方设置有冷却液管18,可对金刚石线锯17进行降温处理,所述冷却液管18与所述的冷却液箱02连接,所述机箱01底部设置的水泵19将机箱01底部的冷却液泵至所述冷却液箱02,对冷却液重复使用的同时保证金刚石线锯17进行降温,提高了对多晶硅切割的准确度,同时提高了加工效率。

结合图1、图2对本发明的使用方法及工作原理进行说明,本发明在工作时,将多晶硅放置在所述的固定装置06上,通过操作所述的4号电动缸16对多晶硅进行固定;开启所述的放线机构03、收线机构04对多晶硅进行切割,所述的x轴移动轨道07、y轴移动轨道08、z轴移动装置09、转动电机15进行控制移动,保证金刚石线锯17在对移动的多晶硅进行切割,达到理想的切割效果;在切割的同时将所述的冷却液箱02打开,通过冷却液管18对所述的金刚石线锯17进行降温。

本实施例中的其他部分均为现有技术,在此不再赘述。

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