立式截断机晶锭截断支持装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种立式截断机晶锭截断支持装置。


背景技术：

2.单晶硅棒在进行分段时，会存在崩边的现象，根据调查发现，造成崩边的问题由如下原因导致：1、晶棒截断时，当将要截断完成时，晶锭相连端的结合力小于晶锭本身的重量；2、晶锭加工时，成品端的支撑装置靠晶棒的牵引进行移动，此时会造成晶锭崩边；3、晶锭与支持装置接触的位置，环抱晶锭，受力不均匀导致晶锭崩边。


技术实现要素：

3.有鉴于此，有必要提供一种立式截断机晶锭截断支持装置。
4.一种立式截断机晶锭截断支持装置，包括加工台连接手臂、晶锭夹持组件，所述加工台连接手臂的一端固定设置有加工台连接板，加工台连接板与立式截断机固定连接，加工台连接手臂的另一端与晶锭夹持组件固定连接，所述晶锭夹持组件包括移动支撑部件、固定支撑部件、支撑底板，所述支撑底板与加工台连接手臂远离加工台连接板的一端固定连接，所述移动支撑部件、固定支撑部件分别对象设置在支撑底板上，固定支撑部件与支撑底板固定连接，移动支撑部件与支撑底板滑动连接，且移动支撑部件能够沿支撑底板向远离固定支撑部件的一侧滑动。
5.优选的，所述支撑底板上固定设置有连接座，连接座沿支撑底板的短边方向设置，支撑底板远离连接座的一侧开设有滑槽，滑槽沿支撑底板的场边方向设置。
6.优选的，所述连接座的上部表面上设置有t形卡接槽，卡接槽沿连接座的场边方向设置。
7.优选的，所述固定支撑部件包括固定支持块，固定支撑块呈直角三棱柱状，固定支撑块的倾斜面上固定设置有第一柔性支撑件，固定支撑块的底部表面上固定设置有t形连接条，连接条卡入到卡接槽内，将固定支撑块与连接座相连接。
8.优选的，所述固定支撑块的倾斜面上开设有第一固定槽，第一柔性支撑件嵌入到第一固定槽内，从而将第一柔性支撑件固定。
9.优选的，所述移动支撑部件包括移动支撑块，移动支撑块呈直角三棱柱状，移动支撑块的倾斜面上固定设置有第二柔性支撑件，移动支撑块的底部表面上固定设置有滑块，滑块嵌入到支撑底板上的滑槽内，并能够沿滑槽相对滑动。
10.优选的，所述移动支撑块的倾斜面上开设有第二固定槽，第二柔性支撑件嵌入到第二固定槽内，从而将第二柔性支撑件固定。
11.优选的，所述支撑底板的底部表面上固定设置有辊轮。
12.优选的，所述加工台连接手臂呈c形。
13.本实用新型采用上述技术方案，其有益效果在于：本实用新型在使用的时候，是将
加工台连接手臂通过加工台连接板固定在立式截断机上，在立式截断机移动的时候，可以促使晶锭夹持组件和立式截断机的加工台以相同的速度移动；利用移动支撑部件、固定支撑部件的相互配合，将晶棒夹持，可以更好地环抱晶棒，消除晶棒本体与晶锭之间存在的位置差异，减小重力引起的崩边，并且更好地减小截断时晶锭的震动情况，而且移动支撑部件、固定支撑部件的距离是可调节的，可以根据晶棒尺寸来调节移动支撑部件的位置。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图。
15.图2为图1另一角度的结构示意图。
16.图3为本实用新型加工台连接手臂、支撑底板、加工台连接板连接的结构示意图。
17.图4为本实用新型移动支撑部件的结构示意图。
18.图5为本实用新型固定支撑部件的结构示意图。
19.图中：加工台连接手臂01、晶锭夹持组件02、移动支撑部件21、移动支撑块211、第二柔性支撑件212、第二固定槽213、滑块214、固定支撑部件22、固定支持块221、第一柔性支撑件222、连接条223、第一固定槽224、支撑底板23、连接座231、卡接槽232、辊轮233、滑槽234、加工台连接板03。
具体实施方式
20.请参看图1至图5，本实用新型实施例提供了一种立式截断机晶锭截断支持装置，包括加工台连接手臂01、晶锭夹持组件02，所述加工台连接手臂01呈c形，加工台连接手臂01的一端固定设置有加工台连接板03，加工台连接板03与立式截断机固定连接，在安装的时候，可以采用螺栓连接的方式将加工台连接板03与立式截断机固定，加工台连接手臂01的另一端与晶锭夹持组件02固定连接，所述晶锭夹持组件02包括移动支撑部件21、固定支撑部件22、支撑底板23，所述支撑底板23与加工台连接手臂01远离加工台连接板03的一端固定连接，支撑底板23的底部表面上固定设置有辊轮233，不仅可以消除晶锭重量导致的工装震动和相对位置发生变化，而且还可以在立式截断机的加工台与晶锭夹持组件02一起移动的时候，方便晶锭夹持组件02移动。所述移动支撑部件21、固定支撑部件22分别对象设置在支撑底板23上，固定支撑部件22与支撑底板23固定连接，移动支撑部件21与支撑底板23滑动连接，且移动支撑部件21能够沿支撑底板23向远离固定支撑部件22的一侧滑动，针对不同的晶棒尺寸，我们可以通过调节移动支撑部件21，使移动支撑部件21、固定支撑部件22之间的距离可根据晶棒尺寸调节，从而利用移动支撑部件21、固定支撑部件22的相互配合，将晶棒夹持，可以更好地环抱晶棒，消除晶棒本体与晶锭之间存在的位置差异，减小重力引起的崩边。
21.所述支撑底板23上固定设置有连接座231，连接座231沿支撑底板23的短边方向设置，支撑底板23远离连接座231的一侧开设有滑槽234，滑槽234沿支撑底板23的场边方向设置。所述连接座231的上部表面上设置有t形卡接槽232，卡接槽232沿连接座231的场边方向设置。
22.所述固定支撑部件22包括固定支持块221，固定支撑块呈直角三棱柱状，固定支撑块的倾斜面上固定设置有第一柔性支撑件222，固定支撑块的底部表面上固定设置有t形连
接条223，连接条223卡入到卡接槽232内，将固定支撑块与连接座231相连接。所述固定支撑块的倾斜面上开设有第一固定槽224，第一固定槽224沿固定支撑块的长边方向设置，第一柔性支撑件222嵌入到第一固定槽224内，从而将第一柔性支撑件222固定。增加第一柔性支撑件222，可以更好地减小截断时晶锭的震动情况。
23.所述移动支撑部件21包括移动支撑块211，移动支撑块211呈直角三棱柱状，移动支撑块211的倾斜面上固定设置有第二柔性支撑件212，移动支撑块211的底部表面上固定设置有滑块214，滑块214嵌入到支撑底板23上的滑槽234内，并能够沿滑槽234相对滑动。所述移动支撑块211的倾斜面上开设有第二固定槽213，第二柔性支撑件212嵌入到第二固定槽213内，从而将第二柔性支撑件212固定。增加第二柔性支撑件212，在将晶棒夹持后，利用第一柔性支撑件222、第二柔性支撑件212，使晶棒正好紧贴第一柔性支撑件222、第二柔性支撑件212，可以更好地减小截断时晶锭的震动情况。
24.以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。