一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备的制作方法

1.本实用新型涉及硅芯加工技术领域，尤其涉及一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备。


背景技术：

2.方硅芯一个直径75mm的硅片，可集成几万至几十万甚至几百万个元件，形成了微电子学，从而出现了微型计算机、微处理机等，由于当前信息工程的发展，硅主要用于微电子技术，以硅晶闸管为主的电力半导体器件，元件越做越大，与硅晶体管相比集成电路正相反。
3.现有的方硅芯加工分为有多道工序，通常使用的双向线切割设备，对于方硅芯切割工作区域防护效果较差，切割处理工作过程中产生的光线易造成对工作区域外造成污染，而且由于对方硅芯与切割器间距调节较为繁琐，影响对方硅芯切割处理工作效率。
4.因此，需要一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备，用以解决对方硅芯切割处理工作效率较低且工作区域防护效果较差的问题。


技术实现要素：

5.本实用新型提出的一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备，解决了对方硅芯切割处理工作效率较低且工作区域防护效果较差的问题。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备，包括加工台，所述加工台还包括
7.支撑架，所述支撑架固定于所述加工台顶端侧壁，所述支撑架靠近加工台的一侧侧壁固定有切割器，所述加工台顶端侧壁滑动连接有承载板，所述承载板一侧侧壁固定有两个呈对称分布的把手；
8.支架，所述支架设置有两个，两个所述支架均固定于所述加工台外侧侧壁，所述支架顶端侧壁固定有安装板，所述安装板顶端侧壁固定有伺服电机，所述伺服电机的输出轴一端设置有与所述加工台相适配的防护组件。
9.优选的，所述防护组件包括
10.空腔，所述空腔开设于所述加工台一侧侧壁，所述空腔内部固定有两个呈对称分布的支撑套，所述支撑套内部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端与伺服电机的输出轴同轴设置，所述螺纹杆外螺纹处螺纹连接有螺纹套；
11.通槽，所述通槽开设于所述加工台顶端侧壁，所述通槽内部滑动连接导向板，所述导向板一侧侧壁与所述螺纹套固定，所述导向板远离螺纹套的一侧侧壁与所述承载板固定；
12.安装套，所述安装套设置有多个，多个所述安装套均固定于所述支撑架一侧侧壁，所述安装套内部转动连接有转轴a，所述转轴a外表面紧固套接有两个呈对称分布的直齿轮a，所述支撑架一侧侧壁滑动连接有遮光板，所述遮光板一侧侧壁固定有两个呈对称分布的
齿形板，所述齿形板与所述直齿轮a啮合连接；
13.转轴b，所述转轴b与两个所述支撑套内部转动连接，所述转轴b与所述螺纹杆同一端均设置有直齿轮b，两个所述直齿轮b相互啮合连接，所述转轴b与其中一个所述转轴a之间均设置有带轮a，两个所述带轮a外表面套接有皮带a，所述螺纹杆与其中一个所述转轴a之间设置有带轮b，两个所述带轮b外表面套接有皮带b。
14.优选的，所述支撑架一侧侧壁开设有两个呈对称分布的通道，所述遮光板与所述通道内部滑动连接。
15.优选的，所述承载板顶端侧壁开设有凹槽，所述凹槽内部固定有两个呈对称分布的弹簧，所述弹簧远离所述凹槽的一端固定有卡块，所述卡块靠近弹簧的一端呈倾斜角设置。
16.优选的，所述承载板底端固定有两个呈对称分布的滑块，所述加工台顶端侧壁开设有两个呈对称分布的滑槽，所述滑块与所述滑槽内部滑动连接。
17.优选的，两个所述遮光板的尺寸值与所述支撑架一侧相适配，两个所述遮光板位于所述切割器两侧。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
19.1、本实用新型中通过滑块跟随承载板同步移动，配合滑块与滑槽内滑动，有效提升承载板在移动过程中的稳定性，通过承载板带动方硅芯移动，能够起到精准且有效的调节方硅芯的移动间距，继而能够有效提升方硅芯切割处理工作效率，避免人工在调节方硅芯间距时造成误伤的情况。
20.2、本实用新型中通过直齿轮a与齿形板啮合传动作用，配合遮光板与通道内滑动，使得遮光板跟随齿形板同步移动，继而实现在承载板向切割器方向移动，与此同时遮光板向下移动，能够对方硅芯切割时产生的光线遮挡，对非工作区域进行防护，减少对工作人员在操作时的安全隐患。
附图说明
21.图1为本实用新型提出的一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备的整体结构示意图；
22.图2为本实用新型提出的一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备的侧视结构示意图；
23.图3为本实用新型提出的一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备的侧剖结构示意图；
24.图4为图3中a区域放大图。
25.图中：1、加工台；2、支撑架；3、切割器；4、承载板；5、把手；6、支架；7、安装板；8、伺服电机；9、防护组件；91、空腔；92、支撑套；93、螺纹杆；94、螺纹套；95、通槽；96、导向板；97、安装套；98、转轴a；99、直齿轮a；910、遮光板；911、齿形板；912、转轴b；913、直齿轮b；914、带轮a；915、皮带a；916、带轮b；917、皮带b；10、通道；11、凹槽；12、弹簧；13、卡块；14、滑块；15、滑槽。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
27.参照图1-4，一种方硅芯用多晶硅双向线切割设备，包括加工台1，加工台1还包括支撑架2，支撑架2固定于加工台1顶端侧壁，支撑架2靠近加工台1的一侧侧壁固定有切割器3，加工台1顶端侧壁滑动连接有承载板4，承载板4一侧侧壁固定有两个呈对称分布的把手5；支架6，支架6设置有两个，两个支架6均固定于加工台1外侧侧壁，支架6顶端侧壁固定有安装板7，安装板7顶端侧壁固定有伺服电机8，伺服电机8的输出轴一端设置有与加工台1相适配的防护组件9。
28.其中防护组件9包括空腔91，空腔91开设于加工台1一侧侧壁，空腔91内部固定有两个呈对称分布的支撑套92，支撑套92内部转动连接有螺纹杆93，螺纹杆93一端与伺服电机8的输出轴同轴设置，螺纹杆93外螺纹处螺纹连接有螺纹套94；通槽95，通槽95开设于加工台1顶端侧壁，通槽95内部滑动连接导向板96，导向板96一侧侧壁与螺纹套94固定，导向板96远离螺纹套94的一侧侧壁与承载板4固定；安装套97，安装套97设置有多个，多个安装套97均固定于支撑架2一侧侧壁，安装套97内部转动连接有转轴a98，转轴a98外表面紧固套接有两个呈对称分布的直齿轮a99，支撑架2一侧侧壁滑动连接有遮光板910，遮光板910一侧侧壁固定有两个呈对称分布的齿形板911，齿形板911与直齿轮a99啮合连接；转轴b912，转轴b912与两个支撑套92内部转动连接，转轴b912与螺纹杆93同一端均设置有直齿轮b913，两个直齿轮b913相互啮合连接，转轴b912与其中一个转轴a98之间均设置有带轮a914，两个带轮a914外表面套接有皮带a915，螺纹杆93与其中一个转轴a98之间设置有带轮b916，两个带轮b916外表面套接有皮带b917，通过遮光板910跟随齿形板911同步移动，继而实现在承载板4向切割器3方向移动，与此同时遮光板910向下移动，能够对方硅芯切割时产生的光线遮挡，对非工作区域进行防护，减少对工作人员在操作时的安全隐患。
29.支撑架2一侧侧壁开设有两个呈对称分布的通道10，遮光板910与通道10内部滑动连接，通过遮光板910与通道10内滑动，不仅能够起到对遮光板910移动时的导向限位作用，而且还能够提升遮光板910移动时的稳定性，承载板4顶端侧壁开设有凹槽11，凹槽11内部固定有两个呈对称分布的弹簧12，弹簧12远离凹槽11的一端固定有卡块13，卡块13靠近弹簧12的一端呈倾斜角设置，配合弹簧12的弹力作用，继而起到便于使用者将方硅芯卡合安装作用。
30.承载板4底端固定有两个呈对称分布的滑块14，加工台1顶端侧壁开设有两个呈对称分布的滑槽15，滑块14与滑槽15内部滑动连接，通过滑块14跟随承载板4同步移动，配合滑块14与滑槽15内滑动，有效提升承载板4在移动过程中的稳定性，两个遮光板910的尺寸值与支撑架2一侧相适配，两个遮光板910位于切割器3两侧，通过两个遮光板910的设置，能够最大限度对方硅芯切割时的防护。
31.工作原理：在需要对方硅芯切割处理时，通过将方硅芯放置于承载板4上，将方硅芯与卡块13挤压，并配合弹簧12的弹力作用，继而起到便于使用者将方硅芯卡合安装作用，通过伺服电机8的驱动作用，使得螺纹杆93同步转动，并通过螺纹套94与螺纹杆93螺纹传动作用，配合导向板96与通槽95内滑动，不仅起到对螺纹套94的导向限位作用，继而提升螺纹
套94移动过程中的稳定性，使得螺纹套94跟随导向板96沿通槽95开设方向移动，带动承载板4同步移动，通过滑块14跟随承载板4同步移动，配合滑块14与滑槽15内滑动，有效提升承载板4在移动过程中的稳定性，通过承载板4带动方硅芯移动，能够起到精准且有效的调节方硅芯的移动间距，继而能够有效提升方硅芯切割处理工作效率，避免人工在调节方硅芯间距时造成误伤的情况，通过直齿轮b913啮合传动作用，使得转轴b912与螺纹杆93运转方向相反转动，通过带轮a914与皮带a915的传动作用，使得转轴b912与转轴a98同步转动，并通过带轮b916与皮带b917的传动作用，继而使得螺纹杆93与转轴b912同步转动，直齿轮a99跟随转轴a98同步转动，并利用直齿轮a99与齿形板911啮合传动作用，配合遮光板910与通道10内滑动，使得遮光板910跟随齿形板911同步移动，继而实现在承载板4向切割器3方向移动，与此同时遮光板910向下移动，能够对方硅芯切割时产生的光线遮挡，对非工作区域进行防护，减少对工作人员在操作时的安全隐患。
32.伺服电机(8)可采用市场购置，伺服电机(8)配有电源，在本领域属于成熟技术，已充分公开，因此说明书中不重复赘述。
33.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。