一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置的制作方法

1.本实用新型属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置。


背景技术：

2.碳化硅是一种无机物，是用石英砂、石油焦、木屑等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅是现今最受关注的第三代半导体材料之一，其在高温、高压、高频等条件下性能优异，在半导体照明光电器件、电力电子、射频微波器件、激光器和探测器件、太阳能电池和生物传感器等其他器件等方面展现出了巨大的潜力，碳化硅衬底片通常采用电镀金刚线切割碳化硅晶棒的方法来制备，然而在制备过程中可能会在碳化硅衬底片表面残留一些碎片残渣需要清理，然而传统的清理装置无法调整刷毛面积，无法对不同大小的碳化硅衬底片进行适配，所以市场上急需一种可以调整刷毛面积的碳化硅衬底片清理装置。
3.公开号为cn109585268a，公开日为2019-04-05的中国发明专利公开了一种碳化硅晶片的清洗方法，包括等离子清洗和湿法清洗步骤，包括spm洗、水洗、hpm洗、dhf洗和n2环境干燥等步骤。
4.虽然该发明具有等离子清洗和湿法清洗清洁程度高的优点；但是该发明还存在清理方式复杂的缺点。


技术实现要素：

5.本实用新型目的是提供一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置，本实用新型通过用于刷洗衬底片的刷毛单元，用于安装刷毛单元的刷头单元，以及设置在所述刷头单元上并用于调整刷毛单元位置的按动柱单元起到了调整刷毛面积的技术效果。本实用新型具有结构简单，使用方便，可通过一步按压操作的方式实现了初步清理模式向深度清理模式切换，并且通过一步简单的拉动作用即可实现深度清理模式向初步清理模式复位，同时设有弹簧结构使得复位过程自动化，以及设置限位结构保证内部零件不会脱离的优点。
6.本实用新型解决上述问题采用的技术方案是：一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置，包括用于刷洗衬底片的刷毛单元，用于安装所述刷毛单元的刷头单元，以及设置在所述刷头单元上并用于调整所述刷毛单元位置的按动柱单元。
7.进一步优选的技术方案在于：所述刷毛单元包括设置在所述刷头单元上的固定刷毛；所述刷头单元包括用于固定所述固定刷毛的刷头块。
8.进一步优选的技术方案在于：所述刷毛单元还包括设置在所述刷头块上的升降板，以及设置在所述升降板上的活动刷毛。
9.进一步优选的技术方案在于：所述刷头单元还包括设置在所述刷头块上的刷头块空腔，以及设置在所述刷头块空腔上并用于安装所述升降板的升降板孔。
10.进一步优选的技术方案在于：所述刷头单元还包括设置在所述刷头块上且与所述刷头块空腔连通并用于安装所述按动柱单元的按动柱孔；按动柱单元包括设置在所述按动
柱孔上并用于连接所述升降板的按动柱。
11.进一步优选的技术方案在于：所述按动柱单元还包括设置在所述按动柱上的按动块，以及设置在所述按动柱上并用于向上顶起所述按动块的按动柱弹簧。
12.进一步优选的技术方案在于：所述刷毛单元还包括设置在所述升降板侧面上的卡合块；所述刷头单元还包括设置在所述刷头块上且与所述刷头块空腔连通的卡合柱孔，以及设置在所述卡合柱孔上并用于卡合所述卡合块的卡合柱。
13.进一步优选的技术方案在于：所述刷头单元还包括设置在所述卡合柱上的弹簧板，以及设置在所述弹簧板上并用于顶起所述刷头块空腔内侧面的卡合柱弹簧。
14.进一步优选的技术方案在于：所述刷头单元还包括设置在所述刷头块上的安装筒，以及设置在所述安装筒上并用于安装所述按动块的按动块孔。
15.进一步优选的技术方案在于：所述刷头单元还包括设置在所述按动块上并用于顶起所述安装筒内侧面的卡合板。
16.本实用新型通过用于刷洗衬底片的刷毛单元，用于安装刷毛单元的刷头单元，以及设置在所述刷头单元上并用于调整刷毛单元位置的按动柱单元起到了调整刷毛面积的技术效果。本实用新型具有结构简单，使用方便，可通过一步按压操作的方式实现了初步清理模式向深度清理模式切换，并且通过一步简单的拉动作用即可实现深度清理模式向初步清理模式复位，同时设有弹簧结构使得复位过程自动化，以及设置限位结构保证内部零件不会脱离的优点。
附图说明
17.图1为本实用新型中刷头装置处于初步清理状态的结构示意图。
18.图2为本实用新型中刷头装置处于深度清理状态的结构示意图。
19.图3为本实用新型中刷头装置内部剖面图的结构示意图。
具体实施方式
20.以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的范围进行限定。
21.实施例：如附图1、2以及附图3所示，一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置，包括用于刷洗衬底片a的刷毛单元1，用于安装所述刷毛单元1的刷头单元2，以及设置在所述刷头单元2上并用于调整所述刷毛单元1位置的按动柱单元3。
22.在本实施例中，所述刷毛单元1采用质地较软且不产生静电的材料制备而成，可为衬底片a的后续深度清理步骤做初步处理，所述刷头单元2用于固定所述刷毛单元1位于同一平面上，所述按动柱单元3设置在所述刷头单元2上并用于调整所述刷毛单元1的高度位置，当衬底片a上的颗粒较多不好去除时，可通过按动所述按动柱单元3增加所述刷毛单元1工作刷毛数量的方式以实现深度清理的效果。
23.所述刷毛单元1包括设置在所述刷头单元2上的固定刷毛101；所述刷头单元2包括用于固定所述固定刷毛101的刷头块201。
24.在本实施例中，所述固定刷毛101设置在所述刷头块201的底部靠近边缘的位置，用于初步清理衬底片a上残留颗粒。
25.所述刷毛单元1还包括设置在所述刷头块201上的升降板102，以及设置在所述升
降板102上的活动刷毛103。
26.在本实施例中，所述升降板102设置在所述刷头块201上，并可通过上下移动固定在其上的所述活动刷毛103以调整所述活动刷毛103是否工作，当所述升降板102移动到最低点位置时，所述活动刷毛103与所述固定刷毛101最低处处于同一平面上，实现了同时工作的效果。
27.所述刷头单元2还包括设置在所述刷头块201上的刷头块空腔202，以及设置在所述刷头块空腔202上并用于安装所述升降板102的升降板孔203。
28.在本实施例中，所述升降板102固定在所述升降板孔203上并且可通过上升作用将所述活动刷毛103在不工作时拉入所述刷头块空腔202中进行暂时的收纳。
29.所述刷头单元2还包括设置在所述刷头块201上且与所述刷头块空腔202连通并用于安装所述按动柱单元3的按动柱孔204；按动柱单元3包括设置在所述按动柱孔204上并用于连接所述升降板102的按动柱301。
30.在本实施例中，所述按动柱301用于调整所述升降板102的高度位置，按下所述按动柱301使得所述升降板102到达最低处，拉起所述按动柱301使得所述升降板102上升到达最高处。
31.所述按动柱单元3还包括设置在所述按动柱301上的按动块302，以及设置在所述按动柱301上并用于向上顶起所述按动块302的按动柱弹簧303。
32.在本实施例中，所述按动块302增大了所述按动柱301顶部的接触面积，使得按动过程产生的压强更小，并且所述按动柱弹簧303通过向上顶起所述按动块302使得带动所述按动柱301在不受按压作用下自动上升复位。
33.所述刷毛单元1还包括设置在所述升降板102侧面上的卡合块104；所述刷头单元2还包括设置在所述刷头块201上且与所述刷头块空腔202连通的卡合柱孔205，以及设置在所述卡合柱孔205上并用于卡合所述卡合块104的卡合柱206。
34.在本实施例中，所述卡合柱206通过卡合设置在所述升降板102侧面上的所述卡合块104的方式，使得所述升降板102在到达最低处时被固定，这样所述活动刷毛103也实现了固定。
35.所述刷头单元2还包括设置在所述卡合柱206上的弹簧板207，以及设置在所述弹簧板207上并用于顶起所述刷头块空腔202内侧面的卡合柱弹簧208。
36.在本实施例中，所述卡合柱弹簧208将所述卡合柱206始终向内顶起，使得所述卡合柱206与所述卡合块104牢牢卡合在一起，当需要解除卡合作用时，只需要向外拉动所述卡合柱206即可使得所述卡合柱206与所述卡合块104脱离卡合，使得所述升降板102复位。
37.所述刷头单元2还包括设置在所述刷头块201上的安装筒209，以及设置在所述安装筒209上并用于安装所述按动块302的按动块孔210。
38.在本实施例中，所述安装筒209实现了固定所述按动块302的作用，并通过所述按动块孔210使得所述按动块302在按动的过程中不会左右晃动。
39.所述刷头单元2还包括设置在所述按动块302上并用于顶起所述安装筒209内侧面的卡合板211。
40.在本实施例中，所述卡合板211设置在所述安装筒209中并从内侧向上顶起所述安装筒209内侧面，因为所述卡合板211的宽度比所述按动块孔210的直径更大，这样所述卡合
板211便不会从所述安装筒209中脱出，这样一来所述按动块302便被固定在所述安装筒209中。
41.上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施方式，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种修改。这些都是不具有创造性的修改，只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。