一种切割头刀片水冷机构的制作方法

1.本实用新型属于半导体技术领域，特别涉及一种切割头刀片水冷机构。


背景技术：

2.随着我国半导体行业的快速崛起，芯片制造各项工艺也在快速发展，对于芯片制造的技术机产量质量都有更一步的要求，传统切割机械在对封装芯片进行切割时，常因刀片长时间连续运转，导致刀片过热，刀片在高温高负载的状态下运行，容易发生破损，导致破损的刀片或飞溅对产品造成损伤；高温刀片在对产品进行切割时，因刀片温度过高也会对切割产品的切割边角产生粘黏现象，造成不良品，给加工生产带来不小影响。因此，亟需提供一种切割头刀片水冷机构，来克服上述缺陷中的至少一种。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本实用新型公开了一种切割头刀片水冷机构，包括：切割头、固定块、进水侧板、水冷喷淋机构和切割刀片；
4.所述固定块安装于切割头表面；
5.所述水冷喷淋机构设置于切割刀片四周；
6.所述进水侧板设置于水冷喷淋机构外侧。
7.更进一步地，还包括：正面防护块；
8.所述正面防护块安装于固定块表面。
9.更进一步地，所述进水侧板包括第一进水侧板、第二进水侧板和第三进水侧板；
10.所述第一进水侧板安装于固定块一侧；
11.所述第二进水侧板安装于第一进水侧板另一侧；
12.所述第三进水侧板安装于固定块第一表面。
13.更进一步地，还包括：调节角度块；
14.所述调节角度块转动安装于第三进水侧板下方。
15.更进一步地，还包括：调节角度固定块；
16.所述调节角度固定块转动安装于调节角度块下方。
17.更进一步地，还包括：防坠螺栓；
18.所述防坠螺栓穿过第二进水侧板安装于第一进水侧板上。
19.更进一步地，还包括：防溅挡板；
20.所述防溅挡板安装于第二进水侧板一侧。
21.更进一步地，所述水冷喷淋机构包括第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管和第四喷淋管；
22.所述第一喷淋管安装于第二进水侧板下方；
23.所述第二喷淋管安装于第一进水侧板下方；
24.所述第三喷淋管安装于调节角度固定块下方；
25.所述第四喷淋管安装于固定块下方。
26.更进一步地，还包括：第一管接头、第二管接头、第三管接头和第四管接头；
27.所述第一管接头安装于第三进水侧板上方；
28.所述第二管接头安装于第一进水侧板左侧；
29.所述第三管接头安装于第一进水侧板后侧；
30.所述第四管接头安装于固定块后侧。
31.更进一步地，所述第一管接头通过管道依次与调节角度块、调节角度固定块和第三喷淋管连接；
32.所述第二管接头通过管道与第二喷淋管连接；
33.所述第三管接头通过管道与第一喷淋管连接；
34.所述第四管接头通过管道与第四喷淋管连接。
35.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
36.1)采用多点喷淋冷却的方式，让切割刀片能够在更多的方向上受到喷淋冷却，不会产生局部冷却不到的情况；
37.2)采用可调节角度带有小孔的喷淋管设计，能够适应兼容不同大小轴径的切割刀片；
38.3)使用多模块组装的形式，对应局部部件损伤更换更加方便快捷。
39.本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
附图说明
40.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
41.图1示出了根据本实用新型实施例切割头刀片水冷机构的结构示意图；
42.图2为图1中所示切割头刀片水冷机构的主视图；
43.图3为图1中所示切割头刀片水冷机构的仰视图；
44.图4为图1中所示切割头刀片水冷机构的左视图。
45.附图标记：1、切割头；2、固定块；3、正面防护块；4、第一进水侧板；5、第二进水侧板；6、第三进水侧板；7、调节角度块；8、调节角度固定块；9、防坠螺栓；10、防溅挡板；11、第一喷淋管；12、第二喷淋管；13、第三喷淋管；14、第四喷淋管；15、第一管接头；16、第二管接头；17、第三管接头；18、第四管接头；19、切割刀片。
具体实施方式
46.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施
例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
47.图1示出了根据本实用新型实施例切割头刀片水冷机构的结构示意图(图中未示出管接头)。如图1所示，本实用新型提出的一种切割头刀片水冷机构，包括：切割头1、固定块2、进水侧板、水冷喷淋机构和切割刀片19；
48.所述固定块2安装于切割头1表面；
49.所述水冷喷淋机构设置于切割刀片19四周；
50.所述进水侧板设置于水冷喷淋机构外侧。
51.本实用新型设计的切割头刀片水冷机构，在切割刀片19左侧、右侧、正面加装水冷喷淋机构，将水流进组合刀具的水冷喷淋机构中，实现切割过程中对切割刀片19的持续冷却，保护切割刀片19，从而保证芯片制造的品质。
52.切割头刀片水冷机构，还包括：正面防护块3；
53.所述正面防护块3安装于固定块2正面。
54.一些实施例中，进水侧板包括第一进水侧板4、第二进水侧板5和第三进水侧板6；
55.所述第一进水侧板4安装于固定块2左侧；
56.所述第二进水侧板5安装于第一进水侧板4前方；
57.所述第三进水侧板6安装于固定块2正面。
58.切割头刀片水冷机构，还包括：调节角度块7；
59.所述调节角度块7转动安装于第三进水侧板6下方。示例性的，调节角度块7通过转轴转动安装于第三进水侧板6下方。
60.切割头刀片水冷机构，还包括：调节角度固定块8；
61.所述调节角度固定块8转动安装于调节角度块7下方。示例性的，调节角度固定块8通过转轴转动安装于调节角度块7下方。转动调节角度块7可以改变调节角度固定块8的位置。
62.切割头刀片水冷机构，还包括：防坠螺栓9；
63.所述防坠螺栓9穿过第二进水侧板5安装于第一进水侧板4正面上。
64.切割头刀片水冷机构，还包括：防溅挡板10；
65.所述防溅挡板10安装于第二进水侧板5左侧。
66.图3为图1中所示切割头刀片水冷机构的仰视图。如图3所示，切割头刀片水冷机构，所述水冷喷淋机构包括第一喷淋管11、第二喷淋管12、第三喷淋管13和第四喷淋管14；
67.所述第一喷淋管11安装于第二进水侧板5下方；
68.所述第二喷淋管12安装于第一进水侧板4下方；
69.所述第三喷淋管13安装于调节角度固定块8下方；其中，转动调节角度固定块8可以改变第三喷淋管13的角度。
70.所述第四喷淋管14安装于固定块2下方。需要说明的是，第一喷淋管11、第二喷淋管12、第三喷淋管13和第四喷淋管14上均设置有小孔，用于给切割刀片19喷淋降温。小孔的位置可以根据实际冷却需求进行设计，在此不再赘述。
71.图4为图1中所示切割头刀片水冷机构的左视图。如图4所示，切割头刀片水冷机构，还包括：第一管接头15、第二管接头16、第三管接头17和第四管接头18；
72.所述第一管接头15安装于第三进水侧板6上方，第一管接头15通过管道依次与调节角度块7、调节角度固定块8和第三喷淋管13连接；
73.所述第二管接头16安装于第一进水侧板4左侧，所述第二管接头16通过管道与第二喷淋管12连接；
74.所述第三管接头17安装于第一进水侧板4后侧，所述第三管接头17通过管道与第一喷淋管11连接；
75.所述第四管接头18安装于固定块2后侧，所述第四管接头18通过管道与第四喷淋管14连接。
76.水流通过第一管接头15流经调节角度块7、调节角度固定块8、第三喷淋管13，使用过程中可以通过转动调节角度块7和调节角度固定块8的位置，从而调节第三喷淋管13的角度对切割刀片19进行正面方向上的喷淋冷却(如图2所示)；水流通过第三管接头17流经第一喷淋管11，对切割刀片19进行左侧方向上的喷淋冷却；水流通过第四管接头18流经第四喷淋管14，对切割刀片19进行后侧方向上的喷淋冷却；水流通过第二管接头16流经第二喷淋管12，对切割刀片19进行右侧方向上的喷淋冷却。
77.本实用新型中提出的一种切割头刀片水冷机构，具有以下有益效果：
78.1)采用多点喷淋冷却的方式，让切割刀片19能够在更多的方向上受到喷淋冷却，不会产生局部冷却不到的情况；
79.2)采用可调节角度带有小孔的喷淋管设计，能够适应兼容不同大小轴径的切割刀片19；
80.3)使用多模块组装的形式，对应局部部件损伤更换更加方便快捷。
81.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。