一种用于N型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装的制作方法

文档序号:33330805发布日期:2023-03-04 00:23阅读:22来源:国知局
一种用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装
技术领域
1.本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,尤其涉及一种用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装。


背景技术:

2.目前,现有的喷嘴为直流式,直流式喷嘴水流分配不均匀,在断线处理过程中,水流通过溢流方式流淌进入线网,水流压力小,无法将硅片冲开使水流进入硅片中。此外,由于喷嘴为固定方式,在断线处理过程中,喷嘴无法调节高度,因此不能满足不同深度压棒需求,造成处理效果有限。


技术实现要素:

3.本实用新型目的就是为了解决现有喷嘴水流分配不均、压力小、无法渗透硅片和无法调节的问题,提供了一种用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,不仅可以提高水流压力,使切割液更快渗入硅片种,同时还能调节高度,适用于不同深度水流冲击要求,改善水流分配不均现象,保证水流均匀流出。
4.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
5.一种用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,包括一个与进水弯管相连的喷管,喷管横置且其两端连有滑块,滑块与滑轨座相连,滑轨座上设有滑槽,滑块与滑槽形成滑动导向配合,以用于适应不用深度水流的要求;
6.喷管的内腔中连有一块u型的分流隔板,分流隔板上设有一组分流孔,喷管的底部设有一组出水口,喷管的下方连有一个导流仓,出水口与导流仓相连,以用于通过出水口将喷管中的水流入导流仓内;
7.导流仓的排水口连有一块调节板,调节板上设有竖直的调节孔,每个调节孔内连有一个调节螺栓,以用于通过上下移动调节板的位置改变排水口的宽窄。
8.进一步地,对应测的滑槽和滑块分别设为两个,且滑槽与喷管的轴线相互垂直。
9.进一步地,所述分流隔板的u型开口朝下设置,且分流隔板的轴线与喷管的轴线上下平行。
10.进一步地,所述分流孔阵列式均布在分流隔板的水平面上。
11.进一步地,所述出水口沿着喷管的母线等间距设置。
12.进一步地,所述导流仓为直角三角形结构,其一个直角面与喷管的外壁相切,另一个直角面设于喷管的下方且平行于喷管的轴线,调节板设于斜面上,且排水口沿着斜面的底边设置且二者的长度相同。
13.与现有技术相比,本实用新型的技术方案的优点具体在于:
14.(1)将原有溢流式喷嘴改为直流式喷嘴,提高水流喷出的压力,使切割液更换渗透进硅片中;(2)在喷嘴两侧增加滑块支架,可适用于不同深度水流冲击要求;(3)在喷管内部增加分流隔板,隔板开槽孔洞,可使水流均有流出,避免了水流分配不均匀的情况;
15.(4)本实用新型的喷嘴工装适用于n型或p型单晶硅片切片端,提高了切割液渗透性和断线挽救成片率。
附图说明
16.图1为本实用新型的可调节切割喷嘴工装立体图;
17.图2为本实用新型的可调节切割喷嘴工装侧视图;
18.图3为本实用新型的喷管内部结构示意图。
具体实施方式
19.实施例1
20.为使本实用新型更加清楚明白,下面结合附图对本实用新型的一种用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装进一步说明,此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
21.参见图1,一种用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,包括一个与进水弯管1相连的喷管2,其特征在于:
22.喷管2横置且其两端分别连有两个滑块3,每侧的滑块3与对应测的滑轨座4相连,滑轨座4上设有两个滑槽4a,滑槽4a与喷管2的轴线相互垂直,滑块3与滑槽4a形成滑动导向配合,以用于适应不用深度水流的要求;
23.参见图1和图3,喷管2的内腔中连有一块u型的分流隔板5,分流隔板5的u型开口朝下设置,且分流隔板5的轴线与喷管2的轴线上下平行;
24.分流隔板5上设有一组分流孔5a,分流孔5a阵列式均布在分流隔板5的水平面上;
25.参见图1和图2,喷管2的底部设有一组出水口2a,出水口2a沿着喷管2的母线等间距设置,喷管2的下方连有一个导流仓6,出水口与2a导流仓6相连,以用于通过出水口将喷管中的水流入导流仓内;
26.导流仓6为直角三角形结构,其一个直角面与喷管2的外壁相切,另一个直角面设于喷管2的下方且平行于喷管2的轴线;
27.导流仓6的排水口6a沿其斜面的底边设置且二者长度相同,排水口6a上连有一块调节板7,调节板7上设有竖直的调节孔7a,每个调节孔7a内连有一个调节螺栓8,以用于通过上下移动调节板的位置改变排水口的宽窄。
28.本实用新型的装置可适用于80mm以上断线深度水流冲击要求,提高了断线挽救成片率,保证了出水的均匀性。
29.除上述实施例外,本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本实用新型要求的保护范围。


技术特征:
1.一种用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,包括一个与进水弯管(1)相连的喷管(2),其特征在于:喷管(2)横置且其两端连有滑块(3),滑块(3)与滑轨座(4)相连,滑轨座(4)上设有滑槽(4a),滑块(3)与滑槽(4a)形成滑动导向配合;喷管(2)的内腔中连有一块u型的分流隔板(5),分流隔板(5)上设有一组分流孔(5a),喷管(2)的底部设有一组出水口(2a),喷管(2)的下方连有一个导流仓(6),出水口(2a)与导流仓(6)相连;导流仓(6)的排水口(6a)连有一块调节板(7),调节板(7)上设有竖直的调节孔(7a),每个调节孔(7a)内连有一个调节螺栓(8)。2.根据权利要求1所述的用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,其特征在于:对应测的滑槽(4a)和滑块(3)分别设为两个,且滑槽(4a)与喷管(2)的轴线相互垂直。3.根据权利要求1或2所述的用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,其特征在于:所述分流隔板(5)的u型开口朝下设置,且分流隔板(5)的轴线与喷管(2)的轴线上下平行。4.根据权利要求1或2所述的用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,其特征在于:所述分流孔(5a)阵列式均布在分流隔板(5)的水平面上。5.根据权利要求1或2所述的用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,其特征在于:所述出水口(2a)沿着喷管(2)的母线等间距设置。6.根据权利要求1或2所述的用于n型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,其特征在于:所述导流仓(6)为直角三角形结构,其一个直角面与喷管(2)的外壁相切,另一个直角面设于喷管(2)的下方且平行于喷管(2)的轴线,调节板(7)设于斜面上,且排水口(6a)沿着斜面的底边设置且二者的长度相同。

技术总结
本实用新型公开了一种用于N型单晶硅片切片端的可调节切割喷嘴工装,包括与进水弯管(1)相连的喷管(2),喷管(2)横置且其两端连有滑块(3),滑块(3)与滑轨座(4)的滑槽(4a)形成滑动导向配合;喷管(2)的内腔中连有U型的分流隔板(5),其上设有分流孔(5a),喷管(2)的底部设有出水口(2a),出水口(2a)与导流仓(6)相连;导流仓(6)的排水口(6a)连有一块调节板(7),调节板(7)上设有竖直的调节孔(7a),每个调节孔(7a)内连有一个调节螺栓(8)。本实用新型的优点是提高水流压力和切割液渗透性,同时适用于不同深度水流冲击要求,保证水流均匀流出。保证水流均匀流出。保证水流均匀流出。


技术研发人员:王杰 冯琰 王艺澄
受保护的技术使用者:江苏美科太阳能科技股份有限公司
技术研发日:2022.10.19
技术公布日:2023/3/3
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