切削装置和切削方法与流程

本发明涉及切削装置和切削方法。

背景技术：

1、例如，在利用切削装置对固体拍摄元件器件晶片进行切削的情况下，当异物附着于器件时会导致器件不良，因此重要的是确保切削中产生的切削屑不会附着。因此，已有如下的切削装置提供：在覆盖切削刀具的外周的刀具罩上设置有污染物去除部件，该污染物去除部件在加工点处的切削刀具的旋转方向侧与切削刀具对应配置(例如，参照专利文献1)。

2、专利文献1：日本特开2006-289509号公报

3、近年来，开始采用称为混合接合(hybrid bonding)的将器件正面的电极相互接合的接合方法。通过混合接合进行的是面与面的接合，因此当在器件正面上附着有异物时会产生接合不良，因此要求在切削后的器件晶片正面上不存在异物。

4、当切削中附着的切削屑等异物一旦在器件晶片正面上干燥时，之后即使清洗也无法去除。因此，期望在切削中极力防止异物附着。

5、但是，即使利用专利文献1所示的切削装置也难以消除切削屑向被加工物的附着，期望改善。

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于提供能够抑制切削屑向被加工物附着的切削装置和切削方法。

2、根据本发明的一个方面，提供切削装置，其中，该切削装置具有：保持工作台，其对被加工物进行保持；切削单元，其具有安装有对该保持工作台所保持的该被加工物进行切削的切削刀具的主轴；以及切削液提供单元，其向该切削刀具提供切削液，该切削液提供单元包含：一对水溜形成喷嘴，该一对水溜形成喷嘴隔着该切削刀具相互对置地配设，从该切削刀具的正面侧和背面侧分别提供切削液，形成沿加工进给方向延伸的水溜；以及前端喷嘴，其在该加工进给方向的上游侧从该切削刀具的外周侧朝向该切削刀具提供切削液，该前端喷嘴朝向该切削刀具切入至该被加工物的加工点提供切削液，通过该水溜将切削液向该加工进给方向的下游侧的该被加工物的外部引导。

3、优选从该水溜形成喷嘴提供的切削液的角度是从水平方向朝下45度以上且85度以下。

4、优选从该水溜形成喷嘴提供的切削液的量是2.0l/min以上且3.0l/min以下。

5、根据本发明的另一方面，提供切削方法，对被加工物进行切削，其中，该切削方法具有如下的步骤：保持步骤，利用保持工作台对该被加工物进行保持；水溜形成步骤，针对旋转的切削刀具从隔着该切削刀具相互对置地配设的水溜形成喷嘴向该切削刀具的正面侧和背面侧分别提供切削液，形成沿加工进给方向延伸的水溜；以及切削步骤，在实施了该水溜形成步骤之后，一边从前端喷嘴在该加工进给方向的上游侧从该切削刀具的外周侧朝向该切削刀具提供切削液，一边利用该切削刀具对该保持工作台所保持的该被加工物进行切削，通过该水溜将包含切削屑的切削液向该加工进给方向的下游侧的该被加工物的外部引导。

6、本发明起到能够抑制切削屑向被加工物附着的效果。

技术特征：

1.一种切削装置，其中，

2.根据权利要求1所述的切削装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的切削装置，其中，

4.一种切削方法，对被加工物进行切削，其中，

技术总结
本发明提供切削装置和切削方法，能够抑制切削屑向被加工物附着。切削装置的切削液提供单元包含：一对水溜形成喷嘴，该一对水溜形成喷嘴隔着切削刀具相互对置地配设，向切削刀具提供切削液并形成沿加工行进方向延伸的水溜；以及前端喷嘴，其在加工行进方向的上游侧从切削刀具的外周侧朝向切削刀具提供切削液。前端喷嘴朝向切削刀具切入至被加工物的加工点提供切削液，通过水溜将切削液向加工行进方向的下游侧引导。

技术研发人员：须磨努
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：
技术公布日：2024/3/31