一种可调节角度的硅产品加工治具的制作方法

本发明涉及硅产品加工，具体为一种可调节角度的硅产品加工治具。

背景技术：

1、在半导体硅材料制造技术领域，常需要加工特殊角度面和角度孔。相对于加工水平面或者竖直孔而言，特殊角度面及角度孔的加工量较少，通常在加工水平面或者竖直孔的三轴加工中心直接进行定位装夹，来加工特殊角度面及角度孔。

2、由于标准三轴加工中心的刀具都是竖直设置的，因此用三轴加工中心加工特殊角度面及角度孔，需要进行精准的定位装夹，倾斜装夹硅产品，不仅定位难度较大，加工复杂性也较大，导致加工时长较长；倾斜装夹的固定效果较差，如果在加工时硅产品发生滑移，还可能会使硅产品报废，造成产品合格率降低、成本增加等问题。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中提到的至少一个技术问题，本发明的目的在于提供一种可调节角度的硅产品加工治具，解决加工特殊角度面及角度孔的定位复杂性问题，确保定位精准，提高产品合格率。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种可调节角度的硅产品加工治具，包括固定架，所述固定架上转动连接有用于放置硅产品的平台，所述固定架上开设有弧形滑槽，所述弧形滑槽的圆心位于平台的转动轴线上；所述平台上设有滑杆，所述滑杆位于弧形滑槽内，滑杆上螺纹连接有锁紧块，当锁紧块拧紧时，锁紧块与固定架抵接；所述平台上设有用于夹紧硅产品的夹紧机构。

4、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

5、将硅产品放置在平台上，通过夹紧机构将硅产品固定在平台上，硅产品的倾斜角度与平台的倾斜角度相同，调整平台的倾斜角度即可实现调节硅产品倾斜角度的目的；拧松锁紧块，转动平台，通过测定平台倾角，确定硅产品的倾斜角度，再拧紧锁紧块，实现倾斜定位的效果。

6、优选地，所述夹紧机构包括两个用于夹紧硅产品的夹紧件、以及用于驱动两个夹紧件相互靠近/远离的驱动组件。

7、优选地，两个所述夹紧件相互靠近的端面上分别铰接有一个压块，所述压块与夹紧件之间的铰接轴位于的压块底部，压块与夹紧件之间设有扭簧；在扭簧放松状态下，压块的一部分位于夹紧件的外部。

8、优选地，所述平台上开设有滑槽，所述滑槽沿两个夹紧件的夹紧方向延伸，所述夹紧件与滑槽滑动连接。

9、优选地，所述驱动组件包括两个分别固设于两个夹紧件上的斜块、与两个斜块滑动连接的推块、以及驱动推块移动的气动推杆，所述两个斜块分别与推块的两端滑动连接，推块的移动方向与两个夹紧件的夹紧方向垂直。

10、优选地，两个斜块呈v字形分布，且关于气动推杆对称设置，所述平台的两侧分别设有一个滑槽和一个夹紧机构，呈v字形的两个斜块的开口朝向气动推杆，气动推杆的输出端设有两个抵接块，两个抵接块分别与推块的两侧面抵接。

11、优选地，两个斜块相互靠近的一侧开设有燕尾槽，所述推块的两端分别与两个燕尾槽的内壁滑动连接。

12、优选地，所述平台上开设有若干个用于吸住硅产品底面的真空吸槽，所述真空吸槽的顶部设有开口，所述平台上设有转接头，所述转接头的一端与真空吸槽连通，转接头的另一端外接有真空泵。

13、优选地，所述弧形滑槽的个数为两个，分别位于固定架的两侧，滑杆位于其中一个弧形滑槽内，另一个弧形滑槽内滑动连接有刻度指示块，刻度指示块与平台固定连接，所述固定架靠近刻度指示块的一侧上设有角度刻度，所述角度刻度沿弧形滑槽的边缘设置。

14、优选地，还包括用于测量平台顶端高度的百分表。

技术特征：

1.一种可调节角度的硅产品加工治具，包括固定架（1），其特征在于，所述固定架（1）上转动连接有用于放置硅产品（4）的平台（2），所述固定架（1）上开设有弧形滑槽（10），所述弧形滑槽（10）的圆心位于平台（2）的转动轴线上；所述平台（2）上设有滑杆（22），所述滑杆（22）位于弧形滑槽（10）内，滑杆（22）上螺纹连接有锁紧块（221），当锁紧块（221）拧紧时，锁紧块（221）与固定架（1）抵接；所述平台（2）上设有用于夹紧硅产品（4）的夹紧机构（3）。

2.根据权利要求1所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述夹紧机构（3）包括两个用于夹紧硅产品（4）的夹紧件（331）、以及用于驱动两个夹紧件（331）相互靠近/远离的驱动组件。

3.根据权利要求2所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，两个所述夹紧件（331）相互靠近的端面上分别铰接有一个压块（333），所述压块（333）与夹紧件（331）之间的铰接轴位于的压块（333）底部，压块（333）与夹紧件（331）之间设有扭簧；在扭簧放松状态下，压块（333）的一部分位于夹紧件（331）的外部。

4.根据权利要求2所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述平台（2）上开设有滑槽（20），所述滑槽（20）沿两个夹紧件（331）的夹紧方向延伸，所述夹紧件（331）与滑槽（20）滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述驱动组件包括两个分别固设于两个夹紧件（331）上的斜块（33）、与两个斜块（33）滑动连接的推块（32）、以及驱动推块（32）移动的气动推杆（31），所述两个斜块（33）分别与推块（32）的两端滑动连接，推块（32）的移动方向与两个夹紧件（331）的夹紧方向垂直。

6.根据权利要求5所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，两个斜块（33）呈v字形分布，且关于气动推杆（31）对称设置，所述平台（2）的两侧分别设有一个滑槽（20）和一个夹紧机构（3），呈v字形的两个斜块（33）的开口朝向气动推杆（31），气动推杆（31）的输出端（311）设有两个抵接块（312），两个抵接块（312）分别与推块（32）的两侧面抵接。

7.根据权利要求6所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，两个斜块（33）相互靠近的一侧开设有燕尾槽（330），所述推块（32）的两端分别与两个燕尾槽（330）的内壁滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述平台（2）上开设有若干个用于吸住硅产品（4）底面的真空吸槽（240），所述真空吸槽（240）的顶部设有开口，所述平台（2）上设有转接头（24），所述转接头（24）的一端与真空吸槽（240）连通，转接头（24）的另一端外接有真空泵。

9.根据权利要求1所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述弧形滑槽（10）的个数为两个，分别位于固定架（1）的两侧，滑杆（22）位于其中一个弧形滑槽（10）内，另一个弧形滑槽（10）内滑动连接有刻度指示块（23），刻度指示块（23）与平台（2）固定连接，所述固定架（1）靠近刻度指示块（23）的一侧上设有角度刻度（100），所述角度刻度（100）沿弧形滑槽（10）的边缘设置。

10.根据权利要求1所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，还包括用于测量平台（2）顶端高度的百分表（5）。

技术总结
本发明公开了一种可调节角度的硅产品加工治具，包括固定架，所述固定架上转动连接有用于放置硅产品的平台，所述固定架上开设有弧形滑槽，所述弧形滑槽的圆心位于平台的转动轴线上；所述平台上设有滑杆，所述滑杆位于弧形滑槽内，滑杆上螺纹连接有锁紧块，当锁紧块拧紧时，锁紧块与固定架抵接；所述平台上设有用于夹紧硅产品的夹紧机构；将硅产品放置在平台上，通过夹紧机构将硅产品固定在平台上，硅产品的倾斜角度与平台的倾斜角度相同，调整平台的倾斜角度即可实现调节硅产品倾斜角度的目的；拧松锁紧块，转动平台，通过测定平台倾角，确定硅产品的倾斜角度，再拧紧锁紧块，实现倾斜定位的效果。

技术研发人员：王世泽,祝建敏,王双玉,密思
受保护的技术使用者：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15