一种晶圆切割用线性导轨的制作方法

本申请涉及导轨，具体为一种晶圆切割用线性导轨。

背景技术：

1、晶圆切割主要采用金刚石砂轮刀片即轮毂型硬刀，半导体从业者不断寻求能提高加工质量和加工效率的方法，以达到更低的加工成本。在晶圆切割的过程中，往往离不开导轨的使用，通过导轨可对切割装置可进行位置调节，而在使用时间较长后，导轨不断的受到摩擦，且会产生一定的热量。

2、经检索，例如公开号为cn205207429u的中国实用新型专利中，提供了一种线性导轨，该专利通过在滑轨与滑块的连接处设置有润滑槽，且内部装有润滑油脂，用于减少摩擦力，但是在使用的过程中，润滑油脂可能会大幅度的滑出，不能保证其缓慢且均匀的加入，会导致滑轨在使用时间过长后，润滑油脂缺少导致滑轨摩擦力增大，且热量升高，还有影响运行质量，所以有必要提供一种晶圆切割用线性导轨来解决上述问题。

3、需要说明的是，本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本实用新型构思的背景技术，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、基于现有技术中存在的上述问题，本申请实施例的目的在于：提供一种晶圆切割用线性导轨，达到了可对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑的效果。

2、本申请解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆切割用线性导轨，包括滑轨，所述滑轨上滑动连接有滑块，所述滑轨上开设有弧形孔，所述弧形孔的下方开设有放置槽，所述放置槽的内部相对安装有连接柱，所述连接柱的内部活动连接有固定杆；

3、所述弧形孔内设有滚珠，所述滚珠的上端突出弧形孔，所述滚珠的内部活动连接有活动轴，所述活动轴固定安装于固定杆上，所述放置槽的内部设有海绵垫，所述海绵垫位于滚珠的下端。

4、当滑块在滑轨上移动过程中，会将滚珠进行挤压，并同时带动滚珠向滑块移动的方向进行转动，当滚珠受到挤压时，会带动活动轴向下活动，此时使滑块在滑动时将滚珠压于弧形孔内，使其不会影响到滑块与滑轨之间的正常与运行，同时滚珠向下挤压海绵垫的同时将其内部的润滑油向外挤出，附着于滚珠的表面，使得滚珠的转动的同时将润滑油向上附带，从而防止润滑油大幅度的溢出，并对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑。

5、进一步的，所述连接柱的上端开设有活动槽，所述活动槽的内部固定安装有弹性件，所述弹性件的上端固定安装于固定杆的下端。

6、进一步的，所述海绵垫朝向于滚珠的一面设有弧面，所述滚珠放置于海绵垫上的弧面内。

7、进一步的，所述弧形孔与放置槽之间为连通状态，所述放置槽的长度和宽度均大于弧形孔的直径。

8、进一步的，所述滚珠内开设有连接槽，所述活动轴活动连接于连接槽内。

9、进一步的，所述弧形孔设置为半圆形。

10、本申请的有益效果是：本申请提供的一种晶圆切割用线性导轨，通过设置有滚珠，当滑块在滑轨上进行移动时，可将滚珠向下压动，同时通过固定柱将弹簧进行挤压，再将海绵垫内部的润滑油向外挤出，附着于滚珠的表面，使得滚珠的转动的同时将润滑油向上附带，使得滑块在活动时将润滑油向两侧带动，对滑轨与滑块进行润滑，从而防止润滑油大幅度的溢出，并对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑，提高运行质量。

11、除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

技术特征：

1.一种线性导轨，包括滑轨(1)，所述滑轨(1)上滑动连接有滑块(12)，其特征在于：所述滑轨(1)上开设有弧形孔(14)，所述弧形孔(14)的下方开设有放置槽(2)，所述放置槽(2)的内部相对安装有连接柱(22)，所述连接柱(22)的内部活动连接有固定杆(24)；

2.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述连接柱(22)的上端开设有活动槽(23)，所述活动槽(23)的内部固定安装有弹性件，所述弹性件的上端固定安装于固定杆(24)的下端。

3.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述海绵垫(26)朝向于滚珠(3)的一面设有弧面，所述滚珠(3)放置于海绵垫(26)上的弧面内。

4.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述弧形孔(14)与放置槽(2)之间为连通状态，所述放置槽(2)的长度和宽度均大于弧形孔(14)的直径。

5.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述滚珠(3)内开设有连接槽，所述活动轴(31)活动连接于连接槽内。

6.根据权利要求1所述的一种线性导轨，其特征在于：所述弧形孔(14)设置为半圆形。

技术总结
本申请公开了一种晶圆切割用线性导轨，属于导轨技术领域。主要包括滑轨，滑轨上滑动连接有滑块，滑轨上开设有弧形孔，弧形孔的下方开设有放置槽，放置槽的内部相对安装有连接柱，连接柱的内部活动连接有固定杆，弧形孔内设有滚珠，滚珠的上端突出弧形孔，滚珠的内部活动连接有活动轴，活动轴固定安装于固定杆上，放置槽的内部设有海绵垫，海绵垫位于滚珠的下端，当滑块在滑轨上移动过程中，将滚珠进行挤压，并带动滚珠向滑块移动的方向进行转动，同时滚珠向下挤压海绵垫，将其内部的润滑油向外挤出，附着于滚珠的表面，使得滚珠的转动的同时将润滑油向上附带，从而防止润滑油大幅度的溢出，并对滑轨缓慢并均匀的进行降温与润滑。

技术研发人员：张浩,郭静,季春瑞,许桂洋,贾亚飞,刘佳均
受保护的技术使用者：安徽新芯威半导体有限公司
技术研发日：20230213
技术公布日：2024/1/13