一种金刚石减薄垫加工的开槽机的制作方法

本技术属于机械加工，特别是涉及一种金刚石减薄垫加工的开槽机。

背景技术：

1、减薄垫，又称抛光垫，是化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，其能够将抛光液有效均匀地输送到减薄垫的不同区域，维持减薄垫表面的抛光液薄膜,以便化学反应充分进行，保持抛光过程的平稳、表面不变形,以便获得较好的晶片表面形貌，金刚石减薄垫具有研磨质量好、稳定性高、使用寿命长等优点，而在金刚石减薄垫生产加工的过程中，通常需要对金刚石减薄垫表面进行切槽，通过开槽机能够辅助工作人员快速对金刚石减薄垫表面切出多个槽，大大提高了金刚石减薄垫的加工效率，但它在实际使用中仍存在以下弊端：

2、1、公开号为cn217552549u实用新型公开了一种抛光垫开槽机的开槽机构，所述开槽机构位于保护罩内；所述开槽机构包括水平转动安装在保护罩内的转动筒、同轴转动安装在转动筒内的凸轮柱、套设在转动筒上的若干间隔布置的开槽件以及一一对应设置在若干开槽件与凸轮柱之间的若干连接件，所述电机的动力输出轴穿入保护罩内与转动筒同轴固定相连，凸轮柱包括两相向布置的凸缘，每一所述连接件均滑动穿设在转动筒的内外侧之间且用于与对应开槽件可拆卸相连，每一连接件均与凸轮柱的侧壁滑动相抵且与转动筒内壁弹性相连，所述凸轮柱与转动筒之间设有锁止件，所述锁止件用于固定凸轮柱的位置，开槽机构在能够同时开出多个槽位，提高开槽效率的同时，便于对锯片进行更换，降低工作人员的劳动强度，但开槽机构通常不具有保护结构，在使用开槽机构对减薄垫开槽的过程中，通常需要工作人员对减薄垫辅助定位，开槽产生飞溅的碎屑可能会对工作人员造成伤害，且会对环境造成污染；

3、2、金刚石减薄垫加工的开槽机虽然能一次性对金刚石减薄垫开多个槽，但由于金刚石减薄垫的尺寸存在差异，难以一次完成一个金刚石减薄垫所有所需位置的开槽处理，在进行多次开槽时，一般通过对金刚石减薄垫位置的调整进行开槽位置的调整，费时费力，且可能会导致金刚石抛光垫倾斜一定的角度，导致成品质量下降。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种金刚石减薄垫加工的开槽机，通过加工锯片、保护架和防滑传送皮带，解决了开槽机在对金刚石减薄垫开槽时，飞溅的碎屑可能会对工作人员造成伤害，且污染环境，调整金刚石减薄垫位置费时费力，且调整后的金刚石减薄垫可能存在角度的倾斜的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型为一种金刚石减薄垫加工的开槽机，包括加工锯片、保护架和防滑传送皮带，所述防滑传送皮带上侧设置有保护架，所述保护架上侧一端贯穿卡接有除尘箱，在进行开槽时，保护架防止了碎屑的飞溅，且碎屑通过空气的流动能够进入除尘箱内进行收集，避免对环境造成污染，且便于对碎屑进行回收利用，所述保护架内侧设置有多个加工锯片，所述加工锯片一侧设置有多个第一电磁铁，所述加工锯片下侧设置有多个吸附滑板，在进行加工锯片的安装时，根据需要将多个加工锯片卡接于多个第一电磁铁上下两侧，再通过对第一电磁铁通电能够使其对加工锯片吸附固定，在进行拆卸时只需对第一电磁铁断电便能够快速取下加工锯片，操作简单方便，所述吸附滑板两侧滑动卡接有连接架，在加工锯片的安装时，吸附滑板能够根据加工锯片安装的位置进行滑动，避免影响加工锯片的安装，使加工锯片能够安装的位置增加，且吸附滑板能够在金刚石减薄垫开槽时，对金刚石减薄垫进行挤压定位，保证加工时的稳定性，所述连接架一侧滑动卡接有移动气缸，在金刚石减薄垫一次开槽后，工作人员不需对金刚石减薄垫的位置进行调整，只需通过移动气缸调整连接架的位置，进一步调整加工锯片的位置，便能够对金刚石减薄垫表面的不同位置进行开槽，且通过移动气缸带动加工锯片的移动，能够准确将一个加工锯片移动至开好的两个相邻槽之间，进一步增加能够开槽的位置，提高使用的灵活性。

4、进一步地，所述加工锯片一侧卡接固定有吸附连接板，所述吸附连接板一侧开设有吸附槽，所述吸附槽位于吸附连接板相对于加工锯片另一侧，所述吸附槽一侧开设有定位孔，所述第一电磁铁上下两侧卡接固定有定位块，多个所述第一电磁铁中央卡接固定有伸缩管，所述伸缩管一端滑动卡接有转动杆，所述转动杆另一端卡接有旋转电机，一个所述第一电磁铁吸附固定于两个加工锯片的吸附槽之间，一个所述第一电磁铁的定位块卡接于两个加工锯片的定位孔内侧，所述转动杆贯穿插接于保护架一端，所述旋转电机卡接于保护架外侧一端；

5、在进行安装时，根据需要将多个加工锯片的吸附连接板卡接于第一电磁铁上下两侧，并对第一电磁铁通电，使第一电磁铁对吸附连接板吸附固定，在进行加工锯片的更换时，对第一电磁铁断电，便于工作人员快速取下加工锯片，操作简单方便，降低工作人员的劳动强度。

6、进一步地，所述伸缩管相对于转动杆另一端转动卡接于连接架一端上侧，所述连接架两侧下端皆卡接固定有第二电磁铁，所述第二电磁铁贴合于吸附滑板一侧，所述吸附滑板底端卡接固定有防滑垫，所述移动气缸位于连接架相对于吸附滑板另一侧，所述移动气缸贯穿卡接于保护架相对于旋转电机另一端外侧；

7、在加工锯片进行安装时，能够根据加工锯片的安装位置，对吸附滑板进行滑动，使一个或多个吸附滑板移动至两个相邻加工锯片之间，并通过对第二电磁铁通电对吸附滑板的位置进行固定，进一步提高了加工锯片安装位置的灵活性，在进行开槽时，通过防滑垫能够对减薄垫进行挤压定位，提高加工过程中的稳定性，且一次开槽后，移动气缸能够带动连接架和伸缩管进行移动，进一步带动加工锯片和吸附滑板进行移动，不需要对减薄垫的位置进行调整，避免对位置调整时产生一定的倾斜，且一个加工锯片能够移动至加工好的两个相邻槽之间，进一步增加能够开槽的位置，提高使用的灵活性。

8、进一步地，所述保护架上侧转动卡接有顶盖，所述保护架两端底侧皆滑动卡接有升降气缸，所述除尘箱一端滑动卡接有集尘盒，所述集尘盒一侧卡接有空气滤芯，所述空气滤芯位于集尘盒相对于保护架另一侧，所述集尘盒内侧和保护架内侧贯穿连通，所述除尘箱一侧贯穿卡接有鼓风机，所述鼓风机位于除尘箱相对于保护架另一侧，所述鼓风机位于集尘盒一侧；

9、在开槽加工时，加工锯片对减薄垫开槽产生的碎屑通过保护架进行限位，防止碎屑的飞溅，保证工作人员的安全，且通过鼓风机带动空气的流动，能够将碎屑吸入集尘盒内收集，便于集中处理和回收利用，且避免了环境造成污染，同时流动的空气能够对加工锯片进行降温，延长加工锯片的使用寿命。

10、进一步地，所述防滑传送皮带一侧贯穿卡接有支撑架，所述支撑架一侧贯穿卡接有转动电机，所述转动电机和防滑传送皮带传动连接，两个所述升降气缸分别卡接于支撑架上侧两端，所述支撑架两端皆卡接有定位气缸，所述定位气缸一端滑动卡接有定位板，一个所述定位板贯穿插接于支撑架一侧，所述定位板贴合于防滑传送皮带上侧，所述定位板位于保护架下侧；

11、通过转动电机能够带动防滑传送皮带进行转动，进一步带动减薄垫进行移动，将减薄垫移动至保护架下侧进行开槽，通过定位气缸带动定位板的移动，能够对减薄垫进行定位，保证开槽位置的准确，在一次开槽完成后，通过转动电机带动防滑传送皮带的反向转动，使减薄垫能够在相同位置再次进行开槽，保证开槽位置的准确。

12、本实用新型具有以下有益效果：

13、1、本实用新型通过设置保护架，解决了开槽机构在能够同时开出多个槽位，提高开槽效率的同时，便于对锯片进行更换，降低工作人员的劳动强度，但开槽机构通常不具有保护结构，在使用开槽机构对减薄垫开槽的过程中，通常需要工作人员对减薄垫辅助定位，开槽产生飞溅的碎屑可能会对工作人员造成伤害，且会对环境造成污染的问题，在加工锯片对金刚石减薄垫开槽时，飞溅的碎屑通过保护架进行限位，避免对工作人员造成伤害，且通过鼓风机带动空气的流动能够将碎屑吸附除尘箱内侧进行收集，便于回收利用，且避免对环境造成污染。

14、2、本实用新型通过设置加工锯片和防滑传送皮带，解决了金刚石减薄垫加工的开槽机虽然能一次性对金刚石减薄垫开多个槽，但由于金刚石减薄垫的尺寸存在差异，难以一次完成一个金刚石减薄垫所有所需位置的开槽处理，在进行多次开槽时，一般通过对金刚石减薄垫位置的调整进行开槽位置的调整，费时费力，且可能会导致金刚石抛光垫倾斜一定的角度，导致成品质量下降的问题，在金刚石减薄垫一次开槽处理后，防滑传送皮带将金刚石减薄垫移动出保护架下侧，通过移动气缸带动加工锯片的移动，能够对开槽位置进行调整，并通过防滑传送皮带的反向转动，使金刚石减薄垫能够在相同位置移动至保护架下侧，避免了对金刚石减薄垫的位置进行调整，保证开槽位置的准确，且一个加工锯片能够准确移动至加工好的两个相邻槽之间的设定位置，进一步增加能够开槽的位置，提高使用的灵活性。