用于脱胶清洗机的上棒车的制作方法

本技术涉及半导体领域，尤其是涉及一种用于脱胶清洗机的上棒车。

背景技术：

1、硅切片加工一般包括以下三个步骤：晶棒的粘结、晶棒的切割和硅切片的脱胶清洗，需要说明的是，粘结的晶棒在切割后得到的是胶体粘结的硅切片，因此在切割完成后，需要将晶棒转移到脱胶清洗机上进行脱胶清洗。

2、相关技术中，一般通过叉车将切割后的晶棒搬运到脱胶清洗机上，然后脱胶清洗机对晶棒进行脱胶清洗。然而，切割后的晶棒上一般还残留切割液等液体，在叉车将晶棒搬运到脱胶清洗机的过程中，叉车的动作会带动晶棒振动，导致晶棒上的液体滴落到地面，造成地面脏污，且存在安全隐患。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种上棒车，托盘可以收集晶棒滴落的液体，有利于避免造成地面脏污。

2、根据本实用新型实施例的用于脱胶清洗机的上棒车，包括：主体支架；着座机构，所述着座机构与所述主体支架相连，所述着座机构为两个，两个所述着座机构沿第一方向间隔开设于所述主体支架，每个所述着座机构沿第二方向延伸，每个所述着座机构的自由端设有顶部敞开的固定槽，所述固定槽用于定位晶棒，所述第一方向垂直于所述第二方向；托盘，所述托盘位于所述着座机构的下方，所述托盘在伸出位置和收缩位置之间可伸缩地设于所述主体支架，在所述伸出位置，所述托盘位于所述固定槽的正下方；在所述收缩位置，所述托盘与所述主体支架的水平距离为10mm-15mm。

3、根据本实用新型实施例的用于脱胶清洗机的上棒车，当将晶棒放置到固定槽后，控制托盘切换到伸出位置，托盘位于固定槽的正下方，在上棒车移动晶棒的过程中，托盘可以收集晶棒滴落的液体，有利于避免造成地面脏污，在上棒车将晶棒放置到脱胶清洗机的清洗位的过程中，托盘与脱胶清洗机接触并回复到收缩位置，从而上棒方便，有利于避免造成地面脏污，有利于减少安全隐患。

4、在本实用新型的一些实施例中，所述主体支架固定有两个第一滑移件，每个所述托盘沿所述第一方向的两侧设有第二滑移件，两个所述第二滑移件位于两个所述第一滑移件之间，两个所述第一滑移件和两个所述第二滑移件一一对应地沿所述第二方向滑移配合。

5、在本实用新型的一些实施例中，上棒车还包括：第三滑移件，所述第三滑移件为两个，两个所述第三滑移件一一对应地设于相应所述第一滑移件和所述第二滑移件之间，所述第三滑移件在所述第一方向上的一侧与相应的所述第一滑移件沿所述第二方向滑移配合，所述第三滑移件在所述第一方向上的另一侧与相应的所述第二滑移件沿所述第二方向滑移配合。

6、在本实用新型的一些实施例中，上棒车还包括：间距调节杆，所述间距调节杆设于两个所述着座机构之间，所述间距调节杆为多个，多个所述间距调节杆沿所述第二方向排布，每个所述间距调节杆沿第一方向上的长度可调。

7、在本实用新型的一些实施例中，上棒车还包括：l形支撑机构，所述l形支撑机构包括第一段和第二段，所述第一段沿上下方向延伸且与所述主体支架相连，所述第二段与所述第一段的顶端相连且垂直于所述主体支架，所述l形支撑机构为两个，两个所述l形支撑机构沿所述第一方向间隔开排布，两个所述l形支撑机构位于两个所述着座机构的内侧，两个所述l形支撑机构与两个所述着座机构之间通过多个第一螺纹紧固件相连。

8、在本实用新型的一些实施例中，所述第二段设有第一连接孔，所述着座机构设有腰型孔，所述第一螺纹紧固件穿过相应的所述腰型孔与所述第二段相连。

9、在本实用新型的一些实施例中，上棒车还包括：安装座，所述安装座设于所述主体支架，所述安装座为两个且沿所述第一方向间隔开排布，每个所述安装座包括两个在所述第一方向间隔开排布的安装板，所述l形支撑机构的直角部位于所述两个安装板之间；支撑杆，所述支撑杆穿设于所述安装座和所述直角部，所述第二段与所述主体支架通过第二螺纹紧固件相连。

10、在本实用新型的一些实施例中，上棒车还包括：上下调节机构，所述安装板设有第一凸耳，所述第一凸耳为两个且在上下方向间隔开排布，每个所述第一凸耳设有安装孔，两个所述安装孔在上下方向上相对设置，所述上下调节机构在上下方向上延伸，所述上下调节机构与相应的两个所述安装孔螺纹配合，所述上下调节机构的底部适于与所述支撑杆抵接以调节所述支撑杆在上下方向上的位置。

11、在本实用新型的一些实施例中，上棒车还包括：左右调节机构，所述主体支架在所述第二段沿所述第一方向上的两侧分别设置第二凸耳，所述左右调节机构水平设置，所述左右调节机构与所述第二凸耳螺纹相连以调节所述第二段在所述第一方向上的位置。

12、在本实用新型的一些实施例中，所述主体支架的底部设有多个滚轮。

13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，所述主体支架固定有两个第一滑移件，两个所述第一滑移件沿第一方向间隔开排布，每个所述托盘沿所述第一方向的两侧设有第二滑移件，两个所述第二滑移件位于两个所述第一滑移件之间，两个所述第一滑移件和两个所述第二滑移件一一对应地沿所述第二方向滑移配合。

3.根据权利要求2所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，还包括：

4.根据权利要求1所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求1所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求5所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，所述着座机构设有腰型孔，所述第一螺纹紧固件穿过相应的所述腰型孔与所述第二段相连。

7.根据权利要求5所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求7所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求7所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，还包括：

10.根据权利要求1-9中任一项所述的用于脱胶清洗机的上棒车，其特征在于，所述主体支架的底部设有多个滚轮。

技术总结
本技术公开了一种用于脱胶清洗机的上棒车，上棒车包括：主体支架；着座机构，着座机构与主体支架相连，着座机构为两个，两个着座机构沿第一方向间隔开设于主体支架，每个着座机构沿第二方向延伸，每个着座机构的自由端设有顶部敞开的固定槽，固定槽用于定位晶棒，第一方向垂直于第二方向；托盘，托盘位于着座机构的下方，托盘在伸出位置和收缩位置之间可伸缩地设于主体支架，在伸出位置，托盘位于固定槽的正下方；在收缩位置，托盘与支架主体的水平距离为10mm‑15mm。根据本技术的上棒车，托盘可以收集晶棒滴落的液体，有利于避免造成地面脏污。

技术研发人员：娄海峰
受保护的技术使用者：中环领先（徐州）半导体材料有限公司
技术研发日：20230524
技术公布日：2024/2/19