石英玻璃晶圆毛坯的加工装置的制作方法

本技术涉及石英玻璃加工，特别是涉及石英玻璃晶圆毛坯的加工装置。

背景技术：

1、石英玻璃因其良好的性能广泛应用于半导体集成电路产业，晶圆是半导体集成电路的核心，光刻技术以其良好的技术特点已成为生产品圆的主要方法。石英玻璃品圆是指通过光刻技术加工制作成的半导体集成电路产品。石英玻璃是该工艺的必备材料，依据生产的品圆尺寸不同，其形状尺寸也不同。在石英玻璃加工出晶圆毛坯后，晶圆毛坯还需进行如磨边、抛光等工艺的加工，而其上的加工工序需要晶圆毛坯在固定状态下才可进行精加工。

2、当下晶圆毛坯的固定加工多通过夹具装夹或吸盘吸附的方式实现紧固加工，在固定不同规格尺寸的晶圆毛坯存在局限性，调节性差。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，通过设置直线驱动结构、两对移位结构、两对延展架和两对真空吸盘，以灵活改变同处于圆形路径上两对十字滑座的直径为目的，即可调整两对真空吸盘的吸附位置，这样可适应不同规格尺寸的晶圆毛坯实现吸附固定的加工，以满足晶圆毛坯后续精加工的稳定需求，解决了现有的技术问题。

2、为解决上述的技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型为石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，包括支撑盘，所述支撑盘上设置有直线驱动结构，所述直线驱动结构包括通过轴承转动连接在所述支撑盘上的丝杆、螺纹连接在所述丝杆上的螺纹升降套、固定安装在所述支撑盘上且活动贯穿所述螺纹升降套的一对导向撑杆和固定安装在所述丝杆顶端的伺服电机，所述伺服电机固定安装在一对导向撑杆上所述支撑盘的周侧固定安装有两对延展架，每个延展架和所述直线驱动结构上设置有移位结构，所述移位结构包括铰接在所述直线驱动结构滑动处的牵引杆和铰接在所述牵引杆背向所述直线驱动结构一端的十字滑座，该十字滑座滑动连接在所述延展架内，所述十字滑座的底部从上至下依次设置有称重传感器和真空吸盘。

4、优选的，所述伺服电机上固定安装有安装板。

5、优选的，所述牵引杆铰接在所述螺纹升降套上。

6、优选的，所述延展架内设置有用于十字滑座滑动的滑槽。

7、优选的，所述真空吸盘设置在所述称重传感器的检测端上。

8、优选的，所述真空吸盘上设置有真空管，所述真空管贯穿所述十字滑座并向外延伸。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1、本申请中通过设置直线驱动结构、两对移位结构、两对延展架和两对真空吸盘，利用直线驱动结构竖向的升降动作带动两对移位结构在两对延展架上进行折臂动作，这样可改变同处于圆形路径上两对十字滑座的直径，以灵活改变两对十字滑座的直径为目的，即可调整两对真空吸盘的吸附位置，这样可适应不同规格尺寸的晶圆毛坯实现吸附固定的加工，以满足晶圆毛坯后续精加工的稳定需求。

11、2、本申请中通过设置称重传感器，其可实测吸附在真空吸盘上晶圆毛坯的重量，这样可方便了解晶圆毛坯固定前至精加工后的损耗量，以满足数据的可追溯性。

技术特征：

1.石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，其特征在于，包括支撑盘(1)，所述支撑盘(1)上设置有直线驱动结构(2)，所述直线驱动结构(2)包括通过轴承转动连接在所述支撑盘(1)上的丝杆(21)、螺纹连接在所述丝杆(21)上的螺纹升降套(22)、固定安装在所述支撑盘(1)上且活动贯穿所述螺纹升降套(22)的一对导向撑杆(23)和固定安装在所述丝杆(21)顶端的伺服电机(24)，所述伺服电机(24)固定安装在一对导向撑杆(23)上，所述支撑盘(1)的周侧固定安装有两对延展架(3)，每个延展架(3)和所述直线驱动结构(2)上设置有移位结构(4)，所述移位结构(4)包括铰接在所述直线驱动结构(2)滑动处的牵引杆(41)和铰接在所述牵引杆(41)背向所述直线驱动结构(2)一端的十字滑座(42)，该十字滑座(42)滑动连接在所述延展架(3)内，所述十字滑座(42)的底部从上至下依次设置有称重传感器(5)和真空吸盘(6)。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，其特征在于，所述伺服电机(24)上固定安装有安装板(8)。

3.根据权利要求1所述的石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，其特征在于，所述牵引杆(41)铰接在所述螺纹升降套(22)上。

4.根据权利要求1所述的石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，其特征在于，所述延展架(3)内设置有用于十字滑座(42)滑动的滑槽。

5.根据权利要求1所述的石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，其特征在于，所述真空吸盘(6)设置在所述称重传感器(5)的检测端上。

6.根据权利要求1所述的石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，其特征在于，所述真空吸盘(6)上设置有真空管(7)，所述真空管(7)贯穿所述十字滑座(42)并向外延伸。

技术总结
本技术公开了石英玻璃晶圆毛坯的加工装置，涉及石英玻璃加工技术领域，包括支撑盘，支撑盘上设置有直线驱动结构，直线驱动结构包括丝杆、螺纹升降套、一对导向撑杆和伺服电机；支撑盘的周侧固定安装有两对延展架，每个延展架和直线驱动结构上设置有移位结构，移位结构包括铰接在直线驱动结构滑动处的牵引杆和铰接在牵引杆背向直线驱动结构一端的十字滑座，该十字滑座滑动连接在延展架内，十字滑座的底部从上至下依次设置有称重传感器和真空吸盘。本技术以灵活改变两对十字滑座的直径为目的，即可调整两对真空吸盘的吸附位置，这样可适应不同规格尺寸的晶圆毛坯实现吸附固定的加工，以满足晶圆毛坯后续精加工的稳定需求。

技术研发人员：刘刚
受保护的技术使用者：嘉兴德恩光学科技有限公司
技术研发日：20230918
技术公布日：2024/5/9