多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明是关于一种用于借由钻石尖点(钻石尖头)(diamond point)刻划玻璃基板或硅晶圆等脆性材料基板的多点工具、固定该多点工具的定位机构、内藏该定位机构的刻划头及刻划装置。
【背景技术】
[0002]现有习知的为了刻划玻璃基板或硅晶圆，采用使用刻划轮或单结晶钻石的钻石尖点的工具。针对玻璃基板，一直以来主要是采用相对于基板滚动的刻划轮，但从提高刻划后的基板强度等优点来看，也被检讨使用固定刀刃的钻石尖点。在专利文献1、2中提及用在刻划蓝宝石晶圆或氧化招晶圆(alumina wafer)等高硬度的基板的尖点刀具。上述专利文献中，使用在角锥的棱线上设置有切割用尖点的工具、或前端成为圆锥的工具。此外，在专利文献3中，为了刻划玻璃板而提及一种刻划装置，该刻划装置是使用具有圆锥形前端的玻璃划线具。
[0003]专利文献1:日本特开2003-183040号公报
[0004]专利文献2:日本特开2005-079529号公报
[0005]专利文献3:日本特开2013-043787号公报
[0006]由于若以现有习知的工具进行刻划则尖点将磨耗(磨损)，因此有必要变更尖点。在角锥形或圆锥形的工具中成为可使用的顶点的尖点为二个部位或最多四个部位。因此存在如下的问题:当变更二个部位或四个部位的尖点时必须更换工具，且更换频度高。再者，为了更换工具，必须使保持工具的轴为中心并旋转，且难以精度佳地调整尖点接触基板的角度。
[0007]有鉴于上述现有的多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置存在的问题，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置，能够解决现有的刻划头及刻划装置存在的问题，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。
【发明内容】
[0008]本发明是有鉴于如此般的现有习知问题而完成，本发明的目的在于提供一种即使是在刻划中所使用的尖点磨耗，也能够容易地变更并固定尖点位置的多点工具、多点工具的定位机构、内藏该定位机构的刻划头及刻划装置。
[0009]本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。
[0010]本发明提供的多点工具的定位机构，是进行呈旋转自如地安装在刻划头的多点工具的定位；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成多个第I缺口，在该第I缺口间呈等间隔地形成较第I缺口更深的多个第2缺口 ；该定位机构，具备:刃前端固定销，在一端具有与该多点工具的第2缺口的间隔相等的一对突起部，在中央具有相对于与轴垂直的另一轴倾斜的贯通孔；以及锁止销，插入该刃前端固定销的贯通孔，借由与该刃前端固定销的轴垂直地滑动并借由该刃前端固定销而使该多点工具锁止及解除锁止。
[0011]本发明的目的及解决其技术问题还可以采用以下技术方案来实现。
[0012]本发明提供的多点工具的定位机构，是进行呈旋转自如地安装在刻划头的多点工具的定位；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成多个第I缺口，在该第I缺口间呈等间隔地形成较第I缺口更深的多个第2缺口 ；该定位机构，具备:刃前端固定销，在一端具有与该多点工具的第2缺口的间隔相等的一对突起部，在中央具有与轴垂直地形成曲柄(crank)状的贯通孔；以及锁止销，插入该刃前端固定销的贯通孔，借由与该刃前端固定销的轴垂直地滑动并借由该刃前端固定销而使该多点工具锁止及解除锁止。
[0013]本发明的目的及解决其技术问题采用以下技术措施进一步实现。
[0014]前述的锁止销以前端细的锥状部相互相向配合的方式形成，该锥状部插入该刃前端固定销的贯通孔。
[0015]前述的多点工具的定位机构进一步具有使该多点工具旋转既定角度的滑件。
[0016]本发明的目的及解决其技术问题另外还可采用以下技术方案来实现。
[0017]本发明的多点工具，是呈旋转自如地安装在刻划头；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成有多个第I缺口，在该第I缺口间呈等间隔地形成较第I缺口更深的多个第2缺口，在进行刻划时借由在该第2缺口抵接刃前端固定销而抑制其旋转。
[0018]本发明的目的及解决其技术问题另外还可采用以下技术方案来实现。
[0019]本发明的刻划头，是具备安装成旋转自如的多点工具与该多点工具的定位机构；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成多个第I缺口，在该第I缺口间呈等间隔地形成较第I缺口更深的多个第2缺口 ；该定位机构，具备:刃前端固定销，在一端具有与该多点工具的第2缺口的间隔相等的一对突起部，在中央具有相对于与轴垂直的另一轴倾斜的贯通孔；以及锁止销，插入该刃前端固定销的贯通孔，借由与该刃前端固定销的轴垂直地滑动并借由该刃前端固定销而使该多点工具锁止及解除锁止。
[0020]本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0021]前述的刻划头进一步具备使该多点工具旋转既定角度的滑件。
[0022]本发明的目的及解决其技术问题另外还可采用以下技术方案来实现。
[0023]本发明的刻划装置，具备刻划头、呈旋转自如地安装在刻划头的多点工具及该多点工具的定位机构；该多点工具，在旋转对称体的基座外周形成多个第I缺口，在该第I缺口间呈等间隔地形成较第I缺口更深的多个第2缺口 ；该定位机构，具备:刃前端固定销，在一端具有与该多点工具的第2缺口的间隔相等的一对突起部，在中央具有相对于与轴垂直的另一轴倾斜的贯通孔；锁止销，插入该刃前端固定销的贯通孔，借由与该刃前端固定销的轴垂直地滑动并借由该刃前端固定销而使该多点工具锁止及解除锁止；以及滑件，使该多点工具旋转既定角度。
[0024]本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明多点工具、多点工具的定位机构、刻划头及刻划装置至少具有下列优点及有益效果:
[0025]本发明能够借由使刃前端固定销的突起部卡合于第2缺口部而固定多点工具。此夕卜，也在变更尖点位置的情形时，借由解除锁止，并使工具旋转既定角度后进一步再次锁止，而能够容易地调整尖点至相同位置。因此可获得能够容易地进行多点工具的尖点切换的效果。此外，即便使工具旋转，也由于在工具的侧视观察下刃前端的棱线接触基板的角度不变，因此能容易调整尖点相对于基板的接触角度。
[0026]综上所述，本发明在技术上有显著的进步，并具有明显的积极效果，诚为新颖、进步、实用的新设计。
[0027]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0028]图1是表示本发明的实施结构的刻划装置的立体图。
[0029]图2 (a)、图2 (b)是本发明的实施结构的定位机构中使用的多点工具的侧视图及主视图。
[0030]图3(a)是表示本发明的第一实施结构的内藏有定位机构的刻划头的锁止时的概略图。
[0031]图3(b)是表示本发明的第一实施结构的内藏有定位机构的刻划头的解除锁止时的概略图。
[0032]图4(a)、图4(b)是表示本发明的实施结构的刃前端固定销的立体图及剖面图。
[0033]图5是表示本发明的实施结构的锁止销的立体图。
[0034]图6(a)?图6(d)是表示本发明的实施结构的内藏滑件保持机构的刻划头的概略图。
[0035]图7(a)、图7(b)是表示本发明的第一实施例的使用借由定位机构固定的多点工