一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门的制作方法

文档序号:31506084发布日期:2022-09-14 10:14阅读:93来源:国知局
一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,特别是一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。
3.大多数的真空镀膜机中的弧源固定在真空镀膜机的内部无法进行拆卸,一旦安装出现错误就有可能造成整个机器报废的情况,由于弧源时直接固定在真空镀膜机的内部,所以弧源的数量无法进行更改,圆弧的位置也无法更改,所以一台机器只能适配一种器材,为了解决以上提问,提出一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。
5.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体的一侧转动连接有一个镀膜机门,所述真空镀膜机本体通过合页与镀膜机门转动连接,所述镀膜机门的一侧开设有一个通槽,所述镀膜机门的一侧固定连接有两个滑道,两个所述滑道呈对称分布,所述镀膜机门的一侧固定连接有两个限位块,两个所述限位块呈对称分布,两个所述滑道的顶部设置有两个固定块,所述通槽的内部卡接有一个拼装门,所述拼装门的顶部和底部均卡接于通槽的内部。
6.可选的,所述固定块的一侧开设有两个滑槽,两个所述滑槽呈对称分布,所述固定块的一侧开设有两个通孔,两个所述通孔呈对称分布,所述固定块的一侧固定连接有若干定位柱,若干所述定位柱呈线型均匀分布,两个所述通孔的内部均设置有一个丝杠。
7.可选的,所述丝杠外表面的一侧开设有反向螺纹,两个所述丝杠外表面的一侧均固定连接有一个带轮,其中一个所述带轮的一侧固定连接有转盘,两个所述带轮通过v带转动连接。
8.可选的,所述拼装门的一侧固定连接有若干弧源,若干所述弧源呈线性均匀对称分布,所述拼装门的两侧均固定连接有一个隔板,两个隔板的一侧开设有若干定位孔,若干所述定位孔呈线性均匀分布。
9.可选的,所述丝杠的形状和大小与通孔的形状和大小相适配,所述丝杠外表面的一侧螺纹连接于通孔的内部。
10.可选的,所述定位柱的形状和大小与定位孔的形状和大小相适配,所述定位柱外表面的一侧插接于定位孔的内部。
11.可选的,所述滑道的形状和大小与滑槽的形状和大小相适配,所述滑道外表面的
一侧滑动连接于滑槽的内部。
12.本实用新型具有以下优点:
13.本新型的真空镀膜机中的镀膜机门中通槽的内部安装有拼装门,拼装门上安装有弧源,拼装门可以在通槽中进行拆卸,这样就方便拆卸和更换,避免了在错误的安装后无法进行更换造成的报废,在拆卸后可以安装到各个不同的真空镀膜机中使用,避免了因为机器的限制,弧源无法通用,拼装门还可以更改弧源的数量,安装不同数量的弧源,本新型的拼装门降低了企业的运营费用,也提高了生产效率,减少了工人们的工作量,非常值得推广。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图;
15.图2为本实用新型镀膜机门的结构示意图;
16.图3为本实用新型固定块的结构示意图;
17.图4为本实用新型丝杠的结构示意图;
18.图5为本实用新型拼装门的结构示意图。
19.图中:1-真空镀膜机本体,2-镀膜机门,201-通槽,202-滑道,3-固定块, 301-滑槽,302-通孔,303-定位柱,4-丝杠,401-带轮,402-转盘,5-拼装门,501
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弧源,502-隔板,503-定位孔。
具体实施方式
20.下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
21.如图1-5所示,一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门,它包括真空镀膜机本体1,真空镀膜机本体1的一侧转动连接有一个镀膜机门2,真空镀膜机本体1 通过合页与镀膜机门2转动连接,镀膜机门2的一侧开设有一个通槽201,镀膜机门2的一侧固定连接有两个滑道202,两个滑道202呈对称分布,镀膜机门2 的一侧固定连接有两个限位块,两个限位块呈对称分布,限位块用于套接丝杠4 以控制丝杠4,防止丝杠4发生位移,两个滑道202的顶部设置有两个固定块3,通槽201的内部卡接有一个拼装门5,拼装门5的顶部和底部均卡接于通槽201 的内部,本新型的真空镀膜机中的镀膜机门2中通槽201的内部安装有拼装门5,拼装门5上安装有弧源501,拼装门5可以在通槽201中进行拆卸,这样就方便拆卸和更换,避免了在错误的安装后无法进行更换造成的报废,在拆卸后可以安装到各个不同的真空镀膜机中使用,避免了因为机器的限制,弧源501无法通用,拼装门5还可以更改弧源501的数量,安装不同数量的弧源501,本新型的拼装门降低了企业的运营费用,也提高了生产效率,减少了工人们的工作量,非常值得推广。
22.作为本实用新型的一种优选技术方案:固定块3的一侧开设有两个滑槽301,两个滑槽301呈对称分布,固定块3的一侧开设有两个通孔302,两个通孔302 呈对称分布,固定块3的一侧固定连接有若干定位柱303,定位柱303会插接在定位孔503的内部,这样就可以增大固定块和拼装门5的接触面积,更好的固定拼装门5,若干定位柱303呈线型均匀分布,两个通孔302的内部均设置有一个丝杠4,丝杠4可以带动固定块3进行移动,因为丝杠4外表
面开设有反向螺纹,所以当丝杠4转动时两个固定块3会通过反向螺纹往丝杠4的中部进行移动,移动一定程度后两个固定块3就会对拼装门5进行固定。
23.作为本实用新型的一种优选技术方案:丝杠4外表面的一侧开设有反向螺纹,两个丝杠4外表面的一侧均固定连接有一个带轮401,其中一个带轮401的一侧固定连接有转盘402,两个带轮401通过v带转动连接,通过转盘402带动丝杠4转动,丝杠会带动带轮401转动,其中一个带轮401转动就会通过v 带带动另一个带轮401转动,另一个带轮401就会带动另一个丝杠4进行移动。
24.作为本实用新型的一种优选技术方案:拼装门5的一侧固定连接有若干弧源501,若干弧源501呈线性均匀对称分布,弧源501的数量可以通过拆卸进行改变,拼装门5的两侧均固定连接有一个隔板502,两个隔板502的一侧开设有若干定位孔503,若干定位孔503呈线性均匀分布。
25.作为本实用新型的一种优选技术方案:丝杠4的形状和大小与通孔302的形状和大小相适配,丝杠4外表面的一侧螺纹连接于通孔302的内部。
26.作为本实用新型的一种优选技术方案:定位柱303的形状和大小与定位孔 503的形状和大小相适配,定位柱303外表面的一侧插接于定位孔503的内部。
27.作为本实用新型的一种优选技术方案:滑道202的形状和大小与滑槽301 的形状和大小相适配,滑道202外表面的一侧滑动连接于滑槽301的内部。
28.综上所述:本新型的真空镀膜机中的镀膜机门2中通槽201的内部安装有拼装门5,拼装门5上安装有弧源501,拼装门5可以在通槽201中进行拆卸,这样就方便拆卸和更换,避免了在错误的安装后无法进行更换造成的报废,在拆卸后可以安装到各个不同的真空镀膜机中使用,避免了因为机器的限制,弧源501无法通用,拼装门5还可以更改弧源501的数量,安装不同数量的弧源 501,本新型的拼装门降低了企业的运营费用,也提高了生产效率,减少了工人们的工作量,非常值得推广。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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