一种用于新型真空密封门板的密封结构的制作方法

文档序号:33292767发布日期:2023-02-28 20:26阅读:26来源:国知局
一种用于新型真空密封门板的密封结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空密封技术领域,特指一种用于新型真空密封门板的密封结构。


背景技术:

2.真空密封门板结构是一种进行门板真空密封的支撑结构,现有密封功能都是通过移动带有密封槽的门板挤压密封圈实现的且密封圈受压面为平面,为了减小密封圈的磨损,门板位移主要可分为以下几种形式:通过翻转门板来实现此功能;先水平移动门板再竖直移动门板;先水平移动门板再倾斜移动门板,随着科技的不断发展,人们对于真空密封门板结构的制造工艺要求也越来越高。
3.如本公司之前申请的专利号为2021116460202的一种新型的真空密封门板结构,通过采用空间形密封圈,不仅能满足设备的密封要求,且结构紧凑;但空间形密封圈仅通过密封安装槽安装在移动门板上,工作时空间形密封圈容易从密封安装槽内脱落,影响密封效果。


技术实现要素:

4.本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种用于新型真空密封门板的密封结构。
5.为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种用于新型真空密封门板的密封结构,包含固定门板、移动门板和空间形密封圈;
6.所述固定门板的底部设置有上空间形密封面;
7.所述移动门板设置在固定门板的下方;所述移动门板的顶部设置有与上空间形密封面对应放置的下空间形密封面;
8.所述空间形密封圈固定设置在下空间形密封面上。
9.优选的,所述空间形密封圈与移动门板采用硫化技术一体成型。
10.优选的,所述下空间形密封面上设置有空间形密封槽;所述空间形密封圈的下部通过胶水固定设置在空间形密封槽内,上部突出下空间形密封面。
11.优选的,所述空间形密封槽为燕尾槽结构。
12.优选的,所述空间形密封圈的上部截面形状为半圆形、矩形、三角形、星型中的一种,下部截面形状为半圆形、矩形、三角形中的一种。
13.优选的,所述上空间形密封面和下空间形密封面均包括外密封面、设置在外密封面内侧且高度交错放置的内密封面、分别用于连接外密封面和内密封面两端的空间u形密封面。
14.由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
15.1、本实用新型通过将空间形密封圈固定设置在下空间形密封面上,能有效防止空间形密封圈在工作时从密封安装槽内脱落,提高密封效果;
16.2、本实用新型结构简单紧凑,且在较大的正反压力差的工况下能满足密封要求,可以广泛应用于各种真空领域。
附图说明
17.下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:
18.附图1为本实用新型所述的用于新型真空密封门板的密封结构的结构示意图;
19.附图2为本实用新型所述的用于新型真空密封门板的密封结构的剖视图;
20.附图3为本实用新型中移动门板结构示意图。
21.其中:1、固定门板;11、上空间形密封面;2、移动门板;21、下空间形密封面;22、空间形密封槽;23、外密封面;24、内密封面; 25、u形密封面;3、空间形密封圈。
具体实施方式
22.下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
23.附图1-3为本实用新型所述的用于新型真空密封门板的密封结构,包含固定门板1、移动门板2和空间形密封圈3;
24.所述固定门板1的底部设置有上空间形密封面11;
25.所述移动门板2设置在固定门板1的下方;所述移动门板2的顶部设置有与上空间形密封面11对应放置的下空间形密封面21;
26.所述空间形密封圈3固定设置在下空间形密封面21上。
27.本实用新型通过将空间形密封圈3固定设置在下空间形密封面21 上,能有效防止空间形密封圈3在工作时从密封安装槽内脱落,提高密封效果,具有结构简单紧凑、成本低等优点,可以广泛应用于各种真空领域
28.进一步,所述空间形密封圈3与移动门板2采用硫化技术一体成型;本发明通过采用一体成型硫化技术将空间形密封圈3和移动门板2 直接成型在一起,适用大批量生产,提高了生产效率。
29.进一步,所述下空间形密封面21上设置有空间形密封槽22;所述空间形密封圈3的下部通过胶水固定设置在空间形密封槽22内,上部突出下空间形密封面21;本发明通过将空间形密封圈3的下部通过胶水固定设置在空间形密封槽22内,适用小批量生产,节省生产成本。
30.进一步,所述空间形密封槽22为燕尾槽结构,使得连接更加稳固。
31.进一步,所述空间形密封圈3的上部截面形状为半圆形、矩形、三角形、星型以及其他形状,下部截面形状为半圆形、矩形、三角形以及其他形状,可根据密封要求进行选择。
32.进一步,所述上空间形密封面11和下空间形密封面21均包括外密封面23、设置在外密封面23内侧且高度交错放置的内密封面24、分别用于连接外密封面23和内密封面24两端的空间u形密封面25;本实用新型通过设置高度交错放置的外密封面23和内密封面24,只需要驱动移动门板2向上运动,使空间形密封圈3与上空间形密封面11接触,便能现实密封,使得整体结构更加紧凑,可以广泛应用于各种真空领域。
33.以上仅是本实用新型的具体应用范例,对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案,均落在本实用新型权利保护范围之内。


技术特征:
1.一种用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:包含固定门板、移动门板和空间形密封圈;所述固定门板的底部设置有上空间形密封面;所述移动门板设置在固定门板的下方;所述移动门板的顶部设置有与上空间形密封面对应放置的下空间形密封面;所述空间形密封圈固定设置在下空间形密封面上。2.根据权利要求1所述的用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:所述空间形密封圈与移动门板采用硫化技术一体成型。3.根据权利要求1所述的用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:所述下空间形密封面上设置有空间形密封槽;所述空间形密封圈的下部通过胶水固定设置在空间形密封槽内,上部突出下空间形密封面。4.根据权利要求3所述的用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:所述空间形密封槽为燕尾槽结构。5.根据权利要求1所述的用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:所述空间形密封圈的上部截面形状为半圆形、矩形、三角形、星型中的一种,下部截面形状为半圆形、矩形、三角形中的一种。6.根据权利要求1所述的用于新型真空密封门板的密封结构,其特征在于:所述上空间形密封面和下空间形密封面均包括外密封面、设置在外密封面内侧且高度交错放置的内密封面、分别用于连接外密封面和内密封面两端的空间u形密封面。

技术总结
本实用新型涉及一种用于新型真空密封门板的密封结构,包含固定门板、移动门板和空间形密封圈;所述固定门板的底部设置有上空间形密封面;所述移动门板设置在固定门板的下方;所述移动门板的顶部设置有与上空间形密封面对应放置的下空间形密封面;所述空间形密封圈固定设置在下空间形密封面上;本实用新型通过将空间形密封圈固定设置在下空间形密封面上,能有效防止空间形密封圈在工作时从密封安装槽内脱落,提高密封效果,具有结构简单紧凑、成本低等优点,可以广泛应用于各种真空领域。可以广泛应用于各种真空领域。可以广泛应用于各种真空领域。


技术研发人员:李洋
受保护的技术使用者:苏州子山半导体科技有限公司
技术研发日:2022.04.01
技术公布日:2023/2/27
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