一种防护装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种防护装置。


背景技术：

2.目前，用于半导体器件加工的设备，受制于设备自身结构布局及其工艺制程的需要，会在工位上加装防护罩，工件加工过程中通过防护罩上的升降门进出防护罩，以此对工位形成遮挡。而实际中，工件进出的升降门通常会与相邻工位的结构器件形成碰撞和干涉，影响工件正常加工。


技术实现要素：

3.(一)要解决的技术问题
4.本实用新型旨在提出一种防护装置，能够在满足工位内工件进出和遮挡需求的同时，避免与相邻工位的器件形成碰撞。
5.(二)技术方案
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种防护装置，防护罩，所述防护罩上分别设有用于工件流入的第二自动门和工件流出第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；
7.当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体向上翻转，同时折叠门向上折叠收起并在自动门本体上形成缺口；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体向下翻转至原位，同时折叠门重新展开至原位。
8.根据本实用新型一种优选实施方式，所述自动门本体的相对两侧分别设置有第一气缸，所述第一气缸的两端分别与所述自动门本体及所述防护罩转动连接。
9.根据本实用新型一种优选实施方式，所述折叠门相对两侧分别安装有第二气缸，所述第二气缸的一端与所述折叠门下端紧固，所述第二气缸的另一端与所述自动门本体紧固。
10.根据本实用新型一种优选实施方式，所述缺口的相对两侧分别设置有与所述折叠门两侧边相匹配的第一滑动组件。
11.根据本实用新型一种优选实施方式，所述折叠门包括：多个并排设置且相互铰接的门扇，每个所述门扇相对两端分别设置有与所述第一滑动组件相匹配的第二滑动组件。
12.根据本实用新型一种优选实施方式，所述第一滑动组件设置为滑槽，所述第二滑动组件设置为滚轮，所述滚轮分别枢接于所述门扇的相对两端并与所述滑槽相配合。
13.根据本实用新型一种优选实施方式，所述自动门本体的顶部与防护罩通过铰链相铰接。
14.根据本实用新型一种优选实施方式，所述第二自动门为升降式自动门。
15.根据本实用新型一种优选实施方式，所述第一气缸的一端通过连接杆与所述自动门本体转动连接，所述第一气缸的另一端与所述防护罩上的连接杆转动连接。
16.根据本实用新型一种优选实施方式，所述第二气缸的驱动端与外延于所述折叠门下端的延伸杆紧固，所述第二气缸的另一端固定于自动门本体。
17.(三)有益效果
18.本实用新型提供的防护装置，将第一自动门设置为可在防护罩外面向上翻转的自动门本体，和开设于所述自动门本体上的折叠门；当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体向上翻转，同时折叠门向上折叠收起并在自动门本体上形成缺口，通过缺口与相邻工位上的器件形成避让，从而避免与相邻工位的器件形成碰撞或干涉；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体向下翻转至原位，同时折叠门重新展开至原位，对工位重新形成遮挡。因此，本实用新型通过自动门本体的翻转及折叠门的折叠，能够在满足工位内工件进出和遮挡需求的同时，避免与相邻工位的器件形成碰撞。
附图说明
19.图1是本实用新型防护装置的结构示意图；
20.图2是本本实用新型防护装置自动门本体向上翻转同时折叠门向上折叠收起的状态示意图；
21.图3是本实用新型第一自动门的结构示意图。
22.其中：1-防护罩，2-自动门本体，21-第一气缸，22-折叠门，220-延伸杆，221-第二气缸，222-门扇，3-第二自动门。
具体实施方式
23.在对于具体实施例的介绍过程中，对结构、性能、效果或者其他特征的细节描述是为了使本领域的技术人员对实施例能够充分理解。但是，并不排除本领域技术人员可以在特定情况下，以不含有上述结构、性能、效果或者其他特征的技术方案来实施本实用新型。
24.附图中的框图一般表示的是功能实体，并不一定必然与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理单元装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
25.各附图中相同的附图标记表示相同或类似的元件、组件或部分，因而下文中可能省略了对相同或类似的元件、组件或部分的重复描述。还应理解，虽然本文中可能使用第一、第二、第三等表示编号的定语来描述各种器件、元件、组件或部分，但是这些器件、元件、组件或部分不应受这些定语的限制。也就是说，这些定语仅是用来将一者与另一者区分。例如，第一器件亦可称为第二器件，但不偏离本实用新型实质的技术方案。此外，术语“和/或”、“及/或”是指包括所列出项目中的任一个或多个的所有组合。
26.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。
27.图1是本实用新型提出的一种防护装置，如图1所示，该防护装置包括：防护罩1，所述防护罩1上分别设有用于工件流入的第二自动门3和工件流出的第一自动门，所述第一自动门包括：可在防护罩1外面向上翻转的自动门本体2，和开设于所述自动门本体2上的折叠门22；如图2，当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体2向上翻转，同时折叠门22向上
折叠收起并在自动门本体2上形成缺口；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体2向下翻转至原位，同时折叠门22重新展开至原位。即自动门本体2与折叠门22均复位至图1的状态，对工位形成遮挡。
28.为了方便自动门本体2的翻转，所述自动门本体2相对两侧分别设置有第一气缸21，所述第一气缸21的一端与所述自动门本体2转动连接，所述第一气缸21的另一端与所述防护罩1转动连接。具体的，参见图2和图3，第一气缸21的一端通过第一连接杆与所述自动门本体2转动连接，第一气缸21的另一端与所述防护罩1上的连接杆转动连接，从而通过第一气缸21驱动自动门本体2向上翻转。
29.为了方便折叠门22的折叠，折叠门22相对两侧分别安装有第二气缸221，所述第二气缸221的驱动端与外延于折叠门22下端的延伸杆220紧固，所述第二气缸221的另一端固定于自动门本体2。具体的，参见图3，第二气缸221的驱动端与外延于折叠门22下端的延伸杆220紧固，第二气缸221的另一端通过可伸缩的驱动杆固定于自动门本体2上。通过第二气缸221驱动所述驱动杆伸缩，使折叠门22沿缺口长度方向折叠。
30.进一步的，为了方便折叠门22顺畅的折叠，所述自动门本体2两侧分别设置有与所述折叠门22侧边相匹配的第一滑动组件。其中：所述第一滑动组件可以是设置于自动门本体2上的滑轨或者滑槽，折叠门22的侧边可在该滑轨或者滑槽内滑动。示例性的，折叠门22可以包括：多个并排设置且相互铰接的门扇222，每个门扇222相对的两端分别设置有与所述第一滑动组件相匹配的第二滑动组件。比如第一滑动组件为滑轨，则第二滑动组件可以设置为可以在该滑轨内滑动的滑轮。折叠门向上收缩时，第二气缸221驱动所述驱动杆伸长，带动滑轮向上运动，使各个门扇折叠。或者，所述第一滑动组件设置为滑槽，所述第二滑动组件设置为滚轮，所述滚轮分别枢接于所述门扇222相对的两端并与所述滑槽相配合。
31.本实施例中，自动门本体2的顶部与防护罩1通过铰链相铰接。示例性的，自动门本体2可设置为门框，门框顶部的上顶面与防护罩1铰接，从而保证自动门本体2可在防护罩1外面向上翻转。折叠门22最上端的门扇222的上顶面与自动门本体2顶部的下底面紧固。
32.本实施例中，所述第二自动门3可以采用升降式自动门。
33.进一步的，为了实现对第一自动门的自动化精准控制，所述防护装置还可以包括：控制器，用于根据第一自动门的控制信号控制所述自动门本体2和所述折叠门22的状态。
34.可选的，可以通过第一自动门控制信号的类型控制所述自动门本体2和所述折叠门22的状态。则第一自动门上还可以设置有检测机构，用于检测工件与所述第一自动门的位置关系，并将所述位置关系发送给控制器，所述控制器根据所述位置关系判断第一自动门的控制信号的类型。
35.其中：第一自动门控制信号的类型可以包括：开启控制信号，用于控制第一自动门开启，和关闭控制信号，用于控制第一自动门关闭。则所述检测机构可以采用距离传感器，其实时检测工件与第一自动门的距离；所述控制器：根据实时距离确定距离变化趋势，并当工件与第一自动门的距离逐渐减小且小于预定距离时，即工件越来越靠近第一自动门，且达到了最近距离，确定第一自动门的控制信号类型为开启控制信号，当工件与第一自动门的距离逐渐增大且大于预定距离时，即工件越来越远离第一自动门，且达到了最远距离，确定第一自动门的控制信号类型为关闭控制信号。其中：预定距离可以根据实际精度需要确定。
36.在控制过程中，所述控制器用于根据第一自动门的开启控制信号控制所述自动门本体2向上翻转，同时控制所述折叠门22向上折叠收起在自动门本体2上形成缺口；所述控制器还用于根据第一自动门的关闭控制信号控制自动门本体2向下翻转至原位，同时控制所述折叠门22重新展开至原位。
37.进一步的，所述控制器，还可以根据第二自动门3的控制信号控制所述第二自动门3的状态，从而实现对第二自动门3的自动化精准控制。对应的，在第二自动门3上还可以设置有检测机构，用于检测工件与所述第二自动门3的位置关系，并将所述位置关系发送给控制器，所述控制器根据所述位置关系判断第二自动门3的控制信号的类型。具体判断过程与判断第一自动门的控制信号的类型相同，此处不再赘述。随后，控制器根据第二自动门3的开启控制信号控制所述第二自动门3向上升起；根据第二自动门3的关闭控制信号控制第二自动门3下降至原位。
38.本实用新型提供的防护装置，将第一自动门设置为可在防护罩1外面向上翻转的自动门本体2，和开设于所述自动门本体2上的折叠门22；当工件从第一自动门流出时，所述自动门本体2向上翻转，同时折叠门22向上折叠收起并在自动门本体2上形成缺口，通过缺口与相邻工位上的器件形成避让，从而避免与相邻工位的器件形成碰撞或干涉；当工件从所述第一自动门流出后，所述自动门本体2向下翻转至原位，同时折叠门22重新展开至原位，对工位重新形成遮挡。因此，本实用新型通过自动门本体2的翻转及折叠门22的折叠，能够在满足工位内工件进出和遮挡需求的同时，避免与相邻工位的器件形成碰撞。
39.以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，本实用新型不与任何特定计算机、虚拟装置或者电子设备固有相关，各种通用装置也可以实现本实用新型。以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。