开合装置及加工设备的制作方法

1.本技术属于生产加工技术领域，更具体地说，涉及一种开合装置及加工设备。


背景技术：

2.近年来，激光切割技术在晶圆精密加工行业迅速发展。在行业内，晶圆加工设备的放料盒的门通过推拉实现打开，在设备出现异常情况需要开门维修时需要将整个门从设备拆卸下来，不便于操作。


技术实现要素：

3.本技术的实施例提供一种开合装置及加工设备，能便于操作。
4.第一方面，本技术的实施例提供一种开合装置，包括：
5.门框；
6.开合门，连接于所述门框且能相对所述门框转动；
7.推拉门，连接于所述开合门以跟随所述开合门转动，且能沿所述开合装置的长度方向相对所述开合门移动。
8.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述开合装置还包括：
9.限位滚轮，可转动地设置于所述门框且能抵持于所述推拉门，以在所述开合装置的宽度方向对所述推拉门限位。
10.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述限位滚轮的数量为多个，各所述限位滚轮沿所述开合装置的长度方向设置。
11.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述开合装置还包括：
12.遮挡部件，设置于所述门框，以遮挡所述推拉门与所述门框之间的缝隙。
13.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述遮挡部件的长度方向与所述开合装置的长度方向平行，以遮挡所述推拉门与所述门框在所述开合装置的高度方向的缝隙。
14.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述推拉门设有缺口，以在所述推拉门跟随所述开合门转动时避让所述遮挡部件。
15.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述推拉门包括：
16.门主体，所述缺口设置于所述门主体；
17.把手，设置于所述门主体，且与所述缺口在所述开合装置的高度方向对应。
18.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述开合装置还包括：
19.移动滚轮，可转动地设置于所述推拉门，且能抵持于所述门框，以跟随所述推拉门沿所述开合装置的长度方向相对所述门框移动。
20.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述开合门设有安装部，所述开合门通过所述安装部可拆卸地固定设置于所述门框。
21.在第一方面的一些可能的实施方式中，所述开合装置还包括：
22.滑轨，所述推拉门通过所述滑轨可移动地连接于所述开合门。
23.第二方面，本技术的实施例提供一种加工设备，包括上述任一项所述开合装置。
24.本技术的实施例与现有技术相比存在的有益效果是：
25.推拉门沿开合装置的长度方向相对开合门移回，实现收纳于开合门，开合门带动推拉门相对门框转动，能使得整个开合装置腾出较大的空间供维护或维修，便于操作。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术的实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1为本技术一实施例提供的开合装置的推拉门处于关闭状态的工作状态图；
28.图2为本技术一实施例提供的开合装置的推拉门处于打开状态的工作状态图；
29.图3为本技术一实施例提供的开合装置的开合门处于打开状态的工作状态图。
具体实施方式
30.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图1至图3及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
31.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
32.需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
33.应当理解，在本技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
34.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
35.图1为本技术一实施例提供的开合装置的推拉门3处于关闭状态的工作状态图。图2为本技术一实施例提供的开合装置的推拉门3处于打开状态的工作状态图。图3为本技术一实施例提供的开合装置的开合门2处于打开状态的工作状态图。参考图1至图3，本技术的实施例提供一种开合装置，包括门框1、开合门2和推拉门3。
36.门框1是开合装置的主体。
37.开合门2连接于门框1且能相对门框1转动。
38.参考图3，示例的，开合门2通过铰链(比如重载铰链)连接于门框1，以实现相对门框1转动。当然，开合门2还可以通过轴承连接于门框1，也能实现相对门框1转动。
39.参考图3，推拉门3连接于开合门2以跟随开合门2转动。
40.参考图1和图2，推拉门3还能沿开合装置的长度方向l相对开合门2移动，实现自由推拉。
41.参考图1，推拉门3沿长度方向l相对开合门2移出至与门框1抵持，能实现关闭开合装置；参考图2，推拉门3沿长度方向l相对开合门2移回，能实现打开开合装置，推拉门3收纳于开合门2。
42.参考图3，示例的，推拉门3通过滑轨9可移动地连接于开合门2。这样，在外部的推拉作用下，推拉门3能相对开合门2移出或缩回，能使得推拉门3的移动更加顺畅。
43.滑轨9可以是滚珠滑轨。
44.滑轨9的数量可以是多个。示例的，滑轨9的数量为两个；沿高度方向h，一个滑轨9设置于开合门2的上部，另一个一个滑轨9设置于开合门2的下部。
45.当然，推拉门3还可以通过直线电机可移动地连接于开合门2。
46.根据上述内容可知，推拉门3沿长度方向l相对开合门2移回，实现收纳于开合门2，开合门2带动推拉门3相对门框1转动，能使得整个开合装置腾出较大的空间供维护或维修，便于操作。此外，由于推拉门3收纳于开合门2，能减短转动力臂，能使得开合门2带动推拉门3平稳转动。
47.参考图3，在一些实施例中，开合装置还包括限位滚轮4。
48.限位滚轮4可转动地设置于门框1且能抵持于推拉门3，以在开合装置的宽度方向w对推拉门3限位，防止推拉门3在宽度方向w相对门框1移动。
49.参考图3，在一些实施例中，限位滚轮4的数量为多个，各限位滚轮4沿开合装置的长度方向l设置，在长度方向l对推拉门3进行多点限位，这样能使得推拉门3沿长度方向l平稳地移动。
50.参考图1和图2，在一些实施例中，开合装置还包括遮挡部件5。
51.参考图1和图2，遮挡部件5设置于门框1，以遮挡推拉门3与门框1之间的缝隙，能保障推拉门3与门框1之间的封闭性。
52.遮挡部件5可以是块状的或者条状的。
53.遮挡部件5的数量可以是多个。
54.参考图1和图2，示例的，遮挡部件5的数量为两个；沿高度方向h，一个遮挡部件5位于推拉门3的上方，另一个遮挡部件5位于推拉门3的下方。
55.参考图1和图2，在一些实施例中，遮挡部件5的长度方向与开合装置的长度方向l平行，以遮挡推拉门3与门框1在开合装置的高度方向h的缝隙。
56.参考图3，在一些实施例中，推拉门3设有缺口310，以在推拉门3跟随开合门2转动时避让遮挡部件5，使得开合门2能顺利相对门框1转动打开。
57.参考图3，在一些实施例中，推拉门3包括门主体31和把手32。
58.前述缺口310设置于门主体31。
59.把手32设置于门主体31。
60.把手32与缺口310在开合装置的高度方向h对应。
61.参考图2，推拉门3收纳于开合门2时需要露出把手32，也即推拉门3的一部分需要露出于开合门2。缺口310的设置，使得推拉门3可以设置把手32以便操作推拉门3，也使得推
拉门3跟随开合门2转动时前述一部分能避让遮挡部件5。
62.参考图3，在一些实施例中，开合装置还包括移动滚轮6。
63.移动滚轮6可转动地设置于推拉门3，且能抵持于门框1，以跟随推拉门3沿开合装置的长度方向l相对门框1移动。
64.移动滚轮6可以是设置于推拉门3在高度方向h的底部。
65.移动滚轮6的设置，使得推拉门3能沿长度方向l相对门框1顺畅地移动。
66.参考图2，在一些实施例中，开合门2设有安装部210。
67.安装部210可以是孔(比如螺纹孔)或者紧固件(比如螺栓)。
68.开合门2通过安装部210可拆卸地固定设置于门框1，起到固定开合门2的作用。在需要的时候将开合门2从门框1拆卸，将推拉门3推至收纳于开合门2，然后相对门框1转动开合门2，打开整个开合装置，能防止非专业维修人员随意打开。
69.前述紧固件可以是非标准(或者说非常规)的螺丝，能更好地防止非专业维修人员随意打开整个开合装置。
70.参考图3，在一些实施例中，开合装置还包括接近传感器7。
71.接近传感器7用于检测推拉门3的位置，以确定推拉门3是处于打开状态还是关闭状态，便于控制。
72.接近传感器7可以是红外接近传感器或者磁性感应开关。
73.当接近传感器7为磁性感应开关时，沿长度方向l，门框1的两侧设置有接近传感器7。沿长度方向l，推拉门3的两侧设置有磁性部件(比如铁片)。
74.当推拉门3沿长度方向l相对开合门2移出时，推拉门3一侧的磁性部件会触碰到其中一个磁性感应开关，磁性感应开关确定推拉门3处于关闭状态。当推拉门3沿长度方向l相对开合门2缩回时，推拉门3另一侧的磁性部件会触碰到另一个磁性感应开关，磁性感应开关确定推拉门3处于打开状态。
75.本技术的实施例提供的开合装置的工作原理如下：
76.开合门2通过安装部210可拆卸地固定设置于门框1；推拉门3能沿长度方向l相对开合门2移出或缩回；拉动把手32，使得推拉门3沿长度方向l相对开合门2缩回，推拉门3收纳于开合门2；将开合门2从门框1拆卸，拉动把手32，使得开合门2带动推拉门3相对门框1转动，使得整个开合装置打开。
77.本技术的实施例提供的开合装置可以应用于led(light-emitting diode，发光二极管)半导体的激光加工自动化领域，能实现自由推拉，开合更加顺畅，开门简易，能提高维修效率。
78.本技术的实施例还提供一种加工设备，该加工设备包括上述任一实施例提供的开合装置。前述加工设备可以是激光加工设备，比如晶圆加工设备。
79.前述加工设备设有放料盒，前述开合装置设置于放料盒。
80.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。