一种可自动调节的真空密封门装置

本技术涉及真空设备，特别涉及一种可自动调节的真空密封门装置。

背景技术：

1、近年来，随着全球现代光电产业的迅猛发展，真空镀膜机、刻蚀机、缝焊机也迅速得到推广应用和普及。真空腔室是真空设备必须的主体结构，真空腔室由多个壁面的真空腔体和门结构构成一个密封体，门结构与真空腔体通过密封圈进行密封。

2、传统的真空腔室的门结构是直接采用合页连接翻转的方式，且合页行程为不可调节，关门时直接将带有密封垫的门盖合在真空箱口，由于没有自动找正的功能，这对设计制造安装等均有着很高的要求，同时对于加热型真空箱，当加热时，真空门各部分受热膨胀不均，导致箱体门和箱体不能紧紧地压在一起，容易发生漏气的现象，也就无法保证真空泵开始对真空室抽真空工作的条件；还有的真空密封门电动或气动平移结构，实现密封门的开启闭合以及与舱口的贴合调节，但这样极大的增加了装置的复杂程度。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可自动调节的真空密封门装置，通过内、外门的两次调节作用，实现真空舱口密封门自动调节，从而实现密封门与真空箱体的密封。

2、为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

3、一种可自动调节的真空密封门装置，包括设置于真空箱体上的外门和内门，所述外门一侧通过外门调节装置与真空箱体连接，所述外门的另一侧与真空箱体之间通过门锁连接，所述内门通过内门调节装置安装于外门内侧；

4、所述外门调节装置包括安装于真空箱体上的合页座和安装于外门上的调节合页，所述合页座和调节合页之间通过合页轴连接，所述合页座上下两端均开设长条孔一，所述调节合页纵向开设通孔，所述合页轴穿过通孔，两端位于长条孔一内；所述合页座位于合页轴的内外两侧分别开设螺纹孔一和螺纹孔二，位于内侧的螺纹孔一内安装有外门调节螺栓，所述外门调节螺栓前端顶在合页轴上；位于外侧的螺纹孔二内安装有外门调节弹簧和固定螺栓，所述外门调节弹簧两端分别顶在合页轴和固定螺栓上；

5、所述内门调节装置包括固定于外门上下两侧的调节基座，所述调节基座上水平开设螺纹孔三，位于螺纹孔三的前端开设长条孔二，内门转轴穿过长条孔二后与内门连接；所述螺纹孔三内安装有弹簧支撑滑块、内门调节弹簧和内门调节螺栓，所述内门调节弹簧的两端分别顶在弹簧支撑滑块和内门调节螺栓上，所述弹簧支撑滑块与内门转轴接触。

6、上述方案中，所述内门转轴与内门之间安装有衬套。

7、上述方案中，所述内门内侧通过硅胶压板安装有密封硅胶。

8、上述方案中，所述硅胶压板上通过支撑柱安装有挡热板。

9、上述方案中，所述外门调节装置包括两组，分别安装于外门一侧的上部和下部。

10、上述方案中，所述内门调节装置包括两组，分别安装于外门的上侧和下侧。

11、通过上述技术方案，本实用新型提供的一种可自动调节的真空密封门装置具有如下有益效果：

12、通过把手关上外门后，由于外门调节装置中外门调节弹簧的作用，实现外门与真空箱体舱口平面基本平行、内门与真空箱体舱口会有两点以上的接触状态；真空箱体抽取真空过程中，首先由于内门调节装置中内门调节弹簧的作用，内门上的密封条将与真空箱体舱口平面接触，随着真空箱体内外压力越来越大，内门的硅胶垫将被外部大气压完全贴合在真空箱体舱口平面上，从而实现了内门的二次自动找正。在破除真空箱体真空压力时，也会因为内门调节装置中内门调节弹簧的存在，不会发生密封门因压力突然消失而发生的剧烈碰撞现象，安全性大大提高。

技术特征：

1.一种可自动调节的真空密封门装置，其特征在于，包括设置于真空箱体上的外门和内门，所述外门一侧通过外门调节装置与真空箱体连接，所述外门的另一侧与真空箱体之间通过门锁连接，所述内门通过内门调节装置安装于外门内侧；

2.根据权利要求1所述的一种可自动调节的真空密封门装置，其特征在于，所述内门转轴与内门之间安装有衬套。

3.根据权利要求1所述的一种可自动调节的真空密封门装置，其特征在于，所述内门内侧通过硅胶压板安装有密封硅胶。

4.根据权利要求3所述的一种可自动调节的真空密封门装置，其特征在于，所述硅胶压板上通过支撑柱安装有挡热板。

5.根据权利要求1所述的一种可自动调节的真空密封门装置，其特征在于，所述外门调节装置包括两组，分别安装于外门一侧的上部和下部。

6.根据权利要求1所述的一种可自动调节的真空密封门装置，其特征在于，所述内门调节装置包括两组，分别安装于外门的上侧和下侧。

技术总结
本技术公开了一种可自动调节的真空密封门装置，包括设置于真空箱体上的外门和内门，所述外门一侧通过外门调节装置与真空箱体连接，所述外门的另一侧与真空箱体之间通过门锁连接，所述内门通过内门调节装置安装于外门内侧。本技术所公开的真空密封门装置通过外门调节装置和内门调节装置可以实现外门和内门的分别自动调节，实现密封门与真空箱体的密封，在破除真空压力时，会由于内门调节弹簧的存在，不会发生密封门因压力突然消失而发生的剧烈碰撞现象，安全性大大提高。

技术研发人员：邓伟,秦永生,刘鹏,马永杰,蒋庆林,温京亚,李显昭
受保护的技术使用者：山东省科学院海洋仪器仪表研究所
技术研发日：20230721
技术公布日：2024/1/5