密封推拉门机构以及半导体设备的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其是涉及一种密封推拉门机构以及半导体设备。

背景技术：

1、半导体设备的两个腔室之间的连通处或两个半导体设备之间的连通处，在常规状态下需要阻断二者之间的连通处以实现密封，密封需要极高的气密性；在二者之间需要进行物体传递时，还需要打开二者之间的连通处，以使得物体能顺利传递。

2、现有的自动门密封机构一般采用导向槽加电机驱动的方式驱动自动门移动，并利用导向槽的弯曲来实现两个面的密封，这种方式虽然实现的自动门两侧的相对封闭，能阻碍部分固体通过，但其气密性不佳，无法有效的阻止自动门两侧气体的自由流动。

3、有鉴于此，特提出本实用新型。

技术实现思路

1、本技术提供了一种密封推拉门机构以及半导体设备，以解决现有的密封机构在具备气密性的同时无法实现两侧连通的技术问题。

2、本实用新型提供了一种密封推拉门机构，包括门板、驱动组件、传动组件、活动门以及密封件；门板设置有开口，驱动组件设置于门板上；传动组件连接于驱动组件，活动门连接于传动组件；活动门设置为在驱动组件的作用下运动至开口上方、在传动组件的作用下挤压位于门板与活动门之间的密封件。

3、在该方案中，通过在门板上设置开口，能够使得门板两侧可以连通，活动门由驱动组件驱动可以远离或靠近开口的上方，以此实现封闭和打开开口的效果。当门板之间两侧需要封闭时，活动门在驱动组件的作用下运动至开口的上方时，通过传动组件的作用挤压门板与活动门之间的密封件，以此使活动门完全封闭开口，阻挡门板两侧之间的连通，并同时能够实现高气密性。

4、在本实用新型的进一步方案中，传动组件包括滑块以及弹性件；滑块连接于驱动组件并在驱动组件的驱动下沿第一方向运动；弹性件的两端分别连接于滑块和活动门，且弹性件设置为在滑块的作用下拉动活动门沿第一方向运动至开口上方、并在自身弹力作用下使活动门沿第二方向运动，以挤压位于活动门与门板之间的密封件。

5、在该方案中，滑块受驱动组件驱动会沿第一方向运动，滑块会通过弹性件带动活动门沿第一方向运动以远离或者靠近开口上方；当活动门位于开口上方时，弹性件所产生的弹力会迫使活动门沿第二方向运动，从而挤压位于活动门与门板之间的密封件，以使得活动门与门板之间密封。

6、在本实用新型的进一步方案中，滑块设置有第一配合部，活动门设置有第二配合部，第二配合部设置为在弹性件的作用下能够相对第一配合部运动；其中，第一配合部为滑槽或滑柱，相应地，第二配合部为滑柱或滑槽。

7、在该方案中，通过在滑块上设置第一配合部，并在活动门上设置与第一配合部配合的第二配合部，在受到弹性件的弹性压力时，第一配合部与第二配合部相互配合以迫使活动门相对滑块朝向既定方向运动。活动门会相对滑块沿滑槽的方向运动，需要说明的是，滑槽的方向不能与第二方向垂直。

8、在本实用新型的进一步方案中，滑槽相对第一方向倾斜向上延伸。

9、在本实用新型的进一步方案中，滑块设置有滑动部，滑动部面向活动门设置并沿第二方向延伸；滑动部的表面形状为圆弧形。

10、在该方案中，通过在滑块上面向活动门设置有滑动部，滑动部能够起到限制活动门运动范围的效果，防止活动门的位置产生偏移以至活动门无法完全封闭开口的问题。通过使得滑动部的表面为圆弧状，将滑动部与活动门的接触变为点接触，从而减小二者之间的摩擦，防止活动门在第一方向上的运动出现偏移。

11、在本实用新型的进一步方案中，密封推拉门机构还包括限位组件，限位组件包括限位板和止动件；限位板设置于活动门上，止动件设置于限位板上，止动件用于与门板抵接，以限制活动门在第一方向上的运动。

12、在该方案中，通过设置限位组件能够限定活动门的活动范围，限位板设置于活动门上，当活动门运动到预设位置时，即开口的正上方时，止动件会与门板相接，从而阻止活动门继续在第一方向上运动。

13、在本实用新型的进一步方案中，限位板包括主体部和延伸部，主体部连接于活动门并沿第一方向延伸，延伸部在第一方向上位于主体部一端并沿第二方向延伸；止动件设置于延伸部，且止动件的至少部分在第二方向上超出活动门设置。

14、在该方案中，主体部沿第一方向延伸，主要用于将限位组件固定在活动门上；延伸部，连接于主体部，并向第二方向延伸，通过与设置在延伸部上的止动件相配合，使得止动件的至少部分能够在第二方向上超出活动门，从而使止动件的部分能与门板相抵接，阻止活动门进一步在第一方向上运动。

15、在本实用新型的进一步方案中，密封推拉门机构还包括导向组件，导向组件设置在门板上；滑块与导向组件滑动连接并在驱动组件的驱动作用下沿导向组件滑动，以带动活动门靠近或远离开口。

16、在该方案中，通过在门板上设置导向组件，并使得导向组件与滑块滑动连接，在滑块受驱动组件驱动的过程中，滑块会沿既定方向滑动，即沿导向组件滑动。由于滑块上设置有滑动部，会限制活动门的滑动方向，因此也能确保活动门能够沿固定的方向运动，即第一方向运动。

17、在本实用新型的进一步方案中，限位座，设置于门板上并用于限制活动门的活动范围；以及导向杆，设置于限位座上并滑动连接于滑块。

18、在该方案中，滑块活动连接于导向杆，因此滑块受驱动组件驱动时，会沿导向杆的方向运动。限位座不仅能用于导向杆的安装，还能限定滑块的活动范围，即滑块撞到限位座时就会停止往前运动。

19、在本实用新型的进一步方案中，导向组件成对设置，且成对中的两个导向组件分别设置于活动门的两侧并滑动连接有滑块；每个导向组件中的限位座成对设置，且成对中的两个限位座间隔设置于门板，导向杆设置于成对中的两个限位座之间。

20、在该方案中，通过在活动门的两侧各设置一个导向组件，导向组件均活动连接有滑块，因此活动门的两侧均通过弹性件连接有滑块，由于滑块上设置有滑动部，两侧设置的滑动部能够限制活动门的活动范围，确保活动门在水平面上只能沿第一方向运动。

21、在本实用新型的进一步方案中，驱动组件包括驱动件与伸缩臂，伸缩臂连接于活动门并在驱动件的驱动作用下伸长或缩回；驱动组件还包括：固定座，设置在门板上、用于固定驱动件；以及连接件，设置在伸缩臂上，用于连接滑块。

22、在该方案中，驱动件通过固定座固定在门板上，伸缩臂受驱动件驱动带动滑块运动，一般而言，伸缩臂的伸缩方向也被设置为沿第一方向伸缩，以避免动能损失。

23、在本实用新型的进一步方案中，门板包括：框架；板体，设置于框架中并开设有开口；以及多个加强杆，设置于板体上并连接于框架。

24、在该方案中，通过在板体上设置框架与加强杆能够提高整个门板的强度，防止门板在活动门多次的运动过程中受损。

25、本实用新型第二方面提供了一种半导体设备，包括本实用新型第一方面提供的密封推拉门机构，门板上的开口设置为在活动门打开开口后用于供硅片通过。

26、综上所述，本技术提供的密封推拉门机构以及半导体设备至少具有以下有益效果：

27、本技术通过在门板上设置开口，能够使得门板两侧可以连通，活动门由驱动组件驱动可以远离或靠近开口的上方，以此实现封闭和打开开口的效果。当门板之间两侧需要封闭时，活动门在驱动组件的作用下运动至开口的上方时，通过传动组件的作用挤压门板与活动门之间的密封件，以此使活动门完全封闭开口，阻挡门板两侧之间的连通，并同时能够实现高气密性。