一种机械调节真空夹具

1.本实用新型属于夹具技术领域，特别涉及一种真空夹具，具体是一种机械调节真空夹具。


背景技术：

2.在光学元件超精密加工中，对于薄壁的光学材料工件，其基板材料硬脆，具有刚度小，壁厚小的特点，传统的机械装夹在装夹过程中，卡盘或卡爪等在装夹中存在限制，夹紧力不容易控制，经常使得工件出现严重的装夹变形，从而降低工件的加工质量，特别是对于具有涂层的工件，夹具还需要具有精密的倾斜度调节功能，这就使得传统的固定结构夹具无法适用了。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本实用新型为克服现有技术中的不足，提供一种机械调节真空夹具，其结构紧凑、稳定性好、调节精度高，精度可达到微米级。
4.本实用新型提供如下技术方案：
5.一种机械调节真空夹具，包括吸盘、真空腔，其还包括定位销钉、柔性球铰、差动螺纹套、螺纹杆、底座；所述底座上方设有所述真空腔，所述真空腔上方设有所述吸盘，所述吸盘上面阵列设有真空吸附细孔，所述定位销钉安装在吸盘上的销钉孔内，所述真空腔通过螺栓与吸盘装配在一起，所述真空腔侧面设有抽气孔和压力表连接孔，所述柔性球铰通过螺栓装配在吸盘的四角处，所述柔性球铰与螺纹杆通过螺钉连接在一起，所述差动螺纹套的内孔螺纹与螺纹杆外螺纹配合，所述差动螺纹套的外螺纹与底座四角的螺纹孔配合。
6.其中，所述吸盘上四周均布有定位销钉。
7.其中，所述底座呈u型。
8.进一步的，还包括o型密封圈，所述o型密封圈安装在真空腔侧壁上方的环形凹槽内。
9.进一步的，定位销钉凸出于吸盘上表面的高度低于所夹持工件的厚度。
10.本实用新型具有以下有益效果是：
11.本实用新型采用差动螺纹套来实现倾斜度的调节，结构简单，调节精度高，同时，柔性球铰作为转动副，避免了机械摩擦和间隙，提高了调节精度，吸盘上面均布有定位销钉，能够定位工件的位置，保证加工精度，底座呈u型，中间空的部分可以允许真空腔上下移动，这样进一步降低了本实用新型的高度，使得结构更加紧凑。
附图说明
12.图1为本实用新型的等轴视图；
13.图2是为本实用新型的结构剖视图。
14.附图标记：
15.1、真空吸附微细孔；2、吸盘；3、定位销钉；4、螺栓；5、柔性球铰链；6、差动螺纹套；7、螺纹杆；8、底座；9、真空腔；10、抽气孔；11、压力表连接孔；12、o型密封圈；13、螺钉。
具体实施方式
16.下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
17.如图1至图2所示，一种机械调节真空夹具，包括吸盘2、定位销钉3、柔性球铰5、差动螺纹套6、螺纹杆7、底座8、真空腔9、o型密封圈12，所述底座8上方设有所述真空腔9，所述真空腔9上方设有所述吸盘2，所述吸盘2上面阵列设有真空吸附细孔1，所述定位销钉3安装在吸盘2上的销钉孔内，所述定位销钉3凸出于吸盘2上表面的高度低于所夹持工件的厚度，可保证在定位过程中不影响工件的加工，所述真空腔9通过螺栓4与吸盘2装配在一起，所述o型密封圈12安装在真空腔9侧壁上方的环形凹槽内，起到吸盘与真空腔之间的密封作用，所述真空腔9侧面设有抽气孔10和压力表连接孔11，抽气孔10与真空泵相连接，压力表连接孔11可连接有压力表，用于控制压力，保证随时能够监控压力损失，避免压力过低造成工件移动，所述柔性球铰5通过螺栓4装配在吸盘2的四角处，柔性球铰5作为倾斜度调节过程中的转动副，避免了机械摩擦和间隙，提高了调节精度，所述柔性球铰5与螺纹杆7通过螺钉13连接在一起，所述差动螺纹套6的内孔螺纹与螺纹杆7外螺纹配合，所述差动螺纹套6的外螺纹与底座8四角的螺纹孔配合，差动螺纹套6的内外螺旋方向相同，螺距不相等，所述底座8形状呈u型，中间空的部分可以允许真空腔9上下移动，这样进一步降低整个夹具的高度，底座8的u型缺口处便于压力表和真空泵的管道的连接。
18.本实用新型的工作原理如下：
19.本实用新型所提供的一种机械调节真空夹具在使用时，当待加工光学元件放置在吸盘2上面时，定位销钉3对其起到了定位的作用，保证了待加工光学元件放置的位置精度，通过真空吸附将待加工光学元件吸附夹持，当需要进行倾斜度的调节时，如果旋转差动螺纹套6一圈，差动螺纹套6的外螺纹向上旋合一个螺距，螺纹杆7就会沿差动螺纹套6向上旋合的反方向回退一个螺距，所以倾斜度调节机构部分的总微位移为差动螺纹套6的外螺纹和内螺纹的螺距之差。
20.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。


技术特征：
1.一种机械调节真空夹具，包括吸盘(2)、真空腔(9)，其特征在于：还包括定位销钉(3)、柔性球铰(5)、差动螺纹套(6)、螺纹杆(7)、底座(8)；所述底座(8)上方设有所述真空腔(9)，所述真空腔(9)上方设有所述吸盘(2)，所述吸盘(2)上面阵列设有真空吸附细孔(1)，所述定位销钉(3)安装在吸盘(2)上的销钉孔内，所述真空腔(9)通过螺栓(4)与吸盘(2)装配在一起，所述真空腔(9)侧面设有抽气孔(10)和压力表连接孔(11)，所述柔性球铰(5)通过螺栓(4)装配在吸盘(2)的四角处，所述柔性球铰(5)与螺纹杆(7)通过螺钉(13)连接在一起，所述差动螺纹套(6)的内孔螺纹与螺纹杆(7)外螺纹配合，所述差动螺纹套(6)的外螺纹与底座(8)四角的螺纹孔配合。2.根据权利要求1所述的一种机械调节真空夹具，其特征在于：所述吸盘(2)上四周均布有定位销钉(3)。3.根据权利要求1所述的一种机械调节真空夹具，其特征在于：所述底座(8)呈u型。4.根据权利要求1所述的一种机械调节真空夹具，其特征在于：还包括o型密封圈(12)，所述o型密封圈(12)安装在真空腔(9)侧壁上方的环形凹槽内。5.根据权利要求1所述的一种机械调节真空夹具，其特征在于：所述定位销钉(3)凸出于吸盘(2)上表面的高度低于所夹持工件的厚度。

技术总结
本实用新型提供一种机械调节真空夹具，涉及夹具技术领域。包括吸盘、定位销钉、柔性球铰、差动螺纹套、螺纹杆、底座、真空腔、O型密封圈，所述吸盘上面阵列有真空吸附细孔，所述定位销钉安装在吸盘上的销钉孔内，所述O型密封圈安装在真空腔的环形凹槽内，所述真空腔通过螺栓与吸盘装配在一起，所述真空腔上面有抽气孔和压力表连接孔，所述柔性球铰通过螺栓装配在吸盘的四角处，所述柔性球铰与螺纹杆通过螺钉连接在一起，所述差动螺纹套的内孔螺纹与螺纹杆外螺纹配合，所述差动螺纹套的外螺纹与底座四角的螺纹孔配合。本实用新型结构简单，稳定性高，调节精度高，具有工件定位功能。具有工件定位功能。具有工件定位功能。


技术研发人员：唐林峰 李云 林妩媚 谢强 青建宏 雷茸粮 谢超阳 黄文斌
受保护的技术使用者：中国科学院光电技术研究所
技术研发日：2021.06.24
技术公布日：2022/1/11