一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置。


背景技术：

2.现有技术中，晶圆尺寸具有多种，例如4寸、6寸以及12寸等，目前通过传送手臂进行传送，现有技术中通过开设多个承载槽用于适应不同尺寸的晶圆，在实际生产过程中需要检测晶圆有无，再进行后续的机械臂动作，现有技术中需要设置多个传感器，且安装不方便。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，可以感应不同尺寸晶圆的有无，便于后期机械臂的控制，且结构简单，安装便捷。
4.为实现上述目的，本实用新型提供了一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，包括固线机构和至少一个设置于手臂上的感应机构，
5.所述感应机构包括固定螺管、固定板、支撑柱以及光电传感器，所述光电传感器通过支撑柱固定于所述固定板上，所述固定板开设有通线通孔和操作槽，所述固定板螺纹连接于所述固定螺管内部，所述固定螺管螺纹连接于所述手臂的第一承载槽内的其中一个安装通孔内；
6.所述固线机构包括至少一个固线滑块，所述固线滑块设置于所述手臂背面的滑槽内，所述光电传感器的导线通过通线通孔并穿过固线滑块。
7.优选的，所述固线滑块包括燕尾固定件和固定环，所述滑槽为燕尾槽，所述燕尾固定件设置于所述燕尾槽内。
8.优选的，所述手臂上开设有第一承载槽、第二承载槽以及第三承载槽且同心设置，所述第一承载槽的直径小于所述第二承载槽的直径，所述第二承载槽的直径小于所述第三承载槽的直径，所述第一承载槽内设置有若干安装通孔。
9.优选的，所述操作槽为一字槽或十字槽。
10.优选的，所述光电传感器采用激光测距传感器或光电开关传感器。
11.因此，本实用新型采用上述结构的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，具有以下有益效果：
12.(1)、在第一承载槽的安装通孔内设置有感应机构，可以感应不同位置的晶圆，所述感应机构安装方便，便于更换。
13.(2)、设置有固线机构，使得传感器的导线不杂乱，避免导线影响手臂动作。
14.下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
15.图1为本实用新型一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置结构示意图；
16.图2为本实用新型手臂俯视图；
17.图3为本实用新型固线滑块结构示意图。
18.附图标记
19.1、手臂；11、第一承载槽；111、安装通孔；12、第二承载槽；13、第三承载槽；14、滑槽；2、感应机构；21、固定螺管；22、固定板；221、操作槽；222、通线通孔；23、支撑柱；24、光电传感器；3、固线滑块；31、燕尾固定件；32、固定环。
具体实施方式
20.实施例1
21.图1为本实用新型一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置结构示意图，图2为本实用新型手臂俯视图，图3为本实用新型固线滑块结构示意图，如图所示，一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，包括固线机构和至少一个设置于手臂1上的感应机构2，手臂1上开设有第一承载槽11、第二承载槽12以及第三承载槽13且同心设置，第一承载槽11的直径小于第二承载槽12的直径，第二承载槽12的直径小于第三承载槽13的直径，第一承载槽11内设置有若干安装通孔111。本实施例设置有一个感应机构2并设置于中部的安装通孔111内。感应机构2包括固定螺管21、固定板 22、支撑柱23以及光电传感器24，本实施例光电传感器24采用光电开关传感器，可以判定承载槽内是否存在晶圆，光电传感器24通过支撑柱23固定于固定板22上，固定板22开设有通线通孔222和操作槽221，操作槽221为一字槽或十字槽，本实施例采用一字槽，便于固定板22的安装。固定板22 螺纹连接于固定螺管21内部，固定螺管21螺纹连接于中部的安装通孔111 内，安装方便。
22.固线机构包括至少一个固线滑块3，固线滑块3设置于手臂1背面的滑槽 14内，本实施例滑槽14为燕尾槽，光电传感器24的导线通过通线通孔222 并穿过固线滑块3。固线滑块3包括燕尾固定件31和固定环32，燕尾固定件 31设置于燕尾槽内，燕尾固定件31设置于燕尾槽内。固线滑块3用于拱顶光电传感器的导线，使得导线不杂乱，避免导线影响手臂动作。
23.实施例2
24.本实施例与实施例1的区别在于本实施例光电传感器24采用激光测距传感器，可以通过检测光电传感器24到晶圆的距离判定晶圆是否存在以及具体尺寸，更便于机械臂的控制以及数据存储。
25.因此，本实用新型采用上述结构的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，可以感应不同尺寸晶圆的有无，便于后期机械臂的控制，且结构简单，安装便捷。
26.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，其特征在于：包括固线机构和至少一个设置于手臂上的感应机构，所述感应机构包括固定螺管、固定板、支撑柱以及光电传感器，所述光电传感器通过支撑柱固定于所述固定板上，所述固定板开设有通线通孔和操作槽，所述固定板螺纹连接于所述固定螺管内部，所述固定螺管螺纹连接于所述手臂的第一承载槽内的其中一个安装通孔内；所述固线机构包括至少一个固线滑块，所述固线滑块设置于所述手臂背面的滑槽内，所述光电传感器的导线通过通线通孔并穿过固线滑块。2.根据权利要求1所述的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，其特征在于：所述固线滑块包括燕尾固定件和固定环，所述滑槽为燕尾槽，所述燕尾固定件设置于所述燕尾槽内。3.根据权利要求1所述的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，其特征在于：所述手臂上开设有第一承载槽、第二承载槽以及第三承载槽且同心设置，所述第一承载槽的直径小于所述第二承载槽的直径，所述第二承载槽的直径小于所述第三承载槽的直径，所述第一承载槽内设置有若干安装通孔。4.根据权利要求1所述的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，其特征在于：所述操作槽为一字槽或十字槽。5.根据权利要求1所述的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，其特征在于：所述光电传感器采用激光测距传感器或光电开关传感器。

技术总结
本实用新型公开了一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，包括固线机构和感应机构，所述感应机构包括固定螺管、固定板、支撑柱以及光电传感器，所述光电传感器通过支撑柱固定于所述固定板上，所述固定板开设有通线通孔和操作槽，所述固定板螺纹连接于所述固定螺管内部，所述固定螺管螺纹连接于所述手臂的第一承载槽内的其中一个安装通孔内；所述固线机构包括至少一个固线滑块，所述固线滑块设置于所述手臂背面的滑槽内，所述光电传感器的导线通过通线通孔并穿过固线滑块。采用上述结构的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，可以感应不同尺寸晶圆的有无，便于后期机械臂的控制，且结构简单，安装便捷。安装便捷。安装便捷。


技术研发人员：唐正隆 王正辉 任硕 吴星华 汪丽静
受保护的技术使用者：合肥开悦半导体科技有限公司
技术研发日：2021.11.17
技术公布日：2022/4/8