本发明涉及一种工件保持机构、工件处理装置及工件保持方法。
背景技术：
1、已知一种针对板状或片状的工件进行冲裁加工的冲孔装置、对所述工件的电气特性进行检查的电气检查装置等工件处理装置。上述工件处理装置将工件定位于下侧处理部上的规定位置，在此基础上针对该工件进行所需的处理。在上述工件处理装置中，期望能够相对于下侧处理部以希望的间隔容易地对工件进行保持，以使得能够针对工件进行希望的处理。
2、在专利文献1中，记载有如下高速cnc冲床装置，即，能够在将脱模板保持于以与下模型之间具有微小间隙的方式对待加工片(工件：green sheet)进行引导的下降位置的状态下，反复进行由冲头实现的冲裁加工和待加工片的nc定位。
3、专利文献1：日本特开2003－25284号公报
技术实现思路
1、在专利文献1中记载有如下技术，即，在将载置于工件托板的待加工片通过脱模板弹性地按压于模具板的上表面的状态下，通过冲头在待加工片穿设基准孔。
2、但是，根据专利文献1所记载的结构，由于通过脱模板进行的按压对待加工片进行定位，因此会对待加工片施加负荷，并且不易对待加工片整体的高度进行调整。
3、本发明就是基于上述情况而提出的，本发明的目的在于，提供一种能够相对于下侧处理部的表面以希望的间隔对工件进行保持的工件保持机构、工件处理装置及工件保持方法。
4、本发明的一个方式涉及的工件保持机构将板状或片状的工件在下侧处理部上以与该下侧处理部的表面隔开间隔的方式保持，该工件保持机构具有：框体，其设置为在俯视观察时将所述工件的周缘至少局部地包围；多个把持部，其配置于所述框体，对所述工件的周缘部进行把持；第1传感器，其能够取得所述多个把持部各自的高度信息；计算部，其基于由所述第1传感器取得的高度信息，对各个所述把持部与所述下侧处理部相距的距离进行计算；以及高度调整部，其基于由所述计算部计算出的距离，对所述多个把持部的从所述下侧处理部起的高度进行调整。
1.一种工件保持机构，其将板状或片状的工件在下侧处理部上以与该下侧处理部的表面隔开间隔的方式保持，
2.根据权利要求1所述的工件保持机构，其中，
3.根据权利要求2所述的工件保持机构，其中，
4.根据权利要求1、2或3所述的工件保持机构，其中，
5.根据权利要求4所述的工件保持机构，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的工件保持机构，其中，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的工件保持机构，其中，
8.一种工件处理装置，其具有：
9.一种工件保持方法，其将板状或片状的工件在下侧处理部上以与该下侧处理部的表面隔开间隔的方式保持，