一种大直径旋转工作台的制作方法

本技术涉及旋转工作台，具体为一种大直径旋转工作台。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，晶圆加工时一般放置在工作台上进行加工。

2、现有工作台使用可以对晶圆进行放置支撑，但是晶圆加工时需要对其角度进行改变以满足不同位置的加工，而大直径的晶圆转动较为麻烦，会影响晶圆加工的效率，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种大直径旋转工作台。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种大直径旋转工作台，以解决上述背景技术中提出的工作台对于大直径晶圆的转动较为麻烦而影响晶圆加工效率的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大直径旋转工作台，包括底座，所述底座上端的中间位置处安装有液压千斤顶，所述液压千斤顶的上方设置有推力轴承，且液压千斤顶与推力轴承可通过支撑梁固定，所述推力轴承的上端面设置有旋转工作台；

3、还包括支撑台，其设置在所述底座上端的两侧及前后端，所述支撑台内部的上端均安装有液压伸缩装置，且液压伸缩装置的输出端延伸至支撑台的外部；

4、还包括升降腔，其开设在所述旋转工作台内部的两侧及前后端，所述升降腔下方一侧均开设有传动腔，所述升降腔的一侧均转动设置有单螺纹传动杆，所述单螺纹传动杆的一端均焊接有第一转轴，且第一转轴均与升降腔转动连接，所述第一转轴的一端均并延伸至传动腔的内部，且第一转轴均与传动腔转动连接，所述升降腔的内部均转动设置有第二转轴，所述第二转轴的一端均贯穿并延伸至升降腔的外部，且第二转轴均与升降腔滑动配合，所述升降腔的内部均设置有挡板，所述挡板两侧的下端均焊接有升降块，且其中一个升降块与单螺纹传动杆螺纹连接。

5、优选的，所述升降腔内部的一侧均固定设置有导向滑杆，所述导向滑杆均贯穿其中一个升降块，且导向滑杆均与升降块滑动配合。

6、优选的，所述第一转轴与第二转轴位于升降腔内部的一端均固定设置有锥形齿轮，且锥形齿轮之间啮合连接。

7、优选的，所述支撑台内侧的上方均设置有压力传感器，所述压力传感器的上端均设置有垫块，且垫块均与旋转工作台的下端相接触。

8、优选的，所述液压伸缩装置的输出端均固定设置有橡胶推块，橡胶推块均为橡胶材质制成，且橡胶推块可根据大直径晶圆尺寸进行更换。

9、优选的，所述第二转轴位于传动腔外部的一端均焊接有防滑转块。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型通过在支撑台内部的上端安装有液压伸缩装置，液压伸缩装置的输出端固定设置有橡胶推块，当大直径晶圆需要转动时，利用液压千斤顶将推力轴承和旋转工作台以及大直径晶圆升起，由于推力轴承的作用手动转动旋转工作台即可进行使大直径晶圆转动，使用方便，便于操作。

12、2、本实用新型通过在支撑台内侧的上端设置有压力传感器，当大直径晶圆放置在旋转工作台上端时，其重力会被四个方向的压力传感器检测，通过观察四个方向压力值的大小可以方便的分辨出重心是否偏移，从而通过启动液压伸缩装置可以对大直径晶圆进行推动，可以快速的进行调整，一定程度上节约了调整的时间，橡胶推块的橡胶材质可以避免推动时对大直径晶圆的接触磨损，增加了工作的效率，方便日常的使用。

13、3、本实用新型通过在旋转工作台内部的前后端和两侧均开设有升降腔，通过转动防滑转块可以使单螺纹传动杆转动，单螺纹传动杆转动会带动升降块进行升降，从而通过升降块带动挡板的一端移出升降腔，在液压伸缩装置推动大直径晶圆时避免将大直径晶圆推出旋转工作台，也可以在转动旋转工作台时对大直径晶圆进行限位，一定程度上避免了掉落的风险。

技术特征：

1.一种大直径旋转工作台，包括底座(1)，所述底座(1)上端的中间位置处安装有液压千斤顶(4)，所述液压千斤顶(4)的上方设置有推力轴承(5)，且液压千斤顶(4)与推力轴承(5)可通过支撑梁固定，所述推力轴承(5)的上端面设置有旋转工作台(3)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种大直径旋转工作台，其特征在于：所述升降腔(10)内部的一侧均固定设置有导向滑杆(12)，所述导向滑杆(12)均贯穿其中一个升降块(14)，且导向滑杆(12)均与升降块(14)滑动配合。

3.根据权利要求1所述的一种大直径旋转工作台，其特征在于：所述第一转轴(15)与第二转轴(18)位于升降腔(10)内部的一端均固定设置有锥形齿轮(17)，且锥形齿轮(17)之间啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种大直径旋转工作台，其特征在于：所述支撑台(2)内侧的上方均设置有压力传感器(9)，所述压力传感器(9)的上端均设置有垫块(8)，且垫块(8)均与旋转工作台(3)的下端相接触。

5.根据权利要求1所述的一种大直径旋转工作台，其特征在于：所述液压伸缩装置(6)的输出端均固定设置有橡胶推块(7)，橡胶推块(7)均为橡胶材质制成，且橡胶推块(7)可根据大直径晶圆尺寸进行更换。

6.根据权利要求1所述的一种大直径旋转工作台，其特征在于：所述第二转轴(18)位于传动腔(16)外部的一端均焊接有防滑转块(19)。

技术总结
本技术公开了一种大直径旋转工作台，包括底座，所述底座上端的中间位置处安装有液压千斤顶，所述液压千斤顶的上方设置有推力轴承，且液压千斤顶与推力轴承可通过支撑梁固定，所述推力轴承的上端面设置有旋转工作台，还包括支撑台，其设置在所述底座上端的两侧及前后端，所述支撑台内部的上端均安装有液压伸缩装置，且液压伸缩装置的输出端延伸至支撑台的外部，还包括升降腔，其开设在所述旋转工作台内部的两侧及前后端。该大直径旋转工作台通过四个方向的压力传感器的检测可以分辨出重心是否偏移，从而可以快速的进行调整，启动液压伸缩装置可以对大直径晶圆进行推动，节约了调整的时间。

技术研发人员：刘虎
受保护的技术使用者：苏州斯尔特微电子有限公司
技术研发日：20221213
技术公布日：2024/1/12